基于MEMS技术的微型气相色谱柱的研制

描述了一种采用MEMS技术加工的微型气相色谱柱，这种色谱柱采用深刻蚀技术加工出色谱通道，再与Pyrex7740玻璃进行键合密封。色谱柱全长6m，色谱通道截面为矩形（宽100μm，深100μm），针对苯和甲苯的混合气进行了分离试验，理论塔板数达到了4800，分离时间为185s。     

基于MEMS技术的微型气相色谱柱的研制

描述了一种采用MEMS技术加工的微型气相色谱柱,这种色谱柱采用深刻蚀技术加工出色谱通道,再与Pyrex 7740玻璃进行键合密封.色谱柱全长6 m,色谱通道截面为矩形(宽100 μm,深100 μm),针对苯和甲苯的混合气进行了分离试验,理论塔板数达到了4800,分离时间为185 s.     

基于MEMS技术的微型气相色谱柱的研究进展

微型气相色谱柱是基于MEMS技术的微型分析化学器件,主要用于混合化学组分的分离,采用MEMS技术制作的微 型气相色谱柱在体积上得到了极大的缩小,便于集成到便携式设备中,其次,微型器件带来更小的热容量,因而能在更小的功 耗下获得更快的升温速率,从而加快了分析速度,进而改进了器件的整体性能.针对MEMS微型气相色谱柱的研究...     

MEMS微型气相色谱分离柱结构的研究进展

气相色谱分离柱是色谱系统的重要组件之一,采用MEMS技术制作的微型气相色谱分离柱与传统分离柱相比,因其具有较小的平面二维结构和快速分离混合物的能力而备受青睐。对MEMS微型气相色谱分离柱结构的研究进展进行了综述,将硅基底材料制作的分离柱结构分为螺旋型、直线型、蛇型和阵列型,重点从组分分离时间、分辨率和理论热塔板数等方面对微型色谱分离柱的各种结构进行了综合分析和比较,并介绍了新兴工艺制作的镍基底、聚合物基底和PECVD薄膜基底的微型气相色谱分离柱。     

微型泵的驱动技术

本文通过对近几年来各类微型泵研究的比较,从微型泵设计的关键技术－驱动方式的角度进行考虑,着重以压电致动泵,热气致动泵,电磁致动泵和记忆合金振膜泵等微型泵进行讨论。     

基于MEMS技术的微型燃料电池的制作

提出一套基于MEMS加工技术和薄膜淀积技术的硅基微型直接甲醇燃料电池的制作工艺流程。该微型燃料电池采用KOH体硅腐蚀技术得到流体通道,并溅射金属Pt层作为收集电流的电极。采用PDMS将两块带有微通道的燃料电池硅片与涂有催化剂层的质子交换膜密封粘合。制作得到的微型燃料电池单元的流道有效尺寸为:8 6mm×8 6mm。室温常压下,单电池的开路输出电压为0 4V左右。当输出电压为0 21V时,达到最大输出功率15 6μW(21 1μW/cm2)。     

基于MEMS工艺的微型制冷器

微机电系统MEMS(micro-electro-mechanical system)是一种集合了微电子与机械工程技术的新型高科技装置,其制造工艺可以进行最小至纳米尺度的加工以及高度集成化的微型制造.其产品微小体积、高度集成化以及高性能高产热的特性也决定了其需要匹配相应的制冷解决方案,本文重点阐述了基于MEMS制造工艺并...     

