单片晶圆气液混合流清洗技术研究

研究了气液混合流清洗方法对单片晶圆表面颗粒的去除效果,引入无量纲参数移径比（H/D）讨论其对单片晶圆表面颗粒去除效率的影响。此外,还讨论了冲洗时间、冲洗压力对颗粒去除效率的影响。结果表明:晶圆表面颗粒去除效率随着冲洗时间、冲洗压力的增大而提高。移径比为1时晶圆表面颗粒去除效率最高;当移径比小于1时,晶圆表面颗粒去除效率随移径比增大而提高;当移径比大于1时,晶圆表面开始出现未被冲洗的区域,颗粒去除效率随移径比增大而迅速降低。采用气液混合流清洗技术,可以实现颗粒直径为0.2~0.3 μm范围的颗粒去除效率达99%以上,颗粒直径为0.1~0.5 μm范围的颗粒去除效率达96%以上。     

基于物质吸光度的气液两相流相含率测量模型

为了建立近红外信号特性与气液两相流不同流型相含率的关系,本文基于朗伯-比尔定律及物质的吸光度,对近红外接收信号与气液两相流相含率的关系进行了探究.将八通道近红外检测装置安装在河北大学多相流实验系统,并针对泡状流、环状流、弹状流三种流型下共87组工况点进行了多组实验,针对不同流型建立了相应的相含率测量模型,其中泡状流模型...     

气液两相流中气泡形态及运动特征参数提取

对气泡发生装置中竖直向上气泡的形态及运动特征提取方法进行了研究。采集原始气泡图像,进行图像灰度化、差影和中值滤波等图像预处理,针对气泡图像的特点,提出动态阈值压缩大津法进行阈值分割,并结合扫描线种子填充算法与图像形态学运算进行孔洞填充,同时基于边缘面积属性对气泡特征区域进行自动识别。实验结果表明,该方法简单有效,鲁棒性强,可以很好地将目标气泡从背景中分离出来,有效提取气泡周长、面积、圆形度和质心坐标等形态特征参数,并实现气泡运动速度的测量。     

气液两相流压差波动信号小波去噪中阈值规则的确定

利用小波分解、滤波、重构对压差波动信号进行去噪处理,消除实验中由于各种因素产生的噪声,得到了较为满意的压差波动实验数据,该方法与其他处理方法相比,得到的处理信号不失真且去噪效果明显。比较发现小波去噪的结果与阈值选取相关,通过分析确定合适的阈值选取规则,使得处理后的信号能满足以后分析的需要。研究表明选择的阈值可广泛应用于不同流型和不同取压间距的压差波动信号。     

气液两相流三维测量中虚拟立体视觉传感器的优化设计与实验

针对高速动态的气液两相流动对象,基于双目体视原理,采用单台高速摄像机和反射镜组,对虚拟立体视觉传感器进行了优化设计;对气泡发生装置中竖直向上的气泡特征参数进行三维测量。建立虚拟立体视觉传感器三维测量模型,综合考虑实际视场、传感器结构和测量误差等因素,通过结构参数对3方面性能影响的仿真分析,最终确定传感器的结构参数。实验结果表明,传感器测量空间距离误差优于0.14 mm,相对误差优于0.49%,适于气液两相流动态测量,可以实现气泡运动的三维重建。     

气液两相流中改进图像互相关测速的完整实现

针对气液两相流中密集气(液)相速度场准确测量的需要,提出了改进图像互相关测速的完整实现方法。基于傅里叶变换的图像互相关测速原理,采用回归迭代互相关算法以提高测量精度,基于相邻速度属性对误矢量进行修正,并采用亚像素拟合方法准确定位,通过对不同拟合算法进行比较,验证了3点高斯拟合算法的优越性。实验结果表明,本文提出的测量方案可以有效提高图像互相关测速的精度。     

