K射线衍射仪样品装调误差分析与校正

使用X射线衍射仪分析样品,测试角度误差的大小影响着分析结果的准确性,而样品装调误差会导致测试角度误差.本文系统分析了样品装调对测试角度误差的影响.结论是,转动误差和偏心误差对测量误差影响较大,一般需要校正;俯仰误差对测量结果影响较小,一般不用校正.实验表明,通过校正样品装调后的转动误差和偏心误差,可以将测量角度随机性误差控制在0.006°(2θ)以内,并将周期厚度为17nm左右的[Mo/Si]多层膜的测试周期厚度精确到0.1nm,为极紫外区高精度膜厚控制提供了保证.     

高精度旋转变压器编码器电路的研制

作者基于RDC2S80解调芯片设计出一种硬件补偿型高精度旋转变压器编码电路,可将其角度测量分辨率由13位提高到15位,并且已成为地应用于某无刷直流力矩电动机驱动的高性能伺服系统中。     

X射线衍射仪样品装调误差分析与校正

使用X射线衍射仪分析样品,测试角度误差的大小影响着分析结果的准确性,而样品装调误差会导致测试角度误差.本文系统分析了样品装调对测试角度误差的影响.结论是,转动误差和偏心误差对测量误差影响较大,一般需要校正;俯仰误差对测量结果影响较小,一般不用校正.实验表明,通过校正样品装调后的转动误差和偏心误差,可以将测量角度随机性误差控制在0.006°(2θ)以内,并将周期厚度为17nm左右的[Mo/Si]多层膜的测试周期厚度精确到0.1nm,为极紫外区高精度膜厚控制提供了保证.     

对一种进口设备中的角度—数字转换器的分析与研究

本文所述角度一数字转换器采用双8421BCD码码盘,一称之为主码,另一称之为副码(注)。当主码输出时,副码作为过渡码。当副码输出时,主码作为过渡码。该码盘可能的误差仅为一个最小数字单位,从而消除了非单值性误差,且读出电路简单,数据处理方便。     

一种新型高精度位置伺服系统的摩擦补偿控制

对含有摩擦环节的位置伺服系统,提出了一种新型的位置控制方法,针对TI公司MCK2407控制套件和PITTMAN3441无刷直流电机构建的位置伺服系统,设计了名义特性轨迹控制器,对该位置伺服系统进行了仿真分析和实验研究,实验结果表明该方法对摩擦具有很强的抑制作用,系统具有较高控制精度,响应速度快,超调量甚低.     

减小数控机床步进电机开环伺服系统误差的方法

本文介绍了减少数控机床步进电机开环伺服系统误差的几种方法。     

旋转变压器的角度误差校正系统设计

针对旋转变压器输出数据存在的角度误差问题,对旋转变压器校正方法进行了研究,设计并实现了旋转变压器角度误差校正系统。该系统充分利用了旋转变压器工作原理,发挥了光电编码器优势,采用了FPGA和ARM的优点,由同一电机带动光电编码器和被测旋转变压器,以FPGA+ARM组成的控制模块读出光电编码器和被测旋转变压器的角度,并进行比较分析,测量旋转变压器的非线性误差,建立误差分析表,提出了一种根据系数进行补偿的方式,对旋转变压器的误差进行了补偿。研究结果表明,该系统能对旋转变压器的输出数据进行校正,校正前旋转变压器的角度误差最大为21.2弧分,通过该系统校正后,测角误差最大为5.3弧分,系统校正速度较快且效果明显。     

旋转变压器轴角数字转换系统的误差分析

本文分析了以旋转变压器为角度传感元件,跟踪型轴角数字转换器为角度测量元件的测角系统的静态和动态误差,指出了导致测量误差的各种因素以及误差的具体表达式。分析表明角度传感元件的某些误差可以通过适当调整轴角数字转换器的参数予以补偿,从而提高整个测角系统的测量精度。     

高速精密数控进给伺服系统摩擦误差的研究

针对一个实际的X—Y高速精密数控工作台，建立了一种考虑摩擦影响的PID控制下的进给伺服系统的数学模型。伺服机构中的摩擦力大小通过二维混合摩擦模型实现精确预测。通过MATLAB仿真模拟和使用球杆仪实际测量，在不同的工况下，分析了工作台做圆运动换象限时出现尖峰突起的误差现象，并因此得到了进给速度及进给半径对摩擦所造成的轮廓误差的影响曲线。     

