CMP抛光液对TiO2薄膜表面粗糙度的影响

采用自主配制的碱性抛光液对TiO2薄膜进行了化学机械抛光(CMP),研究了在TiO2薄膜CMP加工过程中,碱性抛光液中的SiO2磨料、螯合剂、表面活性剂的体积分数和抛光液pH值对TiO2薄膜表面粗糙度的影响,并进行了参数优化。实验结果表明,在一定的抛光条件下,选用SiO2磨料体积分数为20%、螯合剂体积分数为1.0%、非离子表面活性剂体积分数为5.0%和pH值为9.0的碱性抛光液,抛光后TiO2薄膜表面没有划痕等抛光缺陷,表面粗糙度为0.308 nm,TiO2薄膜去除速率为24 nm/min,在保证抛光速率的同时降低了TiO2薄膜表面粗糙度,满足工业化生产要求。     

海藻酸钠自组装体系的AFM研究

运用原子力显微镜(AFM)对不同浓度海藻酸钠在云母表面上形成的自组装膜进行了研究,实验结果显示在0．001mg／ml时,海藻酸钠出现单分子聚集体形态;0.01mg／ml和0.05mg／ml时,呈现致密、紧凑的网格状结构。随着浓度的改变,海藻酸钠自组装表面超微结构也发生变化。初步分析了影响其表面超微结构变化的一些因素并运用耗散理论探讨了这种变化过程可能的机理。     

CMP抛光液对TiO_2薄膜表面粗糙度的影响北大核心CSCD

采用自主配制的碱性抛光液对TiO2薄膜进行了化学机械抛光(CMP),研究了在TiO2薄膜CMP加工过程中,碱性抛光液中的SiO2磨料、螯合剂、表面活性剂的体积分数和抛光液pH值对TiO2薄膜表面粗糙度的影响,并进行了参数优化。实验结果表明,在一定的抛光条件下,选用SiO2磨料体积分数为20%、螯合剂体积分数为1.0%、非离子表面活性剂体积分数为5.0%和pH值为9.0的碱性抛光液,抛光后TiO2薄膜表面没有划痕等抛光缺陷,表面粗糙度为0.308 nm,TiO2薄膜去除速率为24 nm/min,在保证抛光速率的同时降低了TiO2薄膜表面粗糙度,满足工业化生产要求。     

液相型AFM的研制与金属腐蚀原位研究

介绍了新型液相型原子力显微镜（AFM）的工作原理、系统结构和独特性能，讨论了该AFM在金属腐蚀研究中的应用。利用液相型AFM对碳钢在NaCl溶液及Pb在草酸溶液中的腐蚀过程进行了原位观察，获得了理想的扫描图像。实验结果表明，金属腐蚀最初起始于原子或纳米尺度，之后逐渐扩大到宏观尺度；金属表面的凹坑或缺陷可加速其腐蚀；而表面突起的结构则被一层层腐蚀。     

AFM扫描参数对表面粗糙度测量的影响分析

原子力显微镜(AFM)是纳米科技研究中一个重要工具.影响AFM测量图像质量的因素很多,本文从AFM扫描参数选择的角度,研究扫描参数对样品表面均方根粗糙度的影响.实验和理论分析表明,扫描速度、反馈控制参数中的比例常数P和积分常数I的选择均对样品的表面粗糙度测量及评定产生影响.     

原子力显微镜技术在细胞研究中的进展

原子力显微镜(AFM)是生物显微技术的一个重要组成部分,可实现液体环境下活细胞高分辨率的成像与操作,为细胞生物学研究提供了新的方法。近年来,AFM已经逐渐发展成为集样品成像、力测量及操作等功能于一体的多功能生物细胞研究平台,在细胞研究中得到了广泛的应用。在简要介绍AFM组成与工作原理的基础上,详细阐述了近年来基于AFM成像与力谱技术的细胞研究的发展状况。针对AFM本身所存在的不足,介绍了AFM与其他技术相结合的研究成果,并对AFM在生物细胞研究中未来的发展方向进行了展望。     

GaSb晶片钝化工艺对抛光表面的影响

锑化镓(GaSb)作为常用的III-V型半导体材料,因其易于氧化的性质而限制了其应用效果,而硫钝化是一种常见而有效的应对手段。该文选取了硫化铵溶液,对化学机械抛光后的晶片表面进行处理,以研究硫钝化工艺中钝化时间对抛光面的影响。实验结果通过原子力显微镜(AFM)和X线光电子能谱(XPS)进行了表征,研究发现,经硫化铵溶液处理后,与Ga相比,Sb的硫化程度更完全,且该程度会随着硫化时间的延长而逐渐加大。另外,处理时间长会加重GaSb晶片表面的腐蚀,使其表面起伏加剧,表面粗糙度增大。     

应用Fe3+在裸云母表面制作DNA分子的AFM样品的方法

原子力显微镜(AFM)既是观测生物大分子的有力工具,也是生物单分子操纵的有力工具.脱氧核糖核酸分子(DNA)是记栽了生物信息的重要生命分子,同时也是在分子器件领域具有极大潜力的天然纳米材料.利用AFM对DNA分子观察和操纵时,制样是关键.云母具有原子级平整的表面可作为观测DNA分子时的基底,但由于其表面负电性而不能和DNA分子很好地结合,所以通常需要对云母进行表面修饰.本文给出一种通过加入适量三价铁离子溶液在裸云母表面制作DNA样品的方法,可取代传统的云母表面修饰.该制样方法既可应用到基于AFM技术的DNA分子的形貌观察,也可应用在基于AFM技术的对DNA的单分子操纵.     

