微光机电系统及其应用

微光机电系统（MOEMS）是在微机电系统（MEMS）基础上发展起来的一种新技术系统,它是由微光学,微电子和微机械结合而产生的一种新型的微光学结构系统,MOEMS在信息,军事,航天,医学,工业等领域有着广阔的应用前景,综述了近年来微光机电系统的发展和应用。     

微光机电系统国内外研究进展

本文概述了国际上十分重视的微光机电系统的产生、发展及其显著特点,并从微制造技术、微器件与系统及激光机电系统的应用等几方面简要介绍了国内外发展现状。我国微光机电系统的研究起步并不算晚,近年来成果十分显著,但要缩小与世界先进水平的差距,还需多方面的努力。     

微机电系统的研究与展望

微机电系统是面向2l世纪的高新技术。文章对微机电系统产生的背景、组成特征、发展现状及应用前景进行了全面分析。在此基础上，论述了MEMS未来发展的趋势。     

一般性问题

TN一1 01020001微光机电系统国内外研究进展/粱静秋(中国科学院长春光机所),,光机电信息一2000,17(8)一1一5文中概述了国际上十分重视的微光机电系统的产生、发展及其显著特点,并从微制造技术、微器件与系统及微光机电系统的应用等几方面简要介绍了国内外发展现状.我国微光机电系统的研究起步并不算晚,近年来成果十分显著,但要缩小与世界先进水平的差距还需多方面的努力.图5参10(许)自适应温度补偿技术及应用/陆一(电子部29所)11电子对抗技术.一2000,15(5)一47一48,封三针对军用电子设备普遍存在的温度漂移问题,提出几种切实可行的自适应温…     

微机械加工及其在光器件方面的应用

近来,微机械的实现仍被认为是未来的梦想.目前,在微机械加工的基础上,研究人员正在探究微机械电子学、进而是融汇了光技术的微光机械电子学的可能性,本文对微机械加工,其微型化的方法和存在的问题作以叙述.     

MEMS光开关的控制

ME MS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微机电系统）是将微型机械、微型执行器、信号处理和控制电路等集于一体的、可批量制作的微型器件或系统。MOEMS则是Micro—Opto—Electro-Mechanical System的缩写。把微光学应用到微机电系统中，这是MEMS在光通信中的重要应用。微光电机械芯片通常是指包含一个以上微机械元件的光系统或光电子系统，其应用将遍及光通信、光显示、数据存储、自适应光学及光学传感器等多个方面。     

微光机电系统在先进医疗工程中的应用研究

微光机电系统是一门多学科交叉融合,并且在航空航天、生物医学等多个领域发挥巨大作用的高新技术,从微光机电系统的发展概况出发,简要介绍微光机电系统的加工工艺,着重谈论了微光机电系统在外科手术、复杂器官的检查等方面的应用以及在生物医学方面其它重要作用,对现代医学工程的发展和展望具有重要的参考价值。     

可调谐微腔发光二极管微光机电系统悬臂梁的特性

采用微机械表面加工技术,成功设计并研制出具有GaAs基微光机电系统(MOEMS)悬臂梁结构的可调谐微腔发光二极管。对其工作特性进行了分析,测量得到悬臂梁载荷-位移关系曲线,并对微光机电系统悬臂梁可调谐微腔发光二极管进行调谐光谱测量。实验结果表明,在直流电流40mA,调谐电压范围4～22V时,波长从974.5nm蓝移至956.9nm,室温下波长调谐最大达到17.6nm。在实验基础上,采用有限元方法对具有分布布拉格反射镜(DBR)结构的悬臂梁动力学特性进行了研究,模拟结果与实验结果吻合较好。当悬臂梁长度为400μm时,最大位移达到411nm,最大调谐电压达到24V。     

微光机电系统技术的研究与应用(下)

二光学研究和应用 　　微光学平台是微光机电系统技术应用的一个典型例子,它主要用于光学测量和实验.传统的光学系统平台体积大,系统中的元件是先分开制造然后组装而成,装配量很大,成本很高.而微光学平台体积小,系统中的元件可集成加工在单一芯片上,对准精度高,可成批生产,成本低.这些优点使微光学平台相对于传统的光学系统有很大的优势.所以,该方面的研究是微光机电系统研究的最基本部分.研究包括各种微铰链(图7(a))、微反射镜(图7(b))、微衍射透镜(Fresnel,多阶二元微透镜(图7(c))、微折射透镜(图7(d))、光束分离器和光栅等.图8所示为美国加州大学洛杉矶分校提出的微光学平台样机.该微光学平台由微透镜、分束器、反射镜和光栅等元件通过铰链组装技术集成在一个芯片上. 　　……     

微光机电系统

<正>微光机电系统(MOEMS)是以批量化的微电子技术为基础,通过各向异性腐蚀、各向同性腐蚀、牺牲层腐蚀、键合等技术,制造出各种微机械结构,并使之与电路相集成,组成一个可以完成信息获取、处理及执行功能的微系统。