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相似文献
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1.
采用喷镀法制备SnO2 膜导电玻璃 ,研究了膜厚、基底温度对薄膜电阻和透光率的影响。用SEM、XPS和XRD分析了SnO2 膜的形貌与导电性能 ,并研究了其透光性、反射性及热稳定性。结果表明 :SnO2 膜是多晶结构氧空位导电的N型半导体 ,在可见光范围内透光率达 88%以上并具有较好的热稳定性  相似文献   

2.
喷镀法制备SnO2膜导电玻璃的研究   总被引:6,自引:0,他引:6  
王德苗  朱月秀 《真空》2002,(3):33-36
用喷镀法将 Sn Cl4溶液喷射到预先加热的玻璃表面 ,制成了薄膜电阻 <70 Ω/□ ,透光率 >88% ,热稳定性 <45 %的 Sn O2 膜导电玻璃 ,研究了膜厚、基底温度、溶液组成对薄膜电阻与透光率的影响。  相似文献   

3.
掺杂SnO2透明导电薄膜电学及光学性能研究   总被引:24,自引:0,他引:24  
通过实验测量sol-gel工艺制备的Sb掺杂SnO2薄膜载流子浓度、迁移率、电阻率、膜厚、紫外-可见光区透射率,反射率等性质,详细研究了Sb掺杂SnO2薄膜电化学与光学性能,实验发现,薄膜具有良好的透光性和较高导电性,膜内载流子浓度高达10^20cm^-3,电阻率-10^-2Ω.cm, 透光率高达90%,SnO2膜禁带宽度Eg=3.7-3.80eV.  相似文献   

4.
薄膜厚度对ITO膜结构与性能的影响   总被引:1,自引:0,他引:1  
辛荣生  林钰 《真空》2007,44(5):22-24
本文对所研究的直流磁控溅射法制备的ITO透明导电薄膜,采用X射线衍射技术进行了膜层晶体结构与薄膜厚度关系的分析, 并测量了薄膜电阻率及透光率随薄膜厚度的变化情况.实验结果表明,当控制薄膜厚度达70 nm以上时,可获得结晶性好、电阻率低和透光率高的ITO透明导电薄膜,所镀制的ITO膜电阻率已降到1.8×10^-4 Ωcm,可见光透过率达80%以上.最后还对所镀制的ITO透明导电薄膜的质量指标作了评估.  相似文献   

5.
使用直流辉光等离子体辅助反应蒸发法沉积了ITO透明导电膜,通过膜的霍尔系数测量及XRD,SEM分析,详细研究了沉积时的基片温度对透光率和电阻率的影响。结果表明;基片温度影响膜的载流子浓度,霍尔迁移率以及膜的结晶程度。当基片温度为150℃附近时所沉积的膜具有较高的载流子浓度和迁移率,因而电阻率最低,而且结晶良好,具有高的透光率。  相似文献   

6.
锡与氧的反应蒸发及氧化锡透明导电膜的制备   总被引:1,自引:0,他引:1  
锡在减压及高温条件下与氧反应蒸发可以发生两种平行反应。靠真空蒸发作用,产物之一SnO 可逸出反应区域,被收集成 SnO 非晶膜。此膜为黑色非导体,如在空气中进一步氧化,将逐层转变为 SnO_2透明导电结晶膜。此法制备的 SnO_2膜电阻率可与化学喷涂法相比,并且不会产生白斑,使膜的均匀性得到明显改善。此外,本法得到的 SnO_2膜具有明显的择优生长方向。  相似文献   

7.
低温沉积ITO透明导电膜的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
通过探讨半导体氧化物ITO膜的透光和导电机理,用反应性直流磁控溅射的镀膜工艺,在有机玻璃上低温镀制(ITO)膜,研究ITO膜溅射工艺参数与透光和导电性能的关系,实现了在低温下镀制(ITO)膜的技术,其透光率≥80%以上,表面电阻≤30Ω/□.  相似文献   

8.
TiO2/SnO2复合薄膜的亲水性能研究   总被引:2,自引:0,他引:2  
采用溶胶-凝胶法制备了TiO2/SnO2复合薄膜,通过XRD、XPS、UV透射光谱的分析及薄膜表面接触角、光催化降解甲基橙等的分析,研究了SnO2与TiO2配比、热处理温度、膜厚度等因素对复合膜的亲水性、透光率及光催化活性的影响。结果表明:复合膜的亲水性和光催化活性均优于单纯TiO2,当SnO2与TiO2的摩尔比为1%-5%时,所制备的薄膜具有超亲水特性;热处理温度为450℃时薄膜亲水性最好,膜厚度的增加有利于亲水性的改善。  相似文献   

