无油真空泵

在核聚变或巨大加速器中,真空技术非常重要。最近,日本原子能研究所和三菱重工业共同研制成一种称为“梦幻真空泵”的无油真空泵。这种真空泵是能够获得高真空的“陶瓷涡轮真空泵”。该真空泵的内部无任何油或润滑油,但能达到每分钟280升的抽气速率,达到10~(-5)托以     

干式真空泵的优化选择

过去，人们在各种半导体工艺中广泛使用油式真空泵，其中又以悬片式真空泵和活塞式真空泵为主要代表。而它们在各种应用中的表现越来越不能令人满意。因此，干式真空泵应运而生。在过去的十多年里，有好几种不同类型的干式真空泵被设计和生产出来，它们在机械结构设计上有明显差异。因为     

产品博览

半导体设备材料普旭BUSCH真空系列通过应用材料公司AMAT测试日前,普旭BUSCH的无油螺杆真空泵系列通过应用材料公司美国实验室测试。普旭是全球最有影响力的真空设备厂商之一,为客户提供了数量众多的真空泵及真空系统,这次,应用材料公司在美国实验室将普旭BUSCH的无油螺杆真空泵系列与其设备安装在一起进行测试,经过一年检测,结果证明普旭真空泵系列与其设备结合测试的结果最好。所以应用材料公司与普旭BUSCH半导体真空集团达成协议:应用材料公司在以后全球销售中将大力向客户推荐普旭真空泵系列,并允许普旭BUSCH在其无油螺杆系…     

螺杆式干泵SCREWLINE系列

SREWLINE系列螺杆式无油压缩真空泵是一种专门为工业应用设计的干式泵，用于太阳能光伏产业、大面积镀膜、工业炉等工业领域，用于解决苛刻的真空问题，如粉尘、焦油等。SCREWLINE系列有SP250及SP630两种规格，设计抽速为250～630m。／h，极限真空度可达到0．01mbar。SCREWLINE是无油真空泵，由于真空腔内没有油润滑，因此粉尘不会存留在泵腔内，而是随着气体从排气口排出泵外，无需处理废油，非常环保。     

电离吸气钛泵及其在金属陶瓷发射管排气中的应用

无油超高真空技术对于电真空器件的研制和生产来说具有特殊的意义,它不但提高了电子管的发射功率,改善耐压性能,提高了管子的合格率和优品率,而且还缩短了排气时间,改善了排气的环境,不怕停电,是电真空器件提高产品质量一个有力的技术措施。钛泵是目前使用最为普遍的无油超高真空泵,它与油扩散泵相比的优点是:避免了油蒸汽的污染,容     

无油真空泵在半导体生产中的应用

目前的半导体生产企业越来越多地用无油真空泵（干泵）来取代传统的旋片式真空泵（油泵），原因很简单，干泵的运行成本比油泵低得多，而且相对洁净，寿命长，在半导体生产中油泵的致命缺陷在于需使用昂贵的PFPE油。并且在CVD工艺，刻蚀，扩散等工艺上需经常做保养并换油，这使干泵无疑成为这些苛刻的半导体工艺的最佳选择。     

莱宝公司及其旋片真空泵

电光源和电子管都需要真空设备，优质的真空泵可以制出高性能的器件。本文介绍了机械真穴泵的一些新技术详细介绍了德国莱宝公司的旋片真空泵的种类。     

硅片真空夹紧装置设计

设计了一套硅片专用真空夹紧装置,包括夹紧装置和微型无油真空抽气泵.为减少硅片在夹紧过程中变形,夹紧装置采用了多吸口、回旋槽的平面型结构;根据所需夹紧力大小,设计了抽速为0.3 L/s的微型真空泵,泵内无油避免了对硅片的污染;对间隙返流进行了计算并分析了对泵性能的影响;对气路进行了特殊设计使得硅片装卸方便、快捷.     

CMP系统真空供给系统设计

研制了一套化学机械抛光机(CMP)专用的真空供给系统,主要由水环式真空泵、真空泵箱体、真空储气罐和水箱(汽水分离器)组成及控制模块组成。设计了水箱供水控制模块、水箱温度自动控制模块,通过控制水箱水温进而控制真空泵工作液的温度,保证真空度要求,同时也达到节约用水、降低能耗的要求。采用有限元分析软件ANSYS Workbench对真空供给系统机架进行了模态分析,研究机架的振型、固有频率,从而在结构设计上避免共振。     

真空铸造过程中污染物回收净化装置的制作

本装置用于真空铸造金属材料领域过程中对使用真空泵所产生的废气及铸造金属材料中残留的油、烟、灰尘、氧化物等有害物质进行净化。     

新一代STE分子束外延系统(英文)

Method of Molecular Beam Epitaxy (MBE) is based on the growth of semiconductor layers by effusion source components evaporation under ultrahigh vacuum (10～11 Torr), so the flow of growth components in space occurs in the molecular beam mode. To ensure UHV and the required purity of the process (besides oil-free pumping system: turbo molecular pumps, ion pumps, cryopumps), cryopanels built into the growth reactor and filled with liquid nitrogen are used. Sources and wafer strong heating, integrated research methods, necessity of precision wafer mechanical movement between chambers in UHV conditions mean the complexity of equipment. As a result, MBE systems are produced only by a few companies in USA and Europe. In Russia, serial production of such equipment begun in 80's but in mid 90's was widely discontinued.     

