高真空直排大气干泵的最新进展

为了降低半导体设备中的真空系统的成本、实现高真空获得设备的清洁化、简单化和微型化,人们一直在寻求能达到高真空并且直排大气的干式真空泵。近几年,国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程的高真空直排大气干泵,并实现了商业化,已经应用于实际生产中。本文以其中具有代表性的英国BOC Edwards公司的EPX干泵和德国Pfeiffer Vacuum公司的OnTool干泵为例,简单介绍了其原理、结构、性能,为国内从事真空应用和干泵研发人员提供参考。     

应用于同步辐射光源的涡旋干泵综合性能测试平台设计

涡旋干泵是世界范围内同步辐射光源应用较多的真空获得设备,为满足同步辐射光源真空系统清洁、稳定和排气量大的需求,对涡旋干泵极限压力、抽气速率和清洁度三个性能有很高的要求。设计了一套涡旋干泵性能测试的综合平台并通过实际干泵测试来检验平台的设计。测试结果表明,综合性能平台能有效得测试上述涡旋干泵性能指标,为应用于同步辐射光源的涡旋干泵选泵工作提供测试手段和平台。     

浮动式涡旋干泵的结构设计与特点

涡旋干泵以其特有的性能优势,一直是真空清洁获得设备行业备受期待的产品。传统涡旋干泵,因其密封技术及加工精度上所存在的弱点而使其在许多应用中无法发挥无油涡旋压缩技术的性能优势,因而限制其大量的应用。浮动式无油涡旋干泵,通过精细的力平衡,充分发挥无油涡旋压缩技术的性能优势,从而使其成为清洁真空获得设备领域最受期待的新产品。本文从涡旋真空泵的基本工作原理、传统涡旋干泵所存在的密封及加工精度问题进行剖析,进而引出浮动式涡旋干泵结构的特点及性能优势,最后通过实验数据对比,阐明微型浮动涡旋干泵的压倒性性能优势,并对今后的市场发展进行了展望。     

干泵——21世纪照耀真空工业的新星

干泵——２１世纪照耀真空工业的新星一、干式真空泵的定义近年来在涉及真空技术的各种书刊文献中越来越频繁出现“干泵”、“干式真空泵”、“无油真空泵”等名词，然而何谓“干泵”？目前尚无确切定义，从广义上讲，凡在真空泵的抽气流道内无任何液态工作介质或密封介质...     

多级罗茨干泵泵内传热与变形的计算和实验研究

间隙设计是多级罗茨干泵设计的重要参数之一。在多级罗茨干泵运转时,间隙受转子和泵腔热变形的影响较大。本文通过分析了多级罗茨干泵内部的传热过程,建立了工作过程的传热模型。通过接触式和非接触式测温方法,对多点温度进行了测量,获得了热载荷的边界条件。基于ANSYS软件,对泵体及转子轴在稳定运转时的温度场进行了分析,并采用热-结构耦合分析对其热变形进行了计算,得到转子轴和泵腔的热变形量,并绘制了变形云图和曲线。通过上述方法得到的热变形数据,为确定间隙提供了参考,并为进一步计算干泵在运行时的间隙泄漏量提供了计算依据。     

高真空干泵螺旋级抽气性能的数值计算模型

微型化和一体化是干式真空泵发展的重要趋势,高真空干泵是具有代表性的一种新型干泵。本文对高真空干泵的重要部件之一的单螺旋转子进行了数值研究,通过对几何模型重要参数的分析,结合了直接模拟蒙特卡罗的程序思想,对单螺旋转子工作过程进行仿真。模拟得到了单螺旋转子几何参数对抽气效率的影响机制,得到影响高真空干泵性能的参数调节机制,为高真空干泵的设计提供了理论依据和指导。     

对工业用干泵上方残余气体成分进行对比的比较法的研究

质谱测定法已经表明，在工业用干泵的入口或气镇口的极小气流能足以完全抑制干上方残余气体的氟化烃油污染。相反，在没有气体流动时，氟化烃油浓度的测量能为泵的清洁性能提供有用的对比显示。目前还没有一个通用标准在干泵上方残余气体的污染程度方面对泵性能下定义。因此，现已从事了一系列的研究来确定合适的技术以便始终如一地面再污染和蔼的测量，并以此给出泵性能的精显示。这种测量是重要的。因为在残余气体中所测量到氟化烃     

耐特种气体腐蚀涡旋干泵的研制

采用化学镀、氟涂料和真空离子镀(PVD)技术对涡旋干泵实施防护涂层,对转子和定子采用化学镀镍磷和氟涂料封闭技术制备防护涂层;对曲柄轴和曲柄销采用PVD技术制备Cr/CrN多层复合防护镀层。通过腐蚀试验表明,防护涂层可以长时间抵抗高腐蚀性气体的腐蚀,能够有效地提高涡旋干泵的使用寿命。     

第四代CXS干式螺杆真空泵

EdWardS公司在1986年首次推出“干”泵技术．变革了真空产生及应用于工业生产的方式，20多年来，EdwardS的干泵技术经过了成功的发展过程，已经有超过20万台干泵应用于世界各地，如今．EdwardS公司为全球包括15家最大的化工和制药用户提供干泵设备。     

