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一种镀膜装置中的遮板,是用以在一基板上形成两种以上特定厚度的镀膜层,其中遮板的形状是由多数条同心圆弧线所构成,同心圆弧线的弧度是依据镀膜层的特定厚度设成。具有遮板能够精密控制镀膜层每一点的膜厚的功效。 相似文献
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本发明提供一种具有单离子束和双离子束以及多离子束溅射淀积,能产生单质、二组元、三组元、四组元成分,原位反应共溅射淀积纳米膜(含微米膜)的、 相似文献
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本实用新型公开了一种用于气相沉积的卧式多层陶瓷薄膜气相沉积装置。它包括沉积室、支架以及设置在内支架内的蝶阀、罗茨泵、机械泵,在支架的上部横置有沉积室,沉积室的两端设有封头,在沉积室内部对应设有长方形的上极板和下极板,沉积室上设有观察窗,沉积室的下部通过蝶阀和管道分别连接有罗茨泵和机械泵。 相似文献
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本实用新型提供了一种高反射镜连续磁控溅射镀膜生产设备。包括依次连接的前锁定室,前等待室,过渡室。金属膜工作室,含氩气进口和氧气进口的介质膜工作室, 相似文献
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《热加工工艺》2007,36(3):9-9
本发明提出一种颗粒增强铝基复合材料的半固态连接方法及其装置。装置由原位加热装置、测温热电偶、温度控制仪、滚动连接压头以及速度调节器组成,其中,原位加热装置、测温热电偶和滚动连接压头按先后顺序排列在一个平行于连接面的导杆上,温度控制仪通过引线与测温热电偶连接,速度调节器与滚动连接压头连接;可调式加压装置安装在滚动连接压头上,在连接装置两侧,设有固定连接母材的夹具:将颗粒增强铝基复合母材料加热到基体铝合金的液一固两相温度区内液相线温度附近,在复合材料上加热的宽度比瞬间加载的宽度稍宽,随即进行瞬间加载使颗粒增强铝基复合母材料发生触变流动,从而实现颗粒增强铝基复合材料的连接。 相似文献
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一种工件表层纳米陶瓷薄膜制备装置,其特征是真空反应室的顶部具有带法兰的罩盖,罩盖的顶部与升降机构的提升端连接;罩盖内具有带升降机构的阳极板,其极端通过导线接射频电源,阳极板的下面设置有带小孔的分流管外接气体管路;真空反应室的底部安装有由加热板支撑的电热丝,加热板上面由绝缘座支撑有温度缓冲板,由其支撑加工工件极板,其极端通过导线接射频电源:在机架内具有充气阀和真空规管分别与真空反应室底部连接;真空反应室底部由带蝶阀的抽气管外接出机架与真空泵组连接。具有真空反应室空间大,设置有加热机构、真空泵组设置在机架外,设置有可升降阳极板,设置气体分流管,在气体管路上设置有电磁阀,气瓶设置在气柜内等特点。 相似文献
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