9.
以Sn(OEt)2为起始原料,采用水热晶化法合成了分散性良好的金红石结构的SnO2纳米颗粒.采用X射线衍射对其进行了表征,表明SnO2纳米颗粒的结晶性良好,颗粒尺寸小于10nm.将合成的SnO2纳米颗粒均匀分散到Sb:SnO2镀膜液中,经陈化后制成镀膜溶胶,以溶胶-凝胶浸渍镀膜工艺制备纳米颗粒掺杂Sb:SnO2薄膜.分别采用范德堡(Van Der Pauw)法、UV/VIS分光光度计和FTIR中红外分析仪测量并分析膜层的导电性能、光学性能及结构特征,研究了导电纳米颗粒添加对Sb:SnO2薄膜电性能、光学性能和结构的影响.  相似文献   

10.
使用直流辉光等离子体辅助反应蒸发法沉积了ITO透明导电膜。通过膜的霍尔系数测量及XRD、SEM分析,详细研究了沉积时的基片温度对膜的透光率和电阻率的影响。结果表明:基片温度影响膜的载流子浓度,霍尔迁移率以及膜的结晶程度。当基片温度为1500C附近时所沉积的膜具有较高的载流子浓度和迁移率,因而电阻率最低,而且结晶良好,具有高的透光率。试验中还研究了加热退火对膜性能的影响。结果表明:后处理(加热退火)的效果与成膜时的基片温度有密切关系。在低基片温度下沉积的膜经过后处理其透光率得到较大改善但电阻率有所上升,在高基片温度下沉积的膜经过后处理其导电和透光性能都变差。存在一个适中的基片温度区,在该温度下采用直流辉光等离子体辅助反应蒸发法可以不必进行后处理,直接沉积出性能良好的ITO透明导电膜。  相似文献   

11.
赵亚丽  贾琨  赵岩  马玉峰  李旭峰 《材料导报》2021,35(14):14171-14175
将金属光子晶体(Metal photonic crystals,MPCs)应用于电子设备的可视部位,有望实现可视和电磁屏蔽的兼容.如何在不降低金属膜厚比的前提下,同时提高和拓宽MPCs的可见光透光率强度和宽度是目前需解决的关键问题.鉴于此,本工作构建了由金属Ag和ln2O3:SnO2(ITO)膜呈周期分布的MPCs,采用时域有限元差分法(Finite difference time domain,FDTD)和Bragg衍射定律分别研究了其周期对其透光率影响规律和物理机制.研究结果表明,高透光的MPCs周期(即相邻的ITO和Ag膜厚之和)需大于58 nm.同时,通过FDTD对MPCs的SPP(Surface plasmon polariton)能带计算,发现ITO膜为40 nm时,SPP较弱,致使可见光透光率较低.随金属膜厚比降低,SPP色散能带相应变宽,可见光透光率曲线相应变宽.本工作提出一种(pqp)N型MPCs,采用该结构可同时提高MPCs的可见光透光率强度和拓宽其宽度.  相似文献   

12.
用RGTO方法制备多孔、颗粒状SnO2薄膜;根据SEM观察结果建立简单导电模型,并验证其导电机制主要是晶界导电;研究纯SnO2薄膜及掺杂SnO2薄膜对CO,乙醇等气体的气敏特性。掺Pt的薄膜对CO有很好的气敏响应;选择合适工作温度,可提高灵敏度改善选择性,用此种方法制得的薄膜具有良好的长期稳定性、非常短的响应和恢复时间等特点。  相似文献   

13.
在反应液中加入H2O2,用超声喷雾热分解技术制备了SnO2高阻薄膜.结合XRD图谱,方块电阻测试,透光率测试以及Tauc曲线分析的结果,发现反应液中加入H2O2制备的SnO2薄膜,膜质较好,样品在(200)晶面有明显的择优取向;电阻率有明显提高,为12~13 Ω·cm;透光率与一般的透明导电膜并没有很大差别.  相似文献   

