半导体生产用氮气纯化工艺的改进

介绍了三个阶段的纯化工艺改造,即催化除氧和吸附干燥的纯化方法;从普氮分馏塔中直接抽取氮气终端纯化的方法;高纯氮塔中压直接送出。纯度99.999%N_2以上,露点-60℃以下,已能满足集成电路生产的需要。     

13X—APG分子筛低温度再生长周期运行小结

介绍13X-APG分子筛用于酸素UPN-350型高纯氮设备的空气净化,实现了低耗、高效、长周期运行。每周节电1890kWh,出口CO_2含量<1ppm, 露点-80℃,再生气进口210℃,吸附周期16h。图1表3。     

KZON-170/550型空分设备在浮法玻璃生产中的应用

以含氧小于10ppm的高纯氮气(占94~95%)与含氧小于15ppm的氢气(占5~6%)作混合气保护锡槽,防止锡被氧化。介绍了该套设备性能良好,采用无油润滑空压机、分子筛净化再生新工艺、氧氮气双高,并简介了运行管理的几条经验。表1。     

高纯HBr和NF_3

目前,可从空气产品和化学品公司买到纯度为99.995％的新等级溴化氢(HBr)和三氟化氮(NF_3),但其生产量是有限的,可供实验用。 HBr 空气产品公司是高纯HBr的唯一生产厂家。同以前得到的产品相比,兆级~(TM)HBr的水分减少近两个数量级,大气污染减少一个数量级以上,水分从1000 ppm减少到 10～300 ppm之间。杂质少、纯度高是该公司特别为生产HBr开发的专利纯化方法和新的分析技术相结合的结果。高纯HBr特别适用于蚀刻单晶硅、多晶硅和铝。用特殊处理过的超高纯气瓶可供给 4.536 kg实验量的溴化氢。 NF_3兆级~(TM)NF_3具有10 ppm以下的四氟甲烷(CF_4),是目前最高纯度的     

50米~3/时分馏塔下塔采用S型筛板塔

我站有两台50米3/时制氧机。为了生产高纯氮,1969年对第一台设备按《深冷简报》1970年第4期介绍的方法,即自下塔抽取中压气氮进行再精馏的方法进行了改装,获得数量为30米3/时的带压高纯氮。其优点是:(1)生产的高纯氮有4公斤/厘米2左右的压力,可以进行管道输送;(2)下塔在波动情况下,即液氮纯度恶化情况下,仍可生产数量达30     

上海启元研制成功同时生产压力高纯氮和高纯液氧的空分设备

<正>上海启元空分技术发展股份有限公司(以下简称:上海启元)经过改制,大大加强了技术和管理创新力度,研发了同时生产压力高纯氮和高纯液氧的空分设备。该空分设备已在上海启元投资的山东临沂启元气体有限公司投入正常运行,其主要技术指标:氮气产量2000 m3/h,压力0.45 MPa,纯度<3×10-6O2;液氧产量140 m3/h,压力     

国标 氩气及氩气检验方法(送审稿)

<正>介绍了 99．99%氩气的技术要求:氮≤70 ppm、氧≤10ppm、氢≤5ppm、总碳≤10ppm(以甲烷计)、水分≤20ppm; 并介绍了检验规则,标志、包装、运输、贮存     

用于半导体工业的高纯度氮气发生器

随着大规模集成电路的发展,相应需要供应高纯度的N_2、H_2、O_2作为载气。高纯氮设备直接由空气分离制得含氧<0.01ppm的N_2载气,通过尘埃过滤,以内壁抛光的不锈钢管道在压力下输送到用户,是80年代后期国外主要采用的供气方式,可适用于亚微米级的超大规模集成电路生产。结合近年来在国内新建的装置,小结了设计、安装、运行中的一些实践经验,也说明了用空气低温精馏的方法,确实可使N_2中含O_2<0.01ppm。     

高纯乙烷研制成功

化工部光明化工研究所为满足用户对高纯乙烷用量日益增长的需要,于1983年研制成功纯度在99.99％以上的乙烷,并通过了技术鉴定。该产品含甲烷<5ppm、乙烯<5ppm、丙烷<5ppm、丙烯<5PPm、氧和氮<70ppm、水<5ppm。装置工艺流程简单,操作方便,产品质量稳定可靠,现已批量生产,可向用户及时供应。     

150m~3/h空分设备改造制取纯氮

<正>南京金陵石化公司化工二厂有两套空分设备,第一套是杭氧生产的KZON-150/600—2型,于1980年1月安装投产,氧产量150m~3/h、纯度99.4%O_2,氮产量600m~3/h、纯度98%N_2;第二套是杭氧生产的KZON-170/550型,是配日本进口年产1万吨环氧丙烷装置用的。由于生产必须连续供应99.9%N_2以上的纯氮,需要一套备机交替使用,因此决定改造第一套空分设备。     

