培养细胞透射电镜超薄切片制备方法

应用透射电镜观察培养细胞的超微结构都离不开超薄切片的制备。培养细胞小、数量少以及培养细胞方式的多样化，这些都给样品制备工作带来一定的难度。完全按照文献报道的制备方法，已不能完全满足培养细胞电镜观察的要求。我们根据观察的需要选择细胞的不同培养方式，并根据不同的     

聚焦离子束(FIB)快速制备透射电镜样品

高性能聚焦离子束系统(简称FIB)具有许多独特且重要的功能，已广泛地应用于半导体工业中。近年来，FIB在材料科学研究领域也有了广泛的应用。本文主要介绍利用FIB快速制备TEM样品的方法。实验设备为日本精工公司生产的型号为Seiko SM12200的聚焦离子束系统。     

家兔视网膜透射电镜灌流固定样品制备技术

随着医学、生物学技术的不断发展，电镜的应用已相当普及。而超薄切片技术，是透射电镜生物样品制备方法中最基本的常规制样技术。从取材到切片每一个环节都至关重要，良好的固定是获得完整、清晰的细胞结构的前提和基础。对家兔视网膜的研究发现，采用灌流固定技术要优于以往的先取材后浸泡的固定方式。灌流固定可使固定剂迅速均匀地渗入组织，避免在浸泡固定期间可能发生的人为损伤，使视网膜各层细胞超微结构更清晰，实验结果更客观可靠。现将方法介绍如下。     

TEM薄膜样品制备中的几点经验

样品制备在电子显微学研究中至关重要，制备高质量的样品，是获得研究成果的关键之一。     

单细胞海藻的透射电镜样品制备

近年来随着海藻经济价值的不断挖掘，对生活在水中的单细胞海藻的研究越来越深入。由于海藻具有单细胞的特性，又有植物细胞的某些特点如含有细胞壁，故在常规透射电镜样品制备中具有一定特殊性。我们在实验中逐步进行改进，以得满意结果，现予报道。     

透射电镜样品台移动的自动化设计

随着自动化技术的迅速发展，现代的透射电子显微镜技术也步入了自动化或数字化时代。除了成像部分，真空系统等提高了电路的集成度以外，机械运动部分的自动化程度也大幅度提高。但是，目前在国内尚有一批20世纪末期以前的电镜产品，还处于手动或半自动化状态，且仍在发挥着重要作用。如JEM-100CX、JEM-200FX、HT-800等。我们针对     

矿物材料TEM样品的几种制备方法

矿物材料的TEM样品制备历来是个难题，采用常规方法成功率很低，限制了TEM在矿物研究中的应用。以下探索出的几种矿物材料TEM样品制备方法，希望能对扩展TEM在矿物研究中的应用有所帮助。     

烟草单个花粉原生质体透射电镜样品制备及其超微结构观察

本文介绍了烟草花粉原生质体作试验材料，用自制微吸管手工预先挑选单个花粉原生质体，戊二醛微滴固定，然后用低熔点琼脂糖或明胶预包埋，小塑料管顶扣包埋单个花粉原生质体，进行透射电镜样品制备，初步建立了单个原生质体电镜制样的技术流程，通过电镜观察，与群体制样法比较，结果是今人满意的。此项技术的建立，为今后植物性细胞超微结构的研究，提供了一项精细的操作方法。     

琼脂铸模法制备透射电镜样品

本文介绍用琼脂铸模法制备透射电镜样品，如悬浮培养细胞、细菌、蓝藻、原生动物和花粉等细小分散的生物样品。该技术不但能将这类样品高度浓缩在一个微小的空间内，而且可简化样品制备步骤，减少样品损失，提高可观察样品的信息量。     

FIB参数对低介电常数介质TEM样品制备的影响

研究了使用聚焦离子束(FIB)方法制备低k介质的TEM样品时离子束参数对介质微观形貌的影响,发现低k介质的微观形貌与离子束参数具有较强的相关性。传统大离子束流、高加速电压的FIB参数将导致低k介质多孔性增加、致密度下降;且k值越低,离子束参数影响越大。对于亚65nm工艺中使用的k值为2.7的介质,当离子束流减小到50pA、加速电压降低到5kV时,FIB制样方法对介质致密度的影响基本可忽略,样品微观形貌得到了显著改善;而对于65nm工艺中使用的k值为3.0的介质,其微观形貌受离子束参数的影响则相对较小。     

