MEMS传感器现状及应用

MEMS传感器种类繁多,发展迅猛,应用广泛。首先,简单介绍了MEMS传感器的分类和典型应用。其次,对MEMS压力传感器、加速度计和陀螺仪三种最典型的MEMS传感器进行了详细阐述,包括类别、技术现状和性能指标、最新研究进展、产品,及应用情况。介绍MEMS压力传感器时,给出了国内外采用新型材料制作用于极端环境下压力传感器的研究情况。最后,从新材料、加工和组装技术方面对MEMS传感器的发展趋势进行了展望。     

东京电子有限公司（TEL）推出用于电容式MEMS器件的晶圆级MEMS测试仪

2008年东京电子有限公司（TEL）在日本半导体博览会上推出一款新型TEMEON系列产品——晶圆级MEMS测试仪TEMEON—C,用于电容式MEMS器件的测试。2006年,TEL推出针对压阻式MEMS传感器晶圆级测试仪TEMEON-M,目前已经开始批量生产。针对于目前更为复杂的电容式MEMS器件,TEL推出的TEMEON—C可以实现加速度计和陀螺仪等器件的晶圆级电容测量且精确度较高。     

10自由度MEMS面世 运动传感器成为大热门

正伴随着MEMS传感器融合的诞生,以iPhone和iPad为代表的消费电子产品的运动感知能力正在发生根本性改变。"智能手机与平板是驱动今年增长的关键力量,这些产品中很多已经具有3轴加速计、3轴陀螺仪、麦克风、立体声波滤波器等标准MEMS器件"。意法半导体(ST)模拟、MEMS和传感器部门应用     

MEMS陀螺仪的研究现状与进展

MEMS陀螺仪是MEMS传感器中应用最广泛的器件.当今信息智能时代的发展为MEMS陀螺仪带来新的发展机遇,使MEMS陀螺仪进入更高精度和更高可靠性的新的发展阶段.从微结构、电子学控制、工艺平台和集成应用四个方面综述了MEMS陀螺仪的最新进展.对MEMS陀螺仪分别按简并和非简并工作模式;速率陀螺仪的机械化和全角机械化;体...     

“上海先进”国内首条MEMS工艺平台实现量产

“上海先进”（ASMC／上海先进半导体制造股份有限公司）在MEMS（微机电系统）代工领域取得重大进展,在打造国内MEMS工艺生产平台的同时,首条MEMS工艺生产线已进入量产。“上海先进”MEMS生产线可以代工的器件包括：三轴陀螺仪、加速度计、生物MEMS芯片、光学MEMS、RFMEMS、微流体开关、压力传感器等,可被广泛应用于消费电子、医疗电子以及汽车电子等领域。     

陀螺仪与磁传感器推展MEMS应用

MEMS传感器是消费性电子实现创新应用不可或缺的关键元件。近几年以来,不论是从游戏机到手机,或者是从笔记本电脑到白色家电,许多的消费性电子产品都通过低重力加速度计,实现了动作控制的用户接口和强化保护系统。而现在则轮到MEMS陀螺仪(Gyroscope)和磁传感器(Magnetism Sensor)受到瞩目,将为消费性电子应用推动下一波创新应用及产业增长。     

ADI推出两款MEMS陀螺仪新品

近日,ADI推出两款MEMS陀螺仪新品。一款是战术级iSensor数字MEMS陀螺仪ADIS16136,性能可匹敌光纤陀螺仪。另一款是iSensorMEMS IMU(惯性测量单元)ADIS16488,它是最稳定最完整的集成传感器套件,在很多性能指标上优于其它同类IMU,甚至优于传统的军用级IMU。     

DI推出两款MEMS陀螺仪新品

近日,ADI推Ⅲ两款MEMS陀螺仪新牖。一款是战术级iSensorQ数字MEMS陀螺仪ADIS16136,性能可匹攻光纤陀螺仪。另一款是iSensor MEMS IMU（惯性测量单元）ADIS16488,它是最稳定最完整的集成传感器套件,在很多性能指标上优于其它同类IMU,甚至优于传统的军用级IMU．     

