业界动态

我国传感器技术攻关获重大突破 传感器是工业测控系统和信息系统的基础元器件。MEMS等先进制造技术的应用,使传感器技术得到迅速发展。新一代传感器的突出特征是多功能化、数字化、智能化、阵列化、微型化和微系统化。目前,国外传感器技术研究、开发和应用发展很快。不仅重视新产品开发,还注重材料、设计、生产工艺、测试技术和工艺装备等开发,已成为新兴产业,发展迅速。     

微电子机械技术的现状与发展

微电子机械技术是国际上新兴的科学前沿，它的发展会象微电子技术那样引发一场新的产业革命。本文介绍了微电子机械技术的主要工艺以及在微结构、微传感器、微执行器和微系统方面的研究进展，并对今后的研究动态进行了论述。     

微纳制造技术应用研讨会征文通知

在科学技术飞速发展的今天 ,特别是被称为 2 1世纪核心技术的信息技术、生物技术和微纳技术的迅猛发展 ,使各学科之间正呈现出高度的相互交叉和综合。无论是微电子技术、光电子技术、纳米技术、微机电制造技术等革命性的推动 ,还是微传感器、纳米材料、生物芯片等应用性的拉动 ,都给制造带来了前所未有的发展与创造空间 ,尤其是近年来 ,包括MEMS技术、微系统和纳米技术的微纳米技术的研究和应用方兴未艾 ,微机械学成为机械学科不可分割的组成部分 ,机械工程的研究领域已迅速扩展到微动力学、微结构学、微运动学、微摩擦学、微流体力学等 ;…     

微电子机械技术的现状与发展

微电子机械技术是国际上新兴的科学前沿，它的发展会象微电子技术那样引发一场新的产业革命。本文介绍了微电子机械技术的主要工艺以及在微结构、微传感器、微执行器和微系统方面的研究进展，并对今后的研究动态进行了论述     

微系统集成技术研究的动向

在微电子、微机械和微光学的基础上,集成传感器、执行器和信号处理单元于一体的微系统技术,是现代技术发展的一个新动向。微系统技术在微传感器、微执行器、微光学和专用集成微型仪器等方面有较大发展。微系统在一些工业中获得应用。     

MEMS集成设计与制造技术进展

芯片技术已成为制约我国高质量发展的瓶颈,基于微机电系统(MEMS)技术的高性能微传感器芯片更是备受欧美“卡脖子”的核心器件之一。“工欲善其事,必先利其器”,与微电子芯片类似,设计及制造技术也是制约MEMS芯片性能的关键。首先,从MEMS设计方法及工具出发,回顾MEMS设计方法从固定流程的结构化设计方法到任意流程的泛结构化设计方法的发展过程,介绍任意流程设计方法的优势,同时介绍目前世界上主流的商用MEMS设计工具并对比典型设计工具的优缺点。其次,介绍MEMS制造技术的特点及面临的挑战,着重分析国际上及几种典型的定制化制造技术以及西北工业大学提出的单掩膜与选择性释放制造方法。随后分析批量化制造技术的优势并给出了国内常见的批量化代工方法及典型批量化代工工艺。最后,指出高端MEMS设计与制造集成的必要性,以期为我国MEMS批量化制造发展提供参考。     

汽车电子传感器简述

介绍了汽车电子传感器的现状,以及传感器在汽车电子控制系统中的应用概况,阐述了现代汽车发展对电子传感器的一些要求,现代汽车电子传感器总的发展趋势是:微型化、多功能化、集成化以及智能化,其技术发展方向是开展基础研究、发现新现象、采用新原理、开发新材料和采用新工艺;扩大传感器的功能与应用范围.以MEMS技术为基础的传感器将成为汽车传感器的主流.     

系统级封装(SIP)焊点跌落可靠性研究

系统级封装(System in package,SIP)已经成为主流的封装技术,随着电子产品小型化和多功能化的发展,系统级封装将会发挥越来越重要的作用,在微电子和电子制造领域具有广阔的应用市场和发展前景。但是微电子产品的应用环境也越来越恶劣,特别是最近几年,便携式穿戴产品的应用普及,对产品的可靠性提出了更高的要求,跌落失效对于产品来说,在设计的过程中是不得不考虑的因素。     

传感器芯片系统研究与应用

基于微纳制造、微电子等技术的传感器芯片系统具有体积小、质量轻、功耗低、易于批量化生产、成本低、易于集成化等优点,是传感技术领域的一个重要研究方向.近年来相关的研究主要包括微纳传感器芯片、微传感器阵列、多传感器集成芯片系统、传感器与电路集成芯片系统、微流控芯片系统、无线网络传感器节点芯片系统等.文中分别以糖化血红蛋白免疫传感器、催化燃烧气体传感器和电场传感器为例,简要介绍若干典型的生物量、化学量和物理量微传感器系统及其应用.     

