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近年来,随着驱动IC的I/O数量日益增多,芯片I/O端的排列密度也越来越大。为了与间距日益精细的芯片I/O端相适应,COF基板的线宽/间距已经普遍降到50μm以下,尤其是某些内部引线键合(ILB)端,其线宽/间距已经减小到15μm。由于传统的减成法存在不可避免的侧蚀问题,所以用它来制作如此精细的线路存在一定难度。但是使用半加成法就能很大程度的抑制侧蚀现象,它更适合于制作非常精细的线路。文章中,介绍以铜箔厚度仅有2μm的溅射型挠性覆铜板为原材料,采用半加成法制作了最小线宽/间距分别为50μm/50μm和30μm/30μm的精细线路基板。在半加成法的差分蚀刻工艺中,选用硫酸/双氧水蚀刻液来蚀刻去除基材铜,而不是选用常用的盐酸/氯化铜蚀刻液。结果表明,半加成法具有很好的蚀刻性能,其制作出的线路横截面非常接近矩形。即使基板的线宽/间距由50μm/50μm下降到30μm/30μm,线路的横截面依然非常理想,并没有出现向梯形变化的趋势。同时,由于半加成法所需的蚀刻时间非常短,它能很好的保持线宽,使其与设计尺寸一致。 相似文献
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文章结合过显侵蚀干膜的原理,试验设计不同的显影条件,分析干膜线路和蚀刻线路的情况,确定显影关键点及其对精细线路制作的影响。 相似文献
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HDI精细线路制作工艺的探讨 总被引:1,自引:2,他引:1
随着HDI制作工艺的飞速发展,不同品种类型HDI的制作决定着其本身所选用的积层方式和线路制作工艺。本文通过对各种HDI线路制作工艺的对比分析,探讨了目前国内各HDI生产厂家普遍采用的线路制作工艺与品质特性及其未来发展趋势。 相似文献
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在mSAP(改进型半加成法)工艺中,选择不同厚度的基铜对于蚀刻量有着很大的影响,而蚀刻量的大小会决定着线路补偿值,进而影响线路宽度和间距的设计。mSAP工艺常用的基铜厚度有:2μm、3μm和5μm。本文通过微切片、剥离强度测试以及扫描电子显微镜(SEM)来测试研究线路宽度补偿和基铜厚度之间的关系,同时确认出超薄铜箔对于线路可靠性的影响。 相似文献
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随着晶片封装技术的不断发展,要求基板线路的精细度越来越高,50μm/50μm以下的COF(Chip on Flex)精细线路将成为未来发展的主流,但精细线路的制作一直是FPC生产上的难点,当线路在50μm/50μm以下时,成品率较低难以满足量产化的要求。本文中以公司的现有设备为基础,通过传统片式生产线,选用12μm铜箔作为基材、15μm干膜作为抗蚀层,使用玻璃菲林进行图形转移,同时通过表面处理、改变曝光、显影和蚀刻参数等,对30μm/25μm的精细线路进行研制,并通过金相切片测试仪、三次元测试仪、AOI(Automatic Optical Inspector)等对产品进行检查。结果显示,线宽、蚀刻系数和成品率都能达到小批量生产的要求。 相似文献
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文章主要是通过试验及Cpk计算评估精细线路板件在碱蚀流程中的加工情况,找出不同蚀铜厚度、不同线路类型及不同线路走向之间的线宽补偿规律,从资料制作上改善受图形分布或平板加厚导致线细与蚀不净矛盾,降低生产难度,提高板件加工稳定性。 相似文献
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文章针对云南电网电力研究院电力安全规程考试过程中存在的问题和弊端,如:题库信息保存不长久、手工维护效率低下试的专业化和规范化管理不够完善等,开发了基于SAP ERP的电力安全规程考试系统.此系统是基于ERP思想,在SAP技术平台之上,利用ABAP开发语言,针对安规考试的功能需求进行的详细开发,系统本身主要包括几个功能模块:试题导入;抽取、打印复习题;抽取、打印考试题;下载复习题(面向全体员工).在最后—个模块中,提供了按需定制的下载复习题功能,能够自动集成试卷(WORD格式),达到了智能化效果.此系统克服了以往安规考试的弊端,大幅缩短安规考试的前期准备时间和人力的投入,提高了安规考试的规范性. 相似文献
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文章介绍了椭圆模型在密集线制作中的应用,包括线路补偿、铜层厚度、线宽控制。依据椭圆模型,我们如何进行密集线生产操作和控制,使其达到理想的效果。 相似文献
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