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在计量技术中,用白光“零”级干涉条纹作端面长度精密定位或精密水银气压计液面定位,是精确度较高的一种方法。但是寻找“零”级干涉条纹却是极其精细面又困难的工作。本文叙述一种用激光源寻找静态“零”级干涉条纹的新方法。 相似文献
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干涉仪是灵敏度和准确度都很高的一种仪器。因此,在精密测量中,特别是高精度的自动化测量中(例如测量量块),人们自然就想到用白光干涉条纹来作为定位信号。用一光电元件接收白光干涉条纹信号,通过电路处理,取出零次干涉条纹的顶点即可作为定位信号。要准确地、不加鉴别地取出各次干涉条纹的顶点是容易的,但是要从达一组顶点信号中鉴别出哪一个顶点信号对应零次干涉条纹,这却是十分困难的事情。我们为此作了许多工作, 相似文献
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本讲叙述应用于计量测试中的几种振幅分光干涉光路及特点,如测量U形水银气压计液面高度差光路,测量大长度的光学倍乘光路等. 相似文献
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本讲叙述应用于计量测试中的几种振幅分光干涉光路及特点,如:测量U形水银气压计液面高度差光路,测量大长度的光学倍乘光路等。 相似文献
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一、引言精密计量技术中有不少测试手段利用白光源的双光束干涉仪,它是利用两束相干光在等光程条件下产生“零次”无色条纹的物理特性,作为测长定位手段。例如应用在量块比长的乌氏干涉仪;精密 相似文献
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提出了一种新的半导体激光定位技术。它利用多模半导体激光干涉条纹强度分布和双波长细分技术,用两个半导体激光器完成了零点的高精度动态定位。本文方法突破了传统白光定位的局限,简化了干涉仪的设计,实现了大范围的零点捕捉。定位精度达到0.01μm。 相似文献
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《计量技术》1985年第2期发表的“6J型干涉显微镜干涉条纹的寻找及对比度的调整”一文(以下简称“寻找与调整”),介绍了单色光干涉条纹的寻找及调整方法。本文就白光干涉条纹的寻找和调整,再做如下介绍。一、干涉现场中产生二条黑色干涉条纹(即零级条纹) 的条件。如图所示,对单色光干涉,我们认为只要a_2=a_3、b_1=b_2,即总光程差为零,就能产生干涉条纹。而对于白光干涉,不但要满足总程差等于零,而且还必须满足: 相似文献
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气体压强的精密测量,目前仍普遍采用“U”型管水银气压计。许多国家的研究人员根据测量对象的需要,设计出多种精密测量水银面高度差的光路,本文阐述一种不同的光干涉光路。一、测量原理及光路这种光路的测量原理是通过光波干涉方法,把“U”型管里的水银面高度差转移到水银管外进行测量,用图1所示双光束等光程光路易于表示。图中满足等光程条件,因而下式成立: 相似文献
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本文阐述两种气体折射率的测试光路。它们是用白光干涉“O”级条纹定位,激光干涉条纹计数原理作光程差补偿测试。便于自动测量。 相似文献
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JLG激光干涉仪课题组 《计量学报》1980,(4)
JLG型激光干涉仪是自动测量高精度量块的新型干涉仪,它采用了稳频激光、电子数显、白光干涉自动定位、空心立体棱镜和自动控制等先进技术。实验表明,它的极限误差达到△_(Iim)=±(0.03+0.2L)微米,L是被检量块的长度,单位为米。 相似文献
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将Carré等步长相移法与白光垂直扫描相结合形成了一种白光等步长相移算法,该方法快速、准确、非接触,垂直分辨力可达亚纳米级.测量系统集成了Mirau显微干涉物镜,并通过高精度压电陶瓷纳米定位器带动物镜进行垂直扫描.分析了Carré法应用于白光干涉信号的相位提取的精度,对不同扫描步距以及不同信噪比情况下的测量进行了计算机仿真,确定了测量参数.结合重心法将相位计算的数据范围直接定位于干涉信号的零级条纹,从而省去了相位解包裹过程.通过对微谐振器和标准台阶的测量说明了该方法的有效性,并使用白光相移干涉、白光垂直扫描和单色光相移干涉对44 nm标准台阶进行了测量,并对测量结果进行了比较. 相似文献
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利用白光作为光源的干涉仪(WLI)克服了单色相干光干涉相位不确定,不能够进行绝对测量的缺点,本文设计了一种串连差分白光干涉(DMLI)测量极薄金属带材厚度的新系统.该系统的特点是由两个迈克尔逊干涉仪(MI)串联组成差分干涉系统,两个干涉仪的测量反射面由薄带的两个对应表面承担,干涉系统的最后输出信号只与薄带的厚度有关,而与薄带在测量光路中的位置无关.理论分析及实验结果表明,该系统既有干涉测量的高精度,高灵敏度,又具有较强的抗干扰能力. 相似文献
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现代计量技术的发展,对气压测量精度的要求愈来愈高,并且要求能快速地自动显示气压的数值及其变化。例如在建立热力学温标的气体温度计实验中,要求测量气体压力精确到几个微米汞柱;在低、中真空的测量中,要求气压计能分辨几个毫帕的压差。目前精密测量气压的原理,还是基于十七世纪初托里拆利所发明的用水银柱高度来表征大气压力的方法。随着科学技术的发展,测量U形管水银柱高度的方法愈来愈新颖,愈来愈精确。常见的有测高仪法、白光干涉法、电容定位法、激光跟踪法等。近年来超声技术也被用于测量气压,超声方法比起以上几种方法来,它的优点是:结构简单,使用方便,对防震的要求不高,因而是值得推广的一种方法。在超声方法中,又因其测距原理不同而分为脉冲回波法和脉冲干涉法。 相似文献
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本文提出了一种半导体激光定位技术,它利用半导体激光器的线性调频特性来实现干涉零点的动态定位,突破了传统白光定位的局限,简化了干涉仪设计,并实现了大范围内的零点捕,是一种实用的干涉定位技术。, 相似文献
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本文试图根据劈尖干涉原理给出五种符合GB1958—80的等厚干涉条纹判读方法。应该说明的是,图中干涉花样边缘只给出半条黑色或白色条纹,其序号为条纹级别。1.条纹呈平直状、间距相等并只有一条“零级条纹”且“零级条纹”位于干涉花样极端位置,如图1。或者干涉花样呈一片均匀色,则判读零条。即被测表面为理想表面。 相似文献