微机电系统发展的新动向

微机电技术是指集微型传感器、微型执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通信系统以及电源于一体的微机电 系统 (M EM S:M icro E lectro M echanicalSystem )。它将微电子 、微米 /纳米加 工技 术、精 密机械、微纳米传感器、微纳米材料等技术相互融合,实现了微电子与机械融为一体的系统。其目标是把信息的获取、处理和执行集成在一起,组成具有多功能的微型系统 ,完成大 尺寸机电 系统所不 能完 成的任 务;也可以嵌入大尺寸系统中,从而大幅度地提高系统的自动化、智能化和可靠性水平。微机电技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究…     

浅谈数字称重传感器的技术现状与发展趋势

称重传感器与电子衡器数字化是九十年代电子衡器发展最突出的热点,电子技术的飞跃进步,单片机的普及与推广,为电子衡器提高性能、称量自动和智能化作出了贡献;微电子、信息、智能卡等高新技术更加速了衡器数字化、智能化、微型化、微功耗的进程。由于单片机本身的嵌入式软件技术及大规模集成电路等特点,具有三电一体化(机电、电子、微电子)高新技术的衡器产品便会应运而生,制造工艺的简化、产品成本的降低、利润空间的增大,将会掀起新一轮衡器制造技术的革命与竞争。     

四电极电化学腐蚀在微压传感器制造中的应用

在研究四电极电化学腐蚀工艺过程中,考虑了与扩散硅压力传感器芯片平面工艺的兼容性,使得该工艺用于微压传器器的制造。微压传感器采用梁膜结构设计,膜区厚度为１０μｍ,制造出的微压传感器灵敏度为５０ｍＶ／３ｋＰａ．１ｍＡ。端点法非线性为０．５％。     

机电一体化讲座之二——机电一体化和微计算机

新技术革命以微电子技术为先导,以微计算机的发展和应用为标志,给工矿企业乃至整个国民经济带来了深刻的变化。同时也加速了机电一体化技术的进程,赋于机电一体化产品高性能、多功能、高可靠和低能耗等优势。本文着重介绍微计算机的控制功能及其在机电一体化中的地位与作用。     

基于微机械电子技术的自动化测量传感器设计

为了进一步提升市面上自动化测量传感器的应用效果，简述了自动化测量传感器的工作原理。以真空微电子压力传感器系统为例，从结构设计、仿真模拟、研制工艺设计、固相键合工艺流程以及性能测试几方面对基于微机械电子技术的自动化测量传感器设计方案进行了详细分析。提出了一种微电子技术以及真空电子技术研发一种真空微电子压力传感器的方法，其构成包括真空微腔、绝缘层、弹性阳极膜等，具有实际应用优势，如能够支持批量生产、体积较小、灵敏度高、响应速度快、抗辐射性能好以及稳定性高等。所提方法对微电子传感器领域的发展具有一定的参考价值，应用市场较为广泛，未来发展前景较好。     

微尺度热质输运强化槽道多孔结构制造及性能研究

<正>微电子制造技术的快速发展,推动了微尺度热质输运器件(微热管、微通道换热器、微型燃料电池、生物微芯片、微反应器等)在能源、化工、电子、航天、生物医疗等多个领域的广泛应用。器件的微尺度化对其内部的传热传质提出了更高要求,也导致了热质输运强化结构的迫切需求。微尺度热质输运强化结构的研究吸引了制造、传热等领域的广泛关注,而如何实现其低成本、高效率制造并取得良好的传热传质性能,成为微尺度热质输运器件应用的关键难点。为此,本文围绕槽道多     

微电容器的研究进展:从制备工艺到发展趋势

随着微电子器件高度集成化、微型化、便携化和多功能一体化的快速发展,高性能新型微电容器的需求越来越大.将电容器划分为传统电容器与新型微电容器,介绍了传统电容器中铝电解电容器、钽电解电容器、有机薄膜电容器以及陶瓷电容器的结构特点及其生产应用中的性能,着重对用于储能方面的固态微型电容器(金属-绝缘体-金属,金属-绝缘体-半导体)和微型超级电容器的结构特点、技术工艺、主要性能指标及其与片上可集成系统的工艺兼容性进行了综述.此外,阐述了片上3D硅基电容器结构的关键制造工艺、主要研究方向(电极表面积、绝缘材料和电极材料)和相关研究进展.最后,对新型微电容器的发展前景做出了展望.     

MEMS技术的发展现状及应用

微电子机械系统(MEMS)技术是在微电子和微机械技术上发展起来的一门多学科交叉技术。MEMS包括微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通信接口和电源部件等，能完成大尺度电子机械系统所不能完成的工作，从而极大地提高系统的自动化、智能化和可靠性水平。     

21世纪机床行业将此起彼伏不断有更多的创新

一、在20世纪微电子、计算机、网络技术基础上，IT（信息技术）与机床结合将为机床技术潮流。2000年9月美国芝加哥国际制造技术展和10月东京日本国际机床展上，信息技术已成为展品一大特色，已向全世界发出信号，机床的IT化将成为新世纪机床技术发展的主潮流。     

微电子技术在精密光学仪器上的应用与作用

<正> 一、微电子技术与精密光学仪器制造近年来,微电子技术大大推动了精密光学仪器技术的发展。随着微电子技术的进一步发展,对光学仪器的测量技术、完位技术和信息处理技术也不断提出了新的要求。一方面要求借助微电子元件来弥补精密机械中光学测量和定位原理,特别是信息处理等方面的不足。另一方面要求通过微电子技术使光学仪器的功能和性能参数产生变化,促使运算元件的微型化蓝增加其功能密度,加快操作速度和增强可靠性,节约原材     

微悬臂梁生化传感器在液体环境中的应用

近年来,生化传感器中加入了新型的微悬臂梁装置．不仅为生化传感器中的集成、便捷功能提供了前提条件,微悬臂梁生化传感器还有可能发展成为离灵敏度探测识别多种分子的检测仪器。微悬臂梁作为一门新兴的生化传感器技术,具有体积小、灵敏度好、响应速度快以及较易集成等优点,因此在液体环境中发挥着极大地作用而得到广泛应用。