"楔形"TEM样品的机械研磨制备技术

介绍了一种用机械研磨法制备集成电路TEM楔形样品的技术,讨论了该制样技术所需注意的关键点,并给出了判断样品薄区是否满足TEM分析要求的两种方法。楔形样品减薄技术兼具制样速度快和样品质量好的优点。该技术既可用于制备非定点TEM样品,也可用于制备定点的TEM样品。给出了用该技术制备的定点失效的MOS器件TEM照片。熟练的技术人员可以用此方法在半小时内完成一个样品的制备。     

聚氨酯分散体的透射电镜表征技术研究

本文分别以磷钨酸和四氧化锇为染色剂对聚氨酯分散体(PUD)的透射电镜(TEM)样品进行制备,通过实验分析了染色液种类、染色时间、稀释后的PUD固含量等因素对TEM图像效果的影响,针对PUD的TEM表征技术进行了探讨研究。结果表明,PUD样品使用磷钨酸负染,控制负染染色时间为30 s～1 min,稀释后PUD固含量为0.03%～0.05%,染色液pH在7左右,注重制样细节,能获得良好的TEM表征效果。     

TEM样品制备辅助研究介质层可靠性失效机理

研究了TEM样品制备条件对Cu/低k制程ILD TDDB失效样品及含更低介电常数(k=2.7)介质层样品的TEM成像质量的影响,发现在一定的样品制备条件下低介电常数介质的疏松特性可在TEM成像时得到增强显示,进而揭示了某Cu/低k制程ILD TDDB可靠性失效样品的失效机理为芯片制造过程中介质层沉积温度异常导致其疏松特性增强,介电常数降低,从而导致其电绝缘性能下降而引起TDDB可靠性测试项目失效.     

聚焦离子束制备透射电子显微镜样品的两种厚度判断方法

透射电镜样品的厚度是透射电镜(TEM)表征中一个重要参数,快速准确地判断样品厚度是制备高质量样品的前提.本文通过使用聚焦离子束(FIB)制备了带有厚度梯度的透射电镜样品(Si、SrTiO3和LaAlO3),并提出两种制样过程中快速判断厚度的方法.第一种通过扫描电子显微镜(SEM)的衬度变化经验地判断样品的厚度;第二种是用FIB在样品边缘切一个斜边,通过SEM测量斜边侧面的宽度用几何方法推断样品的厚度.这两种方法都通过会聚束电子衍射(CBED)和电子能量损失谱(EELS)测量的厚度作为检验标准.对比认为,样品较薄时用SEM衬度测厚比较合适;样品比较厚时用几何方法测量比较直接.     

适用于深沟槽结构观测的TEM样品制备技术

对于深沟槽DRAM电容这类纵向深度深(超过5μm)但是平面尺寸又很小(小于0.2μm×0.2μm)的结构来说,传统的TEM制样方法,无法满足其细微结构全面观测的需求,此外传统的方法制样也比较费时,成功率也比较低。介绍了一种FIB横向切割技术,适用于对这类结构的观测。它与传统FIB制样方法的主要区别在于,切割方向由纵向切割改为横向切割。用这种方法制备的TEM样品,可以完整地观测同一个深沟槽DRAM电容结构的所有细微结构。制样过程比较简单、速度快、成功率高。以一个实例分析、比较了传统制样方法和新的制样方法,突显了FIB横向切割技术的优点。     

一种实用的高分子材料样品制备方法

通常 ,要使得高分子材料 (指不填加无机填料的高分子共聚物或共混物 )适合于ＴＥＭ观察 ,需至少对样品进行如下 2步处理 :第一是样品的固化 ,进而实现超薄切片。对于一些弹性体如橡胶或橡塑共混物来说 ,固化更显得必要。实现这一步的最常规方法是在液氮冷冻下进行低温超薄切片 ;第二是样品的染色 ,因为高分子材料 ,无论橡胶或者塑料 ,均由Ｃ、Ｈ、Ｏ等轻元素组成 ,其对电子的散射能力相近 ,因而在用ＴＥＭ观察时没有反差。实现染色的最常规方法是采用ＯｓＯ4熏染切好的片 ,从而使橡胶相(通常含有双键 