5.8级高纯氮产品在武钢生产

<正>为满足轻工、电子、科研等领域对高纯氮气日益增长的需求,努力提高氮气产品质量,增加产品品种,提高经济效益与社会效益,武钢氧气厂利用该厂现有设备的潜在能力与技术力量,研制了一套以99．99%N2的纯氮产品为原料(气态或液态氮),对其进行深加工的高纯氮生产装置。     

杭州杭氧低温液化设备有限公司

<正>公司主要生产中小型空分设备(20000Nm~3/h O_2及其以下)稀有气体提取设备变压吸附制氧制氮设备真空管道氧、氮气体液化设备空分项目工程总承包杭州杭氧低温液化设备有限公司是杭州杭氧股份有限公司下设子公司,在杭氧股份授权下,公司专业承接20000Nm~3/hO_2及其以下中小型空分设备的设计制造、工程成套、工程设计、安装调试、技术咨询,备配件供应等业务,是国内中、小型制氧制氮设备、液氧液氮设备、氧氮液化设备、高纯氮设备、空分装置     

100标米~3/时高纯压力氮设备

本文介绍了邯郸制氧机厂设计试制的100标米~3/时高纯压力氮设备的流程、特点、主要设计参数、操作以及运转情况。实践表明,该设备流程还是比较先进的,氮气提取率与国内外同类型产品比较也是比较高的,所制得的高纯氮含氧量可达4ppm,产量也达到设计要求。图1,表1。     

KDN-150/10Y型高纯氮设备的改造

介绍哈氧厂KDN-150/10Y型高纯制氮设备的技术改造,经过多年运行,证明技改提高了设备的性能,同时整套设备降低成本8%。图2。     

高纯氮设备的流程选择

简介制氮设备的基本流程形式,介绍高纯氮设备的各种流程形式、方案组织及特点,阐述最新开发的高纯氮设备的节能流程形式、部机的配置和选择。     

黄河空分为有机硅项目配套的首套高纯氮设备开车成功

<正>开封黄河空分集团有限公司(以下简称:黄河空分)应用具有四项发明专利的第二代节能型制氮流程研发的高纯氮设备,因其节能效果显著而享誉国内市场。2011年,蓝星江西星火有机硅厂20万t/a有机硅建设项目开工建设,批量订购黄河空分3套KDN-6000/500Y型高纯氮设     

杭州杭氧低温液化设备有限公司

<正>杭州杭氧低温液化设备有限公司是杭州杭氧股份有限公司下设子公司,在杭氧股份授权下,公司专业承接20000Nm~3/hO_2及其以下中小型空分设备的设计制造、工程成套、工程设计、安装调试、技术咨询,备配件供应等业务,是国内中、小型制氧制氮设备、液氧液氮设备、氧氮液化设备、高纯氮设备、空分装置附属稀有气体提取设备、真空管道以及变压吸附制氧制氮设备等主要的设计研究制造基地;同时也是杭氧整装出厂和集装箱(撬装)式中型空分设备的专业制造企业,中型整装式空分领域的设计制造能力已达到国内领先水平。     

开利空分凭借高纯氮新技术签约4000空分设备合同

<正>开利空分工程技术人员近年来在高纯氮技术方面积极探索和研发并取得了很大成就,其所研发的污氮气返流膨胀大范围变负荷制备高纯氮设备的新工艺,获开封市科技发展计划项目资金支持,同时获得国家知识产权局颁发的实用新型专利证书。4月14日消息,河南开利空分设备集团有限公司于近日承揽一套伯恩光学(惠州)有限公司的KDN-4000/120Y型成套空分设备。根据用户要求,开利空分将应用先进的高纯氮新技     

KDN-150/1OY型高纯制氮设备的研制

介绍哈氧厂新研制的高纯制氮设备的参数、流程、特点及低耗的分析。采用返流气膨胀循环、L型无润滑空压机、气体轴承透平膨胀机、氮气带压(7kgf/cm2)输送。技术指标:气氮工况为150Nm3/h及液氮~10l/h; 液氮工况为~30l/h,纯度均5ppmO2;塔回流比0．665,膨胀机进气压力3．5kgf/cm2。一年多来运行稳定,性能良好。图1。     

深冷文献消息(国外部分)

<正>985001 提取纯氩的流程和装置美国专利 № 5592833(英)985002 在压力下生产气氧的流程和设备美国专利№ 5596885(英)985003 生产气氧和高纯氮的低温精馏系统