14.
纤维素具有可再生、可降解、环保和无污染等特点。以纤维素为原料,制备得到的纤维素基膜材料,具有优良的分离,吸附,导电,磁性和刺激响应等性能,被广泛应用于分离,导电,包装,吸附等研究领域。因此,主要综述了纤维素材料在分离膜、导电膜、包装膜以及吸附膜领域的应用研究进展,并对其未来的发展趋势进行了展望。  相似文献   

15.
研究了聚过氟磺酸离子交换膜在不同环境条件下的导电性能,从实用的角度出发,考察了膜在不同种类,不同浓度的电解质溶液中的导电能力,分析了各种离子对其导电性能的影响。根据实验数据,对膜的导电机理进行了推测,测定了膜对几种常用离子的选择性系数,研究了温度对膜导电能力的影响。  相似文献   

16.
室温下通过磁控溅射技术制备了SnO2/Ag/SnO2(SAS)、SnO2/Ag/NiCr/SnO2(SANS)和SnO2/NiCr/Ag/NiCr/SnO2(SNANS)三类多层膜.采用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)、霍尔效应测量仪和紫外-可见分光光度计研究了大气和真空退火温度与薄膜结构、形貌和透明导电性...  相似文献   

17.
王黎周嶅  毕文跃 《功能材料》2004,35(Z1):3209-3212
以Sn(OEt)2为起始原料,采用水热晶化法合成了分散性良好的金红石结构的SnO2纳米颗粒.采用X射线衍射对其进行了表征,表明SnO2纳米颗粒的结晶性良好,颗粒尺寸小于10nm.将合成的SnO2纳米颗粒均匀分散到SbSnO2镀膜液中,经陈化后制成镀膜溶胶,以溶胶-凝胶浸渍镀膜工艺制备纳米颗粒掺杂SbSnO2薄膜.分别采用范德堡(Van Der Pauw)法、UV/VIS分光光度计和FTIR中红外分析仪测量并分析膜层的导电性能、光学性能及结构特征,研究了导电纳米颗粒添加对SbSnO2薄膜电性能、光学性能和结构的影响.  相似文献   

18.
通过共沉淀法制备了铈掺杂二氧化锡超细粉体,平均粒径为20nm,并制得氧化锡电极样品。主要研究了在氧化锡电极中添加不同含量的Ce对电极导电性能的影响情况,通过XRD、SEM和电阻率表征样品性能。实验结果表明,Ce掺杂有利于提高SnO2电极的导电性能,并随Ce含量增加,导电性也提高。共沉淀制得的原料粉体具有纯度高、掺杂均匀等特点,有利于充分发挥添加剂在SnO2电极中起到的提高导电性能的作用,且共沉淀法操作较简便,易实现从实验室制备到实际生产的转化。  相似文献   

19.
以纳米SnO2粉末为原料制备导电陶瓷,研究了所制备的SnO2-Sb2O3-CuO三元系SnO2基陶瓷的烧结性能和导电性能。用光学显微镜、扫描电镜和X射线能谱仪等对陶瓷基体的相组成和微观组织进行了分析。结果表明,纳米SnO2粉末在加入一定量的Sb2O3和CuO添加剂后,烧结活性有所提高;加入烧结助剂CuO可明显促进SnO2的烧结;在最佳CuO-Sb2O3配比下,制备的SnO2基陶瓷的综合性能良好。  相似文献   

20.
采用溶胶-凝胶技术制备了SiO2溶胶和TiO2溶胶,利用浸渍提拉法在光伏玻璃上制备了SiO2/TiO2减反膜。用光谱透射比测量仪和椭偏仪测定了薄膜的透光率和折射率,通过场发射扫描电子显微镜观察了薄膜的形貌结构,最后考察了薄膜的自洁性能和耐候性能。结果表明:随着溶胶中TiO2浓度的升高,SiO2/TiO2减反膜的厚度不断增加,而透光率逐渐减小,折射率逐渐增大。在波长为600nm时,TiO2浓度最低的减反膜(ST-300)的透光率为94.4%,折射率为1.33。ST-300减反膜的表面平整,结构致密。光催化2h后,ST-300减反膜可将10mg/L的甲基蓝溶液降解11.2%,经过耐候处理后,其透光率衰减值仅0.08%~0.15%。  相似文献   

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