退火对Al掺杂ZnO薄膜材料结构性能和表面形貌的影响研究

采用无机盐溶胶-凝胶方法在载玻片衬底上制备了ZnO:Al薄膜,利用X射线衍射(XRD)和原子力显微镜(AFM)研究了退火温度和退火时间对ZnO:Al薄膜结构和形貌的影响.结果显示,ZnO:Al薄膜为六角纤锌矿晶体结构,具有很高的沿C轴的(002)择优取向,随退火温度的升高或退火时间的适当延长,衍射峰的半高宽减小、强度增强,晶粒尺寸增大.结果表明,通过适当控制退火温度和退火时间可以得到高质量的ZnO:Al薄膜.     

硅基底表面上多种形态碳纳米管的生长

以Fe/Ru双金属纳米颗粒为催化剂,在含有一层自然氧化层的硅基底上制备单分散碳纳米管,并用原子力显微镜进行表征。实验结果表明在同一基底上碳纳米管具有多种形态,如环形、树枝状分叉形、锥形,单根和成束等。这种多种形态碳纳米管的出现,为更进一步了解碳纳米管的生长机制以及对控制碳纳米管制备有着重要意义。     

硅(001)衬底上生长的ZnO薄膜的AFM研究

对采用电子束反应蒸镀方法在低温下在硅（001）衬底上外延生长的ZnO薄膜的表面构像进行了原子力显微镜（AFM）观察，分析研究不同的衬底温度对薄膜表面形貌及结构特性的影响。在250℃衬底温度下获得的ZnO薄膜，膜表面平整，结构致密，表面平均不平整度小于3nm，说明在该衬底温度下获得的ZnO薄膜是高透明度、高质量、高度取向的单晶薄膜。     

原子力显微镜观察虫草多糖分子的结构形貌

本文通过原子力显微镜直接观察虫草多糖分子的三维结构的形貌。虫草多糖分子的稀溶液铺展在Ｎｉ＾２＋处理的云母片上,经干燥,乙醇固定后,获得稳定,重复的图像。结果表明虫草多糖分子具有高度分枝的结构,并且糖链间形成小环或螺旋结构     

利用AFM动态电场在Si表面实现纳米氧化结构

讨论利用原子力显微镜(AFM)动态电场诱导阳极氧化作用下Si表面生成纳米氧化结构的特征,并进行相应的机理分析.实验表明,直流电压作用下的氧化结构表现出单峰特征,而电压脉冲和连续方波所得到的氧化结构具有中央凹陷特征和较高的纵横比.     

兔骨骼肌ryanodine受体/钙释放通道的AFM研究

Ryanodine受体（RyR)是位于细胞内质网膜上的钙释放通道,在肌细胞的兴奋－收缩偶联中发挥重要作用。RyR难于结晶,以往主要是用电镜和计算机三维重组相结合的方法来获得其高级结构的信息。由于RyR结构庞大,易于水解,在提取的过程中需要加入外源性磷脂以保护其结构,而磷脂的存在对电镜的分辨率有影响,所以电镜研究的RyR在提 过程中一般不添加外源性磷脂,这样得到的结构信息并没有反映RyR在生理状况下的真实情况,我们用原子力显微镜（AFM）对RyR进行研究,经过了空气中RyR成像,液体中RyR成像,重组到脂双层中的RyR研究几个阶段,提供了RyR在接近生理条件下的结构信息,并为进一步研究其结构和功能的关系打下了基础。     

海藻酸薄膜表面超微结构的原子力显微镜研究

本文采用原子力显微镜（ＡＦＭ）对海藻酸生物薄膜表面的超微结构进行了实验研究,选择出最佳观察方法。结果发现薄膜上分布不规则的微孔,其长短孔径之比大约为３：２,微孔的中心距为孔径的２倍。     

云母表面改性的AFM研究

采用原子力显微镜(AFM)对γ-甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷(KH-570)改性后的云母表面形貌进行观测,并综合表面粗糙度Rq、粒子高度D及Z方向最高高度等参数考察了清洗方式、偶联剂浓度以及清洗和烘干顺序对改性后云母表面形貌的影响.实验结果显示:改性后云母表面粗糙度受云母表面的点缺陷、清洗方式及处理顺序等因素影响,而偶联剂分子在云母表面的存在形态受改性溶液中偶联剂浓度的影响.随着偶联剂浓度的减小,改性后云母表面上偶联剂由网状变为分散点状.