激光调值技术

本文针对薄膜混合集成电路生产中的激光调阻，从切割电阻的方式和激光参数的设计等方面，介绍如何提高其工艺水平。     

厚膜混合集成电路的激光修调技术

本文从厚膜混合集成电路用激光调阻系统、切割图形、调阻工艺参数等方面介绍激光调阻技术的现状及发展。     

模压混合集成电路封装技术

AT&T公司在开关、信号传输产品中大量使用了混合集成电路,以提高集成度和可靠性,简化大系统的组装和测试。AT&T公司的新系统产品将采用一些I/O接头比现行设计多得多的混合集成电路,这些电路主要采用表面组装形式封装。我们正在为这些新的混合IC应用开发符合JEDEC标准的塑封系列产品。我们提供的混合IC在封装的外形和性能上都与分立IC相同,希望我们的用户能得到较大的好处。由于可用一些标准CAD库来确定部件布位、布线、焊接点尺寸和封装的电气特性,因此、系统设计可得到简化。由于可用工业标准设备进行电气测试、元件安放、回流焊、清洗和检查,因此可提高工艺性。总之,整个系统的可靠性得到了提高,因为在制造电路板时使用了标准元件、设备和优化工艺。AT&T公司还研究了68和124引线、1.27mm间距和132引线、635um间距的四方形封装的机械可靠性。结果表明,这三种封装都能承受几百次-40℃～+130℃的温度循环试验,而机械性能没有下降。目前正在做进一步的工作,就这些封装在厚薄膜金属化、厚薄膜、电阻、CBIC和CMOS丝焊IC、芯片电容和电阻、厚膜穿接、多层聚合物介质等方面进行全面考核。     

混合集成电路技术拓展用途适应需求增长

随着电子设备用零部件标准的制定,混合集成电路的使用范围一直在快速拓展。此类高性能高封装密度组件日益改进革新,需求日益扩大。 混合集成电路(HIC),作为电子设备小型轻量化的途径,紧随电子设备的进展步伐,日益完善。HIC从其发展的早期阶段就已显示了多方面的特点,诸如不要求变更印制电路板,比LSI芯片开发周期短,以及焊点较少,可靠性好等     

现代混合集成电路

本文扼要论述了微电子电路和现代混合集成电路。     

高速高精度D／A转换电路的激光动态修调

本文介绍了激光修调原理、动态修调实现的方法，并以修调ＳＤＡ１２１０（１２位Ｄ／Ａ转换电路）为例，说明Ｄ／Ａ转换电路动态修调程序设计的方法、技巧以及应注意的问题。     

激光调阻预置式变速光刻控制

全自动激光调阻机是各种薄、厚膜片式电阻的工业化专用生产设备,提高调阻性能是提升设备生产力,降低生产成本,节能增效的主要途径.因此,在原系统基础上对激光调阻中光束定向控制系统进行改进设计,以先验知识为基础,构造预置、简单变速、实时变速等光刻控制模型,得到预置式变速光刻控制方法.它能根据不同的精度、速度要求和片阻初值偏差进行优化决策,实现在激光粗调电阻时,采用快速光刻;在激光精调电阻时,采用慢速光刻.这样不仅动态改变了片阻的光刻阻值变化率,提高了调阻精度,而且缩短了粗调光刻时间,提高了调阻速度,从整体上提高了激光调阻性能.     

不用激光修调的高速12位D／A转换器

传统的集成12位D/A转换器要求用精密的薄膜电阻网络和电阻的激光修调技术。本文介绍的分段设计技术只需要采用常规的高速双极数字IC工艺,采用扩散电阻方法,不需要微调技术,就能保证其D/A的单调性。它比用激光修调的R—2R薄膜电阻网络结构的12位D/A转换器具有更均匀的台阶尺寸,其电阻的精度要求也比后者放宽了8倍;由于内部采用了ECL电路的结构形式,工作速度快,其建立时间在80～100ns。     

混合集成电路有限元热分析技术的研究（上）──方法与模型

讨论了混合集成电路热分析的方法，提出用微机进行有限元热分析的实用方法，即模型／子模型方法。并构造了相应的热模型，在此基础上开发了微机有限元ＨＩＣ热分析专用软件，给出了用于ＨＩＣ热分析的各种模型，如半导体集成电路及晶体管模型、膜电阻模型等。     

Application of Various Lasers to Laser Trimming Resistance System

Though the laser trimming resistance has been an old laser machining industry for over 30 years, the development of technology brings new alternative lasers which can be used for the traditional machining. The paper describes application of various lasers to laser trimming resistance system including early traditional krypton arc lamp pumped Nd：YAG to laser, modern popular diode pumped solid state laser and the present advanced harmonic diode pumped solid state laser. Using the new alternative lasers in the laser trimming resistance system can dramatically improve the yields and equipment performance.     

激光调阻工艺参数对调阻精度的影响分析

激光调阻的工艺参数主要包括光斑重叠率、激光功率、调Q频率和调阻速度 ,它们选择的合适与否直接影响激光调阻精度 ,如何确定激光调阻工艺参数是激光调阻控制中的重要问题。文中从理论分析和实验数据分析两个方面研究了激光调阻工艺参数对激光调阻精度的影响 ,并给出了激光调阻工艺参数之间的函数关系式和实际应用 ,为激光调阻工艺参数的选择提供了必要依据。     

基于厚膜混合集成电路的激光调阻工艺研究

激光调阻具有高精度、高效率等特点,是目前厚膜混合集成电路最为常用的电阻修调方法。为了实现厚膜混合集成电路中精度电阻的制作,文章对激光调阻工艺进行了系统研究,内容包括探针卡焊接组装、调阻程序编制以及工艺试验研究。通过进行试验验证,选用L型调阻路径,调阻精度已达到±0.5%,满足设计要求。     

Si基微组装技术——薄膜混合IC的一个重要分支

本文描述了Si基微组装技术的目前状况、基本特点和一般制作工艺以及应用概况。阐明了该技术在微电子行业中的重要地位。     

激光微调在光通讯波导器件研制中的应用

目前激光微调在光通讯波导器件的研制方面已得到了应用。本文运用激光微调在波导器件上进行了实验,其中以波导环形器和马赫—曾德尔干涉仪为例,具体讨论了激光微调技术在控制波导双折射方面所表现出的高效,简易,实用等优点。     

TureType字库在激光调阻机中的应用

为了获得一种用于自动激光调阻机中的激光打标系统,选用VB程序设计语言并采用API函数从TureType字库中提取字符信息,将字符信息保存为激光调阻机可读取的文件,以激光划线和激光扫描打点的方式打印空心字和实心字,并将激光打印程序指令化。结果表明使用API函数可以方便地提取字符信息和进行各种字符格式的变换,该系统已经运用到自动激光调阻机中。