LaNiO_3薄膜材料氧敏性能的研究

采用硝酸盐为原料、柠檬酸为螯合剂的无机盐溶胶 -凝胶 (ISG)法合成LaNiO3系稀土复合氧化物陶瓷薄膜 ,并且对LaNiO3薄膜在高温还原气氛下的结构稳定性及氧敏机理进行了探讨 .为了进一步提高薄膜的氧敏性能 ,对LaNiO3薄膜进行了贵金属Pt掺杂和Ce掺杂改性 ,制备的Pt/Ce/LaNiO3掺杂改性薄膜在较宽的温度范围内 (3 0 0～ 80 0℃ ) ,对氢气和氧气都具有较好的响应速度 ,并且对气氛循环变化的响应具有重复性和一定的抗老化能力     

Ba(Zr0.3Ti0.7)O3薄膜的结构及性能

用溶胶-凝胶法分别在Pt/Ti/SiO2/Si和LaNiO3/Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了锆钛酸钡[Ba(Zr0.3Ti0.7)O3,BZT]薄膜.相结构及介电性能研究表明:衬底和薄膜厚度对BZT薄膜性能具有显著影响.制备在LaNiO3/Pt/Ti/SiO2/Si衬底上的BZT薄膜具有(100)面的择优取向,其介电常数及介电损耗则随着薄膜厚度的增加而降低.对制备在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上的BZT薄膜,在薄膜厚度低于500nm时,其介电常数随薄膜厚度增加而增加,大于500nm时又有所减小.     

钙钛矿型薄膜材料氧敏性能的研究

以硝酸盐为原料 ,柠檬酸为络合剂 ,采用无机盐溶胶—凝胶法 (ISG)合成了钙钛矿型稀土复合氧化物LaBO3 (B为Ni、Fe、Cr)陶瓷薄膜 ,并研究了它们的氧敏性能。电阻—温度曲线表明 ,LaFeO3 和LaCrO3 陶瓷薄膜为半导体特性 ,而LaNiO3 陶瓷薄膜具有类金属特性 ,并且LaBO3 薄膜材料的氧敏性能主要由B位离子的d电子特性所决定 ,即B位离子越活泼 ,则其氧敏性能越好     

LaNiO3缓冲层厚度对Ca0.4Sr0.6Bi4Ti4O15薄膜结构和电性能的影响

利用溶胶–凝胶法在Si（100）衬底上制备了具有（110）取向的LaNiO3薄膜,然后在LaNiO3/Si（100）上制备了Ca0.4Sr0.6Bi4Ti4O15（Ca0.4Sr0.6BTi）薄膜。研究了LaNiO3缓冲层厚度对Ca0.4Sr0.6BTi薄膜结构和电性能的影响。结果表明,当引入LaNiO3厚度为250 ...     

掺杂Mg2+对钛酸锶薄膜氧敏性能及电阻温度系数的影响

利用溶胶-凝胶的方法制备钛酸锶氧敏薄膜，该薄膜是制造电阻型氧敏传感器的一种潜在材料。在钛酸锶中掺杂不同含量的镁离子，形成SrTil-xMgxO3薄膜，其中Mg的含量，即x值分别为0，0．05，0．10，0．15，0．20，0．25，0．30。镁在钛酸锶中取代钛位，形成受主掺杂。测试不同氧分压(0～10^5Pa)、温度(600～800℃)下薄膜的电阻。发现掺镁的钛酸锶在氧化气氛下是p型半导体。并且当x值（镁的含晨）在0．10～0．15之间、较低氧分压下，薄膜的电阻温度系数接近零。此外，还从缺陷化学反应角度讨论了此现象出现的原因。     

WO3薄膜材料的气敏性能

研究了WO3薄膜材料的制备工艺、气敏性能和贵金属表面改性。以钨酸为原料、加入有机络合剂的无机盐溶胶-凝胶(inorganic solgel method,ISG)法合成了WO3薄膜。确定了最佳ISG工艺制度,即以柠檬酸为络合剂,10次成膜,预处理温度为600℃,烧成温度为650℃。实验结果表明：WO3是一种n型半导体,其最佳工作温度为550℃。通过掺杂贵金属制备了Pt/WO3薄膜材料,有效地改善了薄膜的气敏性能,可以在600℃下获得高达4100的灵敏度。WO3的气敏机理为表面控制型。     

掺铝钛酸锶薄膜及其与CrOx复合膜的制备及氧敏性能的研究

以ＴｉＣｌ４,ＳｒＣｌ２．６Ｈ２Ｏ为主要原料,采用溶胶－凝胶法制备出掺Ａｌ＾３＋的钛酸锶薄膜,分析了薄膜的表面形貌和晶相组成,并比较了铝含量不同的ＳｒＴｉ１－ｘＡｌｘＯ３－δ薄膜的氧敏性能,实验结果表明：掺摩尔分类为０．０１的铝的钛酸锶薄膜表现出较高的氧敏性,但是,铝的掺入并没有消除钛酸锶薄膜的半导体特在中性气氛附近从ｎ型向ｐ型转变。在此基础上,又合了了ＳｒＴｉ０．９９Ａｌ０．０１Ｏ３－δ－ＣｒＯ     

TiOx薄膜电阻稳定性及氧敏特性的研究

分别采用无机盐的水解－沉淀法和醇盐的溶胶－凝胶法两种工艺在Ａｌ２Ｏ３基片上制备ＴｉＯｘ（ｘ＝１－２．０）薄膜,研究了薄膜结构及氧敏特性。结果表明：水解－沉淀法的膜层粒子分布均匀,工艺易控制;溶胶－－凝胶法的膜层粒子更细微,相变温度较低,两种工艺制得的超微粒薄膜都具有很好的电阻－温度稳定性。膜层粒子愈起细化,分布愈均匀,氧敏特性愈高;薄膜厚度与气体检测灵敏度有密切关系,具有最佳膜层厚度值,两种工艺获     

LaNiO_3薄膜的制备及其氧敏特性的研究

本文以Ｌａ（ＮＯ_３）_３·６Ｈ_２Ｏ和Ｎｉ（ＮＯ_３）_２·６Ｈ_２Ｏ为配位前驱体,采用柠檬酸为螯合剂,利用溶胶－凝胶法合成了钙钛矿型稀土复合氧化物ＬａＮｉＯ_３薄膜,研究了薄膜的氧敏特性及烧结温度对薄膜氧敏特性的影响。     

Ce掺杂TiO2薄膜结构与光电流研究

采用溶胶凝胶-浸渍提拉法在ITO玻璃上制备了纯TiO2、Ce掺杂TiO2薄膜以及纯TiO2、Ce掺杂TiO2粉体.利用XRD、SEM、EDS、XPS等对样品进行晶体结构、表面形貌、化学成分等表征,利用电化学工作站测试了薄膜电极光电流.结果表明:纯TiO2与Ce掺杂TiO2结构均为锐钛矿结构,薄膜掺杂后晶粒粒径减小,掺杂的Ce元素以Ce3+、Ce4共存形式存在,有效地促进了电子-空穴分离,提高了TiO2薄膜电极光电流.