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楼祺洪 《激光与光电子学进展》1998,35(1):29-31
微电子工业中最严重的问题之一是表面残存的微粒,它甚至会使成品率下降50%。采用有效的清洗过程对各种高技术过程都有帮助,这些过程包括半导体生产、计算机驱动器、光存储装置和高能光学元件的加工。当这些小尺寸的技术要求提高时,要移去的最小粒子尺度逐步变小。例如,当今的亚微米集成电路技术,1μm大小的颗粒是形成线路失效的主要来源,在下一个十年,0.015um大小的粒子也会成为问题。目前工业中应用最广泛的技术是化学试剂,但试剂本身也包含微小颗粒。当然可采用含颗粒很少的溶剂和水,但是价格十分昂贵。清洗直径小于0.]pm的… 相似文献
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随着我国工业不断地转型升级,对工业清洗的质量、效率、服务也提出了更高的要求,传统清洗方式因其高污染、高能耗等缺陷已无法满足工业领域的应用需要。而激光清洗作为一种绿色、环保、无损的新型清洗方式,迅速成为工业清洗领域的热点技术。文中梳理了三种典型的激光清洗方法,总结了激光清洗相关的机理。同时,阐述了面向航天航空、船舶建造、轨道交通等领域开展的激光清洗应用进展。根据近年来国内外院校和企业在激光清洗系统、设备方面的科技成果,提出国内激光清洗推广应用所面临的瓶颈,展望了激光清洗技术在未来的发展方向。 相似文献
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金属表面的激光清洗技术及应用 总被引:2,自引:0,他引:2
激光清洗是近年来发展迅速的一种新型清洗技术.在一些特定领域,激光清洗与传统清洗工艺相比具有更好的清洗质量和更高的清洗效率.本文阐述并分析了激光清洗金属表面的物理过程,介绍了激光清洗技术在清洁小孔、去除膜层、清除放射性污染层和文物保护等方面的应用. 相似文献
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激光表面清洗的原理和实际应用 总被引:7,自引:0,他引:7
文章介绍了一种干法清洗技术——激光表面清洗的原理和它的实际应用,指出这种新型清洗技术具有无研磨、非接触、无热效应和适用于各种材质的物体等清洗特点,被认为是许多领域最可靠、最有效的清洗方法,它正以自身的优势和不可替代性,在许多领域中逐步取代了传统的清洗工艺。 相似文献
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要提高雷达T/R组件的可靠性,清洗工艺是非常重要的工艺步骤。但是,超声波清洗和汽相清洗等很多清洗工艺都有很多的缺点,使用的溶剂污染环境,破坏大气层,对人体有害,而且还会对组件中的电路或芯片造成损伤。激光清洗工艺有环保和无损伤的优点,而且能有效地清除组件中的氧化物、有机污染物和各种细小的颗粒等。可以预测,激光清洗必将在雷达T/R组件的制造中发挥越来越重要的作用。 相似文献
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在制造业,特别是在航空制造业中,各种产品零件在装配前需要进行认真仔细的去脂除污处理,传统的清洗方法有很多种。随着环境保护、高精度以及高效率的矛盾日显突出,各种有利于环境保护、适合于超精加工领域零件的清洗技术应运而生,激光清洗技术就是其中之一。介绍了激光清洗技术的原理和方法,研究了利用脉冲Nd:YAG激光清洗被污零件的情况,对研究结果进行了讨论。并对激光清洗技术的应用前景进行了展望。 相似文献
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文章介绍了印制线路板的焊接制造工艺过程;助焊剂的种类及其在焊接过程中的作用;焊接残留物的主要成分及其对电子线路板的危害;并着重介绍了各种印制电路板清洗技术及其选用时的注意事项。 相似文献
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激光切割技术在钣金加工中的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了激光切割技术在板金加工中的应用历程,并通过对先后引进的激光切割设备加工过程及性能的对比,阐述了激光切割技术的进步。根据激光切割技术在实际生产中的应用情况,从激光切割技术的加工范围、加工精度等级及加工成本等方面,谈谈体会。 相似文献