无油分子泵机组的组装

介绍了将ALCATEL公司生产的一台ATPl00涡轮分子泵、一台MDP50ll牵引分子泵及一台VRC公司生产的lBy6型干泵组装成无油分子泵机组的过程。文中给出了泵间配合的计算、机组方案的设计、连接管路、仪器支架的设计及选择。本机组所采取的设计方案使三个泵都最大限度地发挥了优点避免了缺陷，较好地满足了使用要求，为今后选购单泵和组装无油分子泵机组提供了可靠的理论和实验依据。     

JHP系列高压齿轮油泵结构设计研究

高压齿轮油泵作为典型的液压动力元件，广泛应用于工程机械液压系统。高压齿轮油泵设计工作的重点是结构设计，本文提出了一种新型非对称结构齿轮泵——JHP系列高压齿轮油泵。在此基础上对齿轮油泵各部分结构进行了研究和设计。     

能够干运行的流程泵——带有干运行电磁离合机构的流程泵

对于特殊介质的输送就要使用特殊的专用泵。Bungartz公司流程泵设计者设计出了一种新型卧式流程泵：MPCHDrvPum。其特点是在无润滑的情况下仍然能够正常运行。     

Edwards公司第4代CXS干式螺杆真空泵

Edwards公司在1986年首次推出“干”泵技术，变革了真空产生及应用于工业生产的方式．Edwards干泵技术经过长期     

水环泵气量测定方法研究及工程应用

本文研究了水环泵对于干空气和饱和空气气量测定方法,探讨水环泵工作过程中对性能影响的温度、湿度等因素,并给出理论计算方法。介绍了湿空气实验室和饱和空气发生器工作原理,提出了特定条件下水环泵对干空气和饱和空气抽除能力的计算方法。通过水环泵性能测试实践与理论数据比较,分析了工程实践中水环泵应用常见的工况对工作效能的影响。水环泵系统可以通过改变抽除气体温度、液环温度等边界条件和增加喷淋措施,增加水环泵对饱和气体"凝化"产生的附加抽气量,提升水环泵工程适应性。     

微型复合溅射离子泵的设计研究

本文介绍了一种非蒸散型吸气剂（NEG）与微型溅射离子泵（SIP）集成构成的微型复合溅射离子泵。测试结果表明，当吸气剂激活后，复合泵的抽速达到0．45L／8，比未加吸气剂的同型溅射离子泵抽速提高了28％。该复合泵使真空器件的真空维持效果良好，可广泛应用于中小型的密闭真空器件中。     

《水环泵》

水环泵(水环式真空泵和压缩机)愈来愈广泛地应用于国民经济各个部门,但是国内外对它的研究工作进行得十分不够,有关的资料寥寥无几,因此,水环泵的设计、生产和使用部门在工作中深感资料缺乏之苦。《水环泵》一书的出版,正好满足了目前的急需。该书共分十章,系统地介绍了水环泵的工作原理、类型、结构、基本理论、应用、选择、性能试验、安装、维护和故障处理等。     

如何保持流程泵的健康？

化工企业中很大比例的流程泵失效原因是由于NPSH气蚀余量的问题,被输送介质中混入了空气、失油后的干摩擦或者流程泵的驱动装置在允许的工作范围以外工作。错误的使用和设计是流程泵损坏的主要原因,占所有损坏流程泵比例的90％～95％。而人们往往只能在流程泵出了问题之后才知道泵有问题了。为了能够预知风险,本刊记者就流程泵损坏前的迹象检验问题进行了专题采访。     

气泡泵在制冷技术中的应用研究进展

本文回顾了气泡泵研究的相关文献,简要的介绍了气泡泵工作原理,并对应用于扩散-吸收式制冷技术、Einstein循环制冷技术、吸收式制冷技术和太阳能制冷技术的气泡泵研究进展进行总结。提出气泡泵的重要影响参数有结构形式、运行参数和工质三种,并指出气泡泵的基本理论、运行特性和性能提升方法需要更完善和深入的研究。     

杭氧工装泵阀公司成功研制出离心式低温槽车泵

近日，杭氧工装泵阀股份有限公司成功研制出离心式低温槽车泵，并获一次性试车成功。2006年9月15日，由杭氧工装泵阀有限公司设计制造的机械密封型离心式低温槽车泵在厂内进行低温性能型式试验，经过近6h的连续运行考核，各项技术指标均达到了设计要求。该泵主要应用于贮槽液体输送、槽车卸载和罐车卸载等场合。     

英格索兰（中国）投资有限公司 电动软管泵

英格索兰ARO，作为国内知名的气动隔膜泵和柱塞泵品牌．该公司推出其首款电动泵产品——电动软管泵。ARO进入中国市场后长期致力干为中国工业客户提供可靠、高效而高性价比的泵送解决方案。作为国内首个提出“全寿命周期成本”理念的泵专家，英格索兰ARO始终关注客户未满足的需求．