聚焦离子束系统中微波离子枪的束光学特性研究

通过实验和数值模拟研究聚焦离子束中微波离子枪的离子束光学特性，该离子枪由微波等离子体源和Ｏｒｌｏｆｆ－Ｓｗａｓｏｎ透镜组成。该透镜除了广泛应用于场致发射离子枪外，在等离子体源情况下，也能获得很好的离子束光学性能。     

聚焦离子束系统中离子枪的优化设计

叙述了聚焦离子束离子光学系统中离子枪的优化设计，采用复合形法进行优化设计后的离子枪，其发射性能，光学性能和工作寿命都显著提高。     

聚焦离子束系统中离子枪的优化设计

叙述了聚焦离子束离子光学系统中离子枪的优化设计，采用复合形法进行优化设计后的离子枪，其发射性能、光学性能和工作寿命都显著提高。     

聚焦离子束系统液态金属离子源的研制

设计了一种聚焦离子束系统用液态金属离子源（Liquid Metal lon Source-LMIS）,本文对该源组件结构的设计、发射针尖的腐蚀工艺、挂金属镓工艺、测试系统的设计作了介绍;然后对该离子源的I-V特性、角电流密度、稳定性以及寿命等性能进行了测试。实验结果表明,该源的各项指标均达到了聚焦离子束系统的要求,并对影响源性能的因素进行了分析,从而为合理有效地设计液态金属离子源提供启示。     

半导体离子注入用离子束加速管的聚焦特性

讨论了离子注入机用三间隙强流离子加速管的聚焦特性，计算了各种能量离子束聚焦情况，并分析了抑制空间电荷效应所需要的电场强度。最后总结了三间隙加速管设计和调试应注意的问题。     

美发明新型离子束聚焦系统

美国科学家发明了一种能同时聚焦离子束(通常为带正电荷的阳离子)和电子束的新系统，将离子束技术的运用范围和效率又向前推进了一步。聚焦的离子束在半导体行业有着重要作用，可用来切割纳米级结构，对光刻技术中的屏蔽板进行修补，分离和分析集成电路的各个元件，激活由特殊原子组成的材料，使其具有导电性等等。     

束流可调的二级透镜亚微米聚焦离子束枪的设计计算和调测结果

介绍了最新设计的二级透镜聚焦离子束系统，该系统具有高速消隐、束径束流电可调等特征。给出了该系统的设计计算和调测结果。在束能15keV、束流30pA时，束径达到0．1μm。     

聚焦离子束的束径测量

报道了聚焦离子束装置的束径测量方法和典型测量结果。偏转离子束使其扫过金属栅网的边缘,由法拉第筒接收到的离子流强度变化所形成的Ｓ形电流曲线可确定束径大小。在数据处理中,采用了快速傅立叶变换滤波的办法来消除,微小电流测量结果中的噪声,从而可以对Ｓ型电流曲线进行微分,得到束流密度空间分布。在改变透镜光阑口径而维持靶室离子流强度不变的测量模式中,证实了离子间库仑相互作用增大束径的效应。     

亚微米聚焦离子束的漂移现象

研究了亚微米聚焦离子束（FIB）系统的漂移现象，给出了测量漂移的方法，分析引起漂移的原因及降低漂移的措施。发现了偏转电极上钝化层及污染物充电电荷所引起的漂移现象；测出了各电极电压变化所引起漂移的大小；发现了由于外壳温度不均匀引起离子枪轴线相对样品变化所引起的漂移。提出了制作透镜电极时保持轴对称、特别是限制光栏必须位于透镜光轴上的必要性。所给出的漂移数据既包含早期曾研制的单级透镜FIB系统的数据，也包含近期研制的二级透镜可变束流FIB系统的数据。     

聚焦离子束的束径测量

报道了聚焦离子束装置的束径测量方法和典型测量结果。偏转离子束使其扫过金属栅网的边缘 ,由法拉第筒接收到的离子流强度变化所形成的S形电流曲线可确定束径大小。在数据处理中 ,采用了快速傅立叶变换滤波的办法来消除微小电流测量结果中的噪声 ,从而可以对S形电流曲线进行微分 ,得到束流密度空间分布。在改变透镜光阑口径而维持靶室离子流强度不变的测量模式中 ,证实了离子间库仑相互作用增大束径的效应     

亚微米聚焦离子束的像散检测与校正技术

介绍了二级透镜聚焦离子束系统中像散的检测技术与校正技术。详细叙述了像散检测的原理、方法以及像散校正系统的工作原理、电子线路和具体结构。     

离子束强化镀氮化钛薄膜正艺的研究

本文系统地研究了离子束强化高频离子镀TiN的工艺参数。为了比较其效果,相应地进行了高频离子镀、离子束强化蒸镀工艺实验。测量了上述三种方法镀膜的物理性能、分析了组织结构。离子束强化不仅提高了沉积速率,而且有明显的细化晶粒、择优取向的作用。本研究所得结果对提高 TiN 沉积速率、膜质量都有实用意义。     

端部霍尔离子源工作特性及等离子体特性研究

研制了一种用于离子束辅助沉积光学薄膜的端部霍尔等离子体离子源 ,论述了该源的工作原理以及伏安特性。着重研究了用五栅网探针测试该源所发射的离子能量的原理和方法 ,并对测量结果进行了分析、比较。对该离子源的离子束流密度和均匀性进行了测试和分析     

聚焦离子束在微纳尺度材料力学性能研究中的应用

微纳尺度材料是指外观尺寸或其基本构成单元在10nm到10μm之间（以下简称微纳尺度）的材料或器件。个案、定性的研究表明微纳尺度材料有以下特性：其性能不能通过外推基于宏观块体材料的知识体系得到,传统的力学测试工具和方法无法满足对微纳尺度材料进行测试的要求,微纳尺度材料通常在多场耦合条件下服役。这些特性要求研究工作者持续不断地寻找和研发新的工具以期实现对微纳尺度材料的可控制备,高通量观测、操控和定量测量。双束聚焦离子束技术不仅因具有纳米级的空间分辨率而具备对微纳尺度材料的高质量成像和动态监测,而且具备纳米分辨率的定点刻蚀、诱导沉积等功能。因此,双束聚焦离子束成为研究微纳尺度材料力学性能的有力工具。综述了近年来聚焦离子束技术在微纳尺度材料类力学性能研究中的应用,并讨论了其局限性和发展趋势。