用于恶臭气体检测的微型气相色谱柱的研发

基于微流控芯片的微型气相色谱柱可实现对微量恶臭气体的快速有效检测。给出了微流控芯片上微型气相色谱柱的检测机理和实验数据。该芯片利用喷砂加工技术在尺寸为115 mm×60 mm×6 mm硼硅酸玻璃晶圆上加工出半圆截面的S形微通道,再用热键合技术将具有同样沟槽的两基片对接,得到内径为1 mm的圆形截面沟槽,沟槽有效长度为1.8 m。根据恶臭气体的性质,在沟槽表面涂敷聚乙二醇作为固定相。所开发的芯片对丙酮气体的检测要优于不锈钢色谱柱。利用该芯片进一步对丙酮和乙醇混合气体进行分离实验,分离度可达3.1,分离性能良好。     

微型色谱柱制备及其GC谱线分离性能的优化

基于激光刻蚀加工技术设计并制备了新型蛇形沟道布局微型色谱柱芯片,采用硅材料衬底刻蚀加工,设计并制备了不同沟道布局的微型色谱柱,并对混合组分进行分离分析.选取成本较低、加工周期较短的紫外激光刻蚀进行微型色谱柱制备,并针对实验得到的色谱图存在的重叠峰问题,利用连续小波变换提取色谱重叠峰的特征点,构建反映重叠峰前肩峰、后肩峰...     

新型光敏聚酰亚胺微型阀

微型阀是微流体测量系统的重要组成部分，本文提出了种微型光敏聚酰亚胺被动阀，分析了该材料性能，叙述了微型阀的特点、结构设计和工艺流程，并讨论了加工过程中的一些关键技术。     

气相色谱法分析天然气成分

对于天然气的研究,各级学者已经进行了很多研究,也得出了不少的研究结果,本文针对这些已经有的研究结果进行了阅读,作者重点对使用气相色谱法来对天然气的成分进行测定进行了研究,从而确定天然气的成分,得到了一个较好的实验数据。     

基于硅悬臂梁谐振器的新型气体传感器

研究了一种基于硅悬臂梁谐振器的新型气体传感器.该传感器在敏感环境中,可同时获得敏感膜电导率和质量变化,测量被测气体分子的荷质比,具有高灵敏度和高选择性.根据这一原理,针对气体传感器的需求,设计了硅悬臂梁谐振器化学传感器结构,进行了仿真优化,并采用MEMS表面牺牲层工艺制备该器件,激光频率仪测量验证了该微型谐振梁的谐振频率.     

Design of a Silicon Beam Resonator for a Novel Gas Sensor

研究了一种基于硅悬臂梁谐振器的新型气体传感器.该传感器在敏感环境中,可同时获得敏感膜电导率和质量变化,测量被测气体分子的荷质比,具有高灵敏度和高选择性.根据这一原理,针对气体传感器的需求,设计了硅悬臂梁谐振器化学传感器结构,进行了仿真优化,并采用MEMS表面牺牲层工艺制备该器件,激光频率仪测量验证了该微型谐振梁的谐振频率.     

基于MEMS技术的电容式微型真空传感器

介绍了一种以MEMS技术为基础的电容式硅微真空传感器。该传感器主要采用p+硅自停止腐蚀技术和阳极键合技术制作,形成了玻璃-硅-玻璃的三明治结构。传感器的传感元是经过浓硼扩散的硼硅膜,方形硼硅膜的应用使传感器具有更高的灵敏度;感应耦合等离子体刻蚀硼硅膜引出金属电极的方法使传感器的制作更为简单。该真空微传感器具有结构简单、灵敏度高等优点,其尺寸为5mm×6.4mm。该真空传感器的测量范围为5×10-3～6×10-2Pa,其线性度为5.9%,灵敏度比较稳定。     

基于MEMS的显示技术推动新一代FPDs在移动中的应用

今天，移动电子设备制造商正面临着一系列的竞争和挑战。为了继续生存，他们必须提供具有更多功能和更高性能的设备，为此必须降低功耗、尺寸和成本。     

基于MEMS的光开关技术研究

介绍了光开关、MEMS和MEMS光开关的基本概念.基于功能实现,重点分析了二维和三维MEMS光开关的实现机理与特性.针对两者不足,研究了一维MEMS光开关.分析了MEMS光开关的驱动方式,并针对静电驱动、二维MEMS光开关,研究了MEMS光开关控制系统.