声发射信号分析与气-固两相流粒径测量

气-固两相流相关参数的实时检测对过程控制和高效运行具有重要的意义。针对现有气-固两相流参数检测法的缺陷,依据经典声发射理论,设计一套空气-玻璃微珠的声发射信号检测装置,进行试验并评价。选用不同粒径的玻璃微珠在撞击速度分别为1.98m/s、2.80m/s、3.40m/s和4.00m/s下,获取气-固两相流的速度、粒径的声发射信号,并采用功率谱估计对其进行分析。试验发现,功率谱估计的幅值、面积与固相颗粒的撞击速度、粒径呈良好的线性关系,通过验证试验,粒径检测的相对误差小于8.5%。因此,声发射结合功率谱估计的方法测量固相颗粒粒径是可行的。     

应用光纤传感技术校正两相流体流量测量误差

本文提出了应用光纤传感技术对两相流体流测量误差进行补偿的新方法。传感机理为两相流体折射率对弯曲光纤的传输光功率的调制原理。在分析光纤弯曲波导传输光能损耗与弯曲半径、外界折射率等因素关系的基础上,提出Ｕ型结构的光纤传感器系统,并将其应用于两相流体流量测量的误差矫正中,进行了初步研究和探讨。     

雾化施液CMP工艺优化

通过改进抛光雾液供液系统,结合超声波雾化技术对原雾化施液CMP实验系统进行优化,并进行了工艺实验。通过单因素试验研究雾化参数对抛光结果的影响,利用正交试验得到最优工艺参数组合,并在相同条件下将雾化抛光与传统抛光进行比较。结果表明:该实验系统的最优参数组合为雾化器电压50 V、抛光压力8 psi(1 psi=6 895 Pa)、抛光盘转速为70 r/min,此时材料去除速率为171.853 nm/min,表面粗糙度为4.76 nm。与传统抛光相比材料去除速率稍低,但表面粗糙度要好,且抛光液消耗量(1.03 g/min)约为传统抛光(10 g/min)的1/10。由于雾化器将抛光液中分子结构打散形成大量雾液,从而减少抛光液中磨粒团聚,同时雾化液更能均匀分散吸附在抛光垫上,增加了参与抛光的有效磨粒数,有利于材料去除和形成高质量表面。     

气液两相流容积含气率的精确测量

设计了一个一种新型多圈环形管用于气液两相流参数的测量,对环形管上升段水平方向内外侧气液两相流差压波动信号进行了分析;采用无因次分析方法获得与差压波动信号均方根相关的特征量,建立了此特征量与容积含气率的关系模型,并在此基础上进行了实验.实验结果表明与在气体密度已知的情况下,可以得到差压波动信号均方根有关的特征量和容积含气率存在一定的关系,在考虑到气体密度的影响之后,引入气体密度对关系模型进行修正,建立了差压波动信号均方根和容积含气率量纲1的线性关系模型.在容积含气率小于0.65时,气液两相流的容积含气率测量误差小于5为4.46%,为气液两相流的容积含气率测量提供了一种方法.     

基于ECT技术的气/固两相流系统设计

针对目前气/固两相流检测中流型识别的精度和速度制约等问题,设计基于Xilinx Spartan-3E系列FPGA芯片的圆周型16电极ECT检测系统,采取DDR2存储技术以及采用USB总线技术代替传统的PCI总线技术,明显提高了电学成像速度。同时应用数字正交解调代替模拟解调,有效提高了解调的实时性和系统成像精度。实验结果表明,该系统性能稳定、处理速度快、采样精度高,在实际工业应用方面有一定的参考价值。     

R245fa的热工性质系统研究

目前我国[1]余热利用现状是高温烟气余热的利用情况较好,而中低温烟气余热的回收利用率较低,利用中低温烟气余热发电是目前研究的热点之一.本项目对R245fa的汽液两相流强化换热与流动特性进行研究,主要包括流体质量流量,管径结构以及干度对平均换热系数的影响,可以为工程换热设备工业设计、制造、应用提供可靠的数据依据.     