Windows 8传感器模块方案

意法半导体的MEMS传感器和传感器模块解决方案将与Windows 8同步批量上市。全球多家主要的OEM和ODM厂商已决定在Windows 8设备中选用意法半导体的传感器解决方案。意法半导体的传感器模块集成3轴数字陀螺仪、3轴数字加速度计、3轴数字磁强计、气压传感器和高性能的STM32微控制器,采用I2C协议;其中,     

用于先进移动装置的MEMS传感器

本文将论述MEMS传感器在先进移动应用中的作用,例如,移动扩增实境（MAR）、定位服务（LBS）和利用航位推算法确定方位的MEMS传感器与GPS接收器整合解决方案。MEMS传感器包括加速度计（ACC）、陀螺仪（GYRO）、磁力计（MAG）、压力传感器（PS）和麦克风（MIC）。因为低成本,小尺寸,低功耗,高性能,     

在人体运动测量中应用四元数扩展卡尔曼滤波

提出了一种适合多运动传感器方位测定系统的四元数扩展卡尔曼滤波,该方位测定系统适合人体运动领域的研究,它是基于iNEMO整合套件,集成了三轴陀螺仪、三轴加速度计和三轴磁强计。在该文的扩展卡尔曼滤波过程中,通过加速度计、磁力计的量测噪声进行陀螺仪角度修正,使测量角度值逐渐逼近真实角度大小,同时量测噪音的协方差矩阵设计,可以使方位测定系统辨别静止和运动,增加了可靠性。结合人体前臂屈伸运动的测试,验证了算法的有效性,加之其小尺寸、多功能、低功耗的特点,证明基于MEMS的运动传感器在人体运动测量领域的应用前景良好。     

MEMS器件及其设备

MEMS(Microelectro mechanical system)器件是一种微型机电一体化的SOC。2008年MEMS器件市场为72.97亿美元,2011年将达到108亿美元,2006～2011年年复合平均增长率为13%。2011年MEMS系统级市场将达720亿美元。MEMS器件中发展最快的器件是传感器MEMS、光MEMS和RFMEMS。MEMS器件的应用已从汽车电子转向消费类电子领域。MEMS器件用于Wii无线游戏机与iphone是2007年MEMS器件应用的最大亮点。MEMS器件的制造类同IC制造,光刻、刻蚀、CVD和CMP设备都可兼用。     

基于MEMS传感器的微飞行器姿态理论与实验研究

为了得到基于微机电系统(MEMS)运动传感器的微飞行器的姿态角的输出,该文从理论和实验角度进行了全面分析。首先基于MEMS运动传感器的加速度计与磁力计理论计算了微飞行器的初始姿态及其最大误差范围,然后基于MEMS运动传感器的陀螺仪计利用时间序列自回归滑动平均模型(ARMA)分析方法对原始角速度进行误差建模,并利用卡尔曼滤波进行误差补偿,并通过积分法到更高精确度的姿态角度的算法,最后利用转台实验对其进行验证。通过该算法,对于任何MEMS九轴传感器,由实验确定相应的参数后,即可得到该传感器更高精确度的姿态角的输出。     

MEMS惯性传感器技术的误差补偿及可靠性研究

文章基于MEMS惯性传感器中加速度计与陀螺仪的基本工作原理,采用建立误差模型的方法,对MEMS惯性待感器的系统误差和随机误差进行误差补偿方法的相关研究;根据涵盖了绝大部分针对环境失效机理的可靠性试验项目MIL-STD-883进行MEMS惯性传感器的可靠性研究,同时总结相应的可靠性试验研究方法,并对未来的发展趋势提出几点浅见。     