“一变多控”变频控制技术在海上油田的应用

针对WZ11-1油田三台注水泵采用自耦变压器进行降压启动,设备故障率高,而且启动的同时对注水泵出口设备影响和电网冲击较大的问题,利用油田在原油外输泵控制系统中已经配置的一台变频器,采用"一变多控"中压变频控制技术,对油田三台注水泵和两台原油外输泵的控制系统进行改造,实现一台变频器控制三台注水泵和两台原油外输泵的变频启动工频运行,最后一台泵可变频控制运行的控制模式。应用结果表明,"一变多控"中压变频控制技术科学合理,为油田实现平稳生产和降本增效奠定基础。     

高压变频调速节能技术在大庆油田输油泵机组上的应用

输油泵是油库生产运行中主要能耗设备，我们在大庆庆哈输油泵机组上应用了一套高压变频调速系统，通过改变输油泵的转速进行流量调节，降低了输油单耗，节约了电能。     

UHVCVD SiGe外延设备真空腔室及自动传输系统设计

介绍了UHVCVD SiGe外延设备真空腔室及自动传输系统的具体设计,通过合理选取预备室和反应室的真空泵组,满足了设备的超高真空要求,自动传输系统则保证了反应室高洁净环境、提高外延生产效率。     

基于LabVIEW的PVD/CVD材料生长平台真空控制系统

为了能够实时、准确地获取PVD/CVD（物理/化学气相沉积）材料生长平台内部的真空情况,监控真空系统各个部件的运行状态,以及实现便捷安全的实验操作,设计了基于LabVIEW的PVD/CVD材料生长平台真空控制系统。该系统同时实现了气压数据曲线图表显示,仪器状态可视化监控,实验数据自动保存等功能。经实验室测试使用,效果良好,可靠性高。     

基于AVR单片机的高温高压消毒柜控制系统

介绍了一款基于AVR单片机为核心的高温高压消毒柜控制电路,该系统采用ATMEGA16L单片机为核心控制一些外围元件,把需要测量的模拟信号转换为数字信号后,再通过软件进行处理,并输出控制信号给外围电路来控制加热泵及真空泵等的工作,从而产生高温高压实现消毒的功能.     

火电厂循环泵电机双速改造及运行分析

通过对华电新疆发电有限公司苇湖梁电厂（以下简称苇电厂）125MW#2机组2-1循环泵电机双速调节改造前、后运行分析,论述改造为双速电机后,运行人员可以根据机组负荷和环境温度的变化,灵活地改变循环系统水泵的数量和转速,达到最有利真空的控制目的,从而改变了原循环水系统的工作状况,实现了汽轮机真空度高精度控制和经济运行,且投资少,效果显著。     

飞秒激光啁啾脉冲放大中压缩光栅的等离子体清洗

在飞秒太瓦激光装置中,高效率的压缩光栅是获得高峰值功率飞秒激光输出的最重要光学元件之一。虽然光栅安装在无油的真空室内,但当光栅受到强激光的辐照时,真空中残存的气态有机物会被碳化并沉积在光栅表面,使得光栅受到"污染",衍射效率大大降低。激光辐照累积的热量会导致光栅结构发生变化,甚至会造成光栅的永久损伤。为此发展了用等离子体来清洗光栅表面污染层的方法,实验结果表明该方法非常有效地清洗了光栅表面的污染,提高了衍射效率并避免了光栅的损伤。该方法简单,易于操作,可以安装在压缩光栅真空室上,在不影响真空室里面的光学元件情况下可以实现实时清洗。     

微波真空电子器件用无氧铜材料的蒸发特性

作为微波真空电子器件的常用材料之一,无氧铜材料的蒸发特性会对微波真空电子器件的电性能产生影响。该文利用超高真空测试设备,研究了处理工艺对无氧铜材料的蒸发性能的影响,采用X射线测厚仪测试了蒸发的铜膜厚度,用扫描电镜(SEM)观测了无氧铜材料的表面形貌。结果表明表面宏观形貌粗糙度对无氧铜材料的蒸发性能影响不大,但处理工艺对蒸发性能影响很大;无氧铜材料经过酸洗后,会大大增加蒸发量;无氧铜材料经过烧氢处理,可降低蒸发量,而经过去油清洗并烧氢处理的无氧铜的蒸发量极低。对无氧铜材料进行了表面分析,发现无氧铜材料的真空蒸发性能与材料的表面形貌状态有关,当表面微观形貌比较光滑、无孔洞等缺陷时,无氧铜材料的真空蒸发量就少。     

断路器真空化改造在油田配电系统中的应用

介绍了真空断路器的技术性能，分析了少油高压断路器在油田配电系统中存在的问题，通过对比分析，采用真空断路器对配电系统进行技术改造，改造后各项指标都达到了技术标准，明显降低系统故障率达到40％以上，取得了较好的运行效果，推广前景较好。