一种判断气/固两相流流型的新方法

对于广泛应用于工业生产的气/固两相流,研制较好的仪器来测量其参数显得尤为重要。而且国内外许多学者都在致力于气/固两相流甚至多相流的研究,并取得了长足的进展。本文在简要介绍现阶段测量气/固两相流流型方法的前提下,提出一种新的判断气/固两相流流型方法。即基于概率密度定义,利用测量信号的均值进行直接判断。     

改进HHT变换和RBF神经网络识别两相流

针对电导波动信号的非线性非平稳特征以及EMD(empirical mode decomposition,经验模式分解)方法存在的模态混叠等不足,提出了一种基于EEMD(ensemble empirical mode decomposition,集合经验模式分解)的改进HHT(Hilbert-Huang transform,希尔伯特-黄变换)和RBF(radial basis function,径向基函数)神经网络相结合的垂直上升管气液两相流的流型识别方法。首先对电导波动信号进行EEMD分解,利用改进HHT对IMF(intrinsic mode functions,本质模态函数)作变换分析,然后将提取的IMF能量特征作为RBF神经网络的输入特征向量,从而实现对气液两相流流型的识别。实验研究表明:该方法能准确地对泡状流、泡状-段塞流、段塞流、段塞-混状流、以及混状流五种流型进行识别,且具有较高的识别率,同时对相关领域的研究也具有一定的参考价值。     

磁选机分选腔的形状对气固两相流动过程的影响

针对干式磁选机分选过程中磁团聚引起铁精粉品味严重下降的问题,对气固两相流中的气相采用流体力学方法(CFD)、颗粒相采用离散元法(DEM),建立二维磁选机分选腔数学模型,利用多物理场仿真软件COMSOL Multiphysics分析不同形状分选腔内气相和颗粒相的运动状态。结果表明,磁选机分选腔内表面导流板的形状可以对气固两相流起到导流作用。改进型分选腔更有利于气流带动粒子碰撞,破坏粒子间的团聚现象,提高分选腔内粒子的松散度,改进型分选腔更有利于延长分选过程中粒子的运动时间,提高分选效果,该研究结果可为分选腔的设计提供理论基础。     

基于EKF的两台五相PMSM串联系统研究

在同一逆变器供电下的两台永磁同步电机(PMSM)串联系统,可运用矢量控制技术实现独立解耦控制。本文提出了一种基于EKF的两台五相PMSM串联系统的扩展Kakman滤波器(EKF)转速估计方法,观测器状态方程采用转子磁链定向的同步旋转坐标系下的电压方程。在线实时估计转子的位置和转速,使得电机能够在无需知道转子初始位置的情况下启动和运行。通过Matlab/Simulink进行了变速仿真分析,仿真结果验证了该算法的可行性。     

止颤通便颗粒治疗气阴两虚型帕金森病慢性便秘临床研究*

摘 要:目的 观察止颤通便颗粒治疗气阴两虚型帕金森病(Parkinson-s disease,PD）慢性便秘的疗效。方法 以2019年6月—2021年12月在临沂市中医医院脑病科门诊或入院的明确诊断为气阴两虚型PD伴便秘的病人80例为研究对象,随机分为治疗组和对照组,治疗组予以止颤通便颗粒,对照组予以乳果糖,治疗2 w。比较治疗前后2组便秘评分量表（CCS）、便秘患者生活质量量表(PAC-QOL)评分、汉化版统一PD评定量表（MDS-UPDRS）积分、中医症候积分及疗效。结果 治疗结束后第14 d、第28 d治疗组的CCS评分、PAC-QOL评分均小于对照组（P＜0.05）,治疗组的有效率明显优于对照组（P＜0.05）。治疗组治疗后MDS-UPDRS积分、中医证候积分较治疗前减少（P＜0.05）。结论 止颤通便颗粒治疗气阴两虚型PD慢性便秘短、中期疗效显著,且能改善PD患者的临床症状。     

中性点不接地电力系统异地两相短路故障的区域性综合测控保护系统构想

本文介绍了微机综合保护系统及微机测控装置在电力系统中的应用现状和问题,以解决中性点不接地电力系统异地两相短路故障的继电保护为例,提出了建立区域型综合测控保护系统的构想。即以系统枢纽变电站前置机为中心,以光纤网络,将各线路的微机综合测控装置联系起来,收集线路信息、综合、判断,有选择性的切除非重要故障线路,以达到停电范围最小的目标。