在先进移动设备上应用MEMS传感器

MEMS传感器包括加速度计、陀螺仪、磁力计、压力传感器和麦克风,因其具有低成本、小尺寸、低功耗、高性能等特性,近几年来被大量集成到便携设备中。     

MEMS器件及其设备

MEMS(Microelectro mechanical system)器件是一种微型机电一体化的SOC.2008年MEMS器件市场为72.97亿美元,2011年将达到108亿美元,2006-2011年年复合平均增长率为13%.2011年MEMS系统级市场将达720亿美元.MEMS器件中发展最快的器件是传感器MEMS、光MEMS和REMEMS.MEMS器件的应用已从汽车电子转向消费类电子领域.MEMS器件用于Wil无线游戏机与iphone是2007年MEMS器件应用的最大亮点.MEMS器件的制造类同IC制造,光刻、刻蚀、CVD和CMP设备都可兼用.     

军用MEMS技术研究的最新进展

本文讨论了美国陆军航空兵和导弹部队司令部（AMCOM）正在开发研究的微机电系统（MEMS）技术的最新进展。近年来，工业用低成本、低功率微型器件（从简单的温度计、压力传感器到内胎加速度计）目前技术的成熟水平已为开发研究军民两用MEMS器件奠定了坚实基础。AMCOM早期从事的MEMS技术开发着重于惯性MEMS传感器，但最近启动了一项新的陆军（联合）科学和技术目标（STO）研究项目，目的是研究开发具有中等角频率传感器分辨率且低成本的惯性组件，用于测量导弹姿态的偏航角和旋转滚动速率。这项举措极大地影响了美国国防先进研究计划署（DARPA）和其他政府部门，使其致力于研究开发坚固耐用的实验性惯性MEMS器件。在过去的2年中，AMCOM的MEMS研究范围不断地扩大，包括了用于导弹正常状况监测的环境MEMS传感器、射频MEMS器件、用于光束方向控制的光学MEMS器件以及用于光电子器件微型化的微光学“光具座”等多个项目。此外，MEMS封装和集成也成为人们关注的焦点。本文有选择地描述了这些领域中正在进行的研究项目，并给出某些军用MEMS传感器的技术要求。     

基于光纤检测技术的扭转敏感微机电系统加速度传感器

为实现微型化、抗电磁干扰、可长时间工作和可远距离传输的加速度传感器,提出了一种基于微机电系统(MEMS)非对称扭镜结构的光纤加速度计设计方案,并利用对角度变化非常敏感的双光纤准直器对扭镜的扭转角度变化进行检测。MEMS光纤加速度计由MEMS非对称扭镜结构、驱动电极和双光纤准直器等组成。分析了器件的加速度敏感原理和光纤检测原理,介绍了器件综合设计考虑,并给出了器件的结构参数。利用MEMS加工技术成功制作了MEMS光纤加速度计样品。对加速度计进行了实验测试,加速度计的输出实验值与理论值吻合。测试结果表明,该加速度计量程为±2g,带宽为600 Hz,分辨率优于10-4 g,且具有良好的线性度和重复性。该MEMS光纤加速度计将MEMS敏感结构与光纤检测相结合,兼备了两者的优点,结构紧凑、制作工艺简单。     

ADI卖出第二亿个MEMS惯性感应器 迈向新的里程碑

美国仿真器件公司(AnalogDevicesInc.,纽约证券交易所代码:ADI),已销售超过2亿个基于MEMS的惯性感应器。ADI公司能够达成此里程碑主要是因为市场广为接受其iMEMS动作信号处理技术(MotionSig-nalProcessing),以及持续不断地投资在MEMS产品研发上的缘故。ADI的MEMS产品线包括有低g值与高g值加速度计(Accelerometer)和陀螺仪(Gyroscope),种类为业界最多。iMEMS技术不仅为汽车工业采用于如多重安全气囊、防止翻覆、汽车导航、汽车警报及车辆动态控制系统等应用方案外,也很快被消费者产品产业所采纳使用。ADI公司负责微机电产品…     

MEMS传感器在汽车电子中的应用

阐述了MEMS(微机电系统)的技术与市场特征,从加速度传感器、陀螺仪和压力传感器等多个方面,分析了MEMS传感器在汽车安全与舒适驾驶中的应用。