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相似文献
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1.
介绍1K级洁净室空调系统特点,并就通过空调系统调试,维持洁净室内的温度、湿度、洁净度及正压环境策略和实践进行讨论分析。  相似文献   

2.
一、新风在洁净室空调系统中的作用 新风和新风量问题即使是在一般性空调系统中也是一个不容忽视的问题,在净化空调工程中,这一问题将显得更加重要。具体地讲,在洁净空调工程中,新风的作用主要表现在两个方面:一是确保室内空气的卫生条件,使室内工作人员始终能呼吸到新鲜的空气;二是保持洁净室内所需的正压值,从而确保室内空气的必要洁净度。  相似文献   

3.
洁净室是高科技产业,高科技研究必要的硬件,为其提供必要的洁净度,温、湿度,压力等受控环境。同时,洁净室净化空调系统又是能耗大户,净化空调系统的能耗约占洁净室总能耗的50%~60%,因此,洁净室净化空调系统的节能是一个重要的课题。本文仅就洁净室净化空调系统的节能进行分析和探讨。  相似文献   

4.
药厂洁净室空气洁净度的检测   总被引:3,自引:1,他引:2  
针对药厂洁净室洁净空调系统,从洁净度的检测和在检测过程中发现洁净空调系统设计,风量,风压调节出现的问题两方面进行分析讨论。介绍了药厂洁净室洁净度主要项目的检测方法,同时对风量,风压及调节阀设置出现的问题提出了一些建议。  相似文献   

5.
集成电路洁净室净化空调系统能耗巨大,合理利用洁净室内的各种能源能够降低集成电路工厂的产品成本,提高企业的产品竞争力,对集成电路产业发展有良好的促进作用,针对集成电路洁净室空调方案进行对比分析,提出一种较为节能的空调系统方案.  相似文献   

6.
洁净室施工和竣工以后,或者投产以后,都需要进行洁净室性能的测定、评定或监测。近几年来,我国已有国标JGJ71—90<洁净室施工及验收规范>可遵循,而且在洁净室的净化空调系统大修或更新以后,也要重新进行全面测定以重新评价洁净室的质量。在综合性能评定时,十几项性能指标中最后达到的目标,也是最重要的一项就是洁净度  相似文献   

7.
一般来讲,一座半导体工厂一年消耗的总电量大约为1亿kWh,其中43%是被空气调节设备的运转消耗掉了。这是由于洁净室的洁净度要求所致。尤其空气输送动力方面消耗电能最多。在本公司全面垂直层流方式的洁净室内,以降低空气输送动力为目标,建造了模块式风机单元(FMU)方式的空调系统,将这一系统引入到最新的半导体制造工厂。引入的空调系统,属于FMU方式的送  相似文献   

8.
分析了高大厂房的洁净室构造和发尘特点,通过工程实例,介绍了洁净室装修简化和引入舒适性空调大空间的气流组织的设计方法,指出这种方法不仅能够达到万级、十万级洁净度的净化效果,而且能够节约初投资和运行费用。  相似文献   

9.
洁净手术室净化空调系统设计探讨   总被引:3,自引:3,他引:0  
洁净手术室空调设计是手术室洁净度,温湿度和压差的重要保证。本文着重从洁净手术室净化空调系统热湿处理方面对四种空调系统进行了粗浅的探讨和分析。  相似文献   

10.
一、概述 与普通垂直单向流洁净室相比,由于隧道式洁净室(参见图1)既能保证小范围操作区内空气的洁净度。又可同时降低工程的初投资和系统运行费用。因而它被日益广泛地用于工业洁净室的设计中,为了进一步提高  相似文献   

11.
生物安全三级实验室的空调系统是影响风量、换气次数和压差三大设计参数的关键性要素。与洁净室的空调系统相比,其不仅控制洁净度级别与温湿度,而且更侧重于管理负压梯度与向内定向气流。总结了生物安全三级实验室空调系统联动调试的方案设计与步骤(尤其是风量和压差),并讨论了送排风方式、风量计算与控制、负压梯度控制、送排风机变频转换,压力梯度动态控制措施等。  相似文献   

12.
洁净室的洁净度在日常运行管理中十分重要.在洁净室内空气污染源及其传播途径分析的基础上,提出相应的切实可行的控制方法,以保证洁净室洁净度持续处于受控状态.  相似文献   

13.
一、正压的作用 洁净室外部空气的渗入,是影响室内空气洁净度的因素之一。 外部污染空气有两个途径进入洁净室:一是围护结构上的细微缝隙;另一是开门或传递窗时。  相似文献   

14.
半导体洁净室的洁净度维护是一项非常专业的、庞大的工程,分析洁净室洁净度维护系统中,日常管理容易出现纰漏的情况,找到预防这些纰漏的原因,并在实际管理过程中去避免这些纰漏。  相似文献   

15.
百级洁净室洁净度异常的成因分析和处理方法   总被引:1,自引:0,他引:1  
陈球 《微电子技术》2001,29(1):60-64
探讨在百级洁净室处理洁净度异常问题的思路、方法和手段。  相似文献   

16.
大型精密仪器在高校科研工作中发挥着重要的作用,随着仪器灵敏度与分辨率的提升,其对环境的要求也越来越高.为了保障仪器的精度、减少故障率,学院专门建造了十万等级洁净室.通过初期的合理设计与建造、运行过程中的维护保养及严格的人员管理,室内洁净度能长期控制在合理范围内,仪器性能也维持在较高的水准.  相似文献   

17.
非单向流洁净室需供给足够的洁净风量,以稀释和排走在操作及工艺过程产生的尘埃,从而维持洁净室所要求的洁净度,所以送风量的合理确定是洁净室工程设计的重要环节。目前国内常见的理论计算式中虽然包括了一些相关制约因素,可作为定性分析的参考,但在实际工程设计中难于运用。多年来ISO 5级以下的洁净室一般都是依据相关技术指南及工程经验按常规换气次数取值。几十年来国内数以百万平米计的洁净室工程实践证明,这些用于设计的经验数值是实用和可信的。特别指出以国内常见的理论计算式来否定早期国外学者所推导的简约理论式有欠妥当。通过一些例题对相关问题进行了讨论。  相似文献   

18.
通过实验研究了多气流组织洁净室的特性,得到了不同回风形式气流组织和不同换气次数的送风与室内洁净度的关系。针对目前洁净室均匀分布与非均匀分布计算理论,提出了洁净室两区分布模型计算方法。模型假定在某些情况下,回风全部从涡流区排出,而不考虑回风口区。并利用多种气流组织的实验研究对所建模型进行了分析比较,从而获得二区模型计算方法的适用范围,充实了现有洁净室理论。  相似文献   

19.
洁净室标准的国际化趋势   总被引:2,自引:1,他引:1  
本文以美国洁净室标准FS-209为基础,对比有关各国的洁净室标准的内容范围及洁净度等级,并着重对洁净室洁净度等级的划分、命名及级限进行分析;对洁净室标准国际化工作及其进展情况进行介绍。 1 有关各国的洁净室(包括洁净室及相应被控环境)标准现状  相似文献   

20.
结合某硅晶片厂房洁净室净化空调系统的实例,介绍了洁净室的净化空调设计原则、气流组织形式、空气处理过程。并对空调系统的自控问题进行了阐述和讨论。  相似文献   

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