一种高精度大惯性液压伺服控制系统及其控制方法

介绍一种高精度大惯性液压伺服控制系统及其控制方法，该系统由计算机进行控制，其控制方法特点之一为：通过检测液压缸两腔的油压信号进行动压反馈来补偿控制伺服阀的信号大小，以增大系统的阻尼，抑制大惯性引起的振动，提高系统稳定性。另一特点为根据设定信号与反馈信号偏差的变化情况来自动补偿由环境条件变化而引起的零漂，以提高大惯性系统的控制精度。     

高精度角度自动测量系统

高精度角度自动测量系统采用自准直平行光管将被测角度转换为焦平面上两十字叉丝的相对位移,经ＣＣＤ摄像机和图像采集卡对叉丝图像采集后进入计算机进行识别和处理,并根据图像的特点采用两次拟合的算法得到高精度的角度值。高精度角度自动测量系统具有测量精度高、自动化程度高、稳定性好、适应性强、可同时进行二维角度测量等特点。系统角度测量分辨率达０－０１″,测量精度为０－１″     

高精度角位移测量系统设计

采用双通道多极旋转变压器和AD2S83构成的测角系统可以实现角位置和角速度的高精度动态测量。该测角系统采用单片机实现角位置的动态监控,使用CPLD完成了AD2S83与DSP通信的接口逻辑设计,并采用DSP实现双通道角位置粗精耦合及测速算法。     

CCD在高精度水平伺服系统中的应用

在高精度水平伺服系统中,倾角检测元件的精度成为关键的关键,本文提出的以ＣＣＤ作倾角检测元件的水平伺服系统方案,可获得十分理想的高性价比。     

高精度伺服转台系统的数字仿真

本文叙述了高精度伺服转台控制系统动态特性的数字仿真.给出了系统频率特性的计算机绘制.     

高精密滚转角测量干涉仪

现有的各种激光干涉仪可以方便地测量围绕垂直于直线位移方向的两个转角偏移,但是对于围绕运动轴的滚转角偏移,特别是对于大行程运动,缺乏有效的测量方法。针对各种高精密直线运动定位装置,设计一个新型的差分平面干涉仪,并采用一个楔面棱镜和楔面反射镜,组合成为一个几何空间对称四光路系统,构成新型的高精密滚转角激光干涉测量仪。它不需要与行程同长的大反射参考镜,但同样能实现高分辨率,而且简便实用,可以直接溯源米定义。试验证明,几何空间对称四光路滚转角干涉测量仪能够有效地排除其他自由度运动的干扰,利用它可以快速高效地测量各种精密直线位移运动的滚转角。使用普通的2π/360细分相位计,测量分辨率为1.1″,若使用2π/36 000的高精密细分相位计,滚转角的测量分辨率可达到0.01″。     

低速高精度轴系跟踪控制系统方案设计

根据对系统的实际要求,构建了系统,并对系统的工作流程图进行了说明,对系统中的抗干扰问题进行了分析和处理.对构成后的系统主要参数尤其是误差问题进行了分析.通过实验证明该系统达到了设计要求.试验证明了本方案机处理问题方法的正确性.     

高精度压力伺服控制系统研究

采用流量伺服阀构造压力伺服控制系统，实现了气体压力的高精度高响应伺服控制，所得结果已满足某开口装备半实物仿真要求。     

基于TMS320F2812高精度跟踪伺服控制系统设计

介绍了利用TMS320F2812高速处理器,实现了高精度的轨迹跟踪伺服控制器的设计方法,阐明了系统的硬件组成和软件实现方法,最后给出系统的控制实验结果,实验结果表明系统设计正确可行.     

高精密气动波纹管驱动伺服系统建模与仿真

为提高气动伺服系统的行程与精度,设计了一种新型的使用金属波纹管作为单极驱动机构的气动伺服系统,并建立了新型气动伺服系统的动力学模型。所建模型采用传统的PID控制,通过MATLAB软件Simulink仿真研究了控制效果,所得仿真结果能较好的跟随输入信号。根据所建模型搭建试验平台,使用LabVIEW作为上位机采集数据得到波形,所得试验结果与仿真结果基本一致,验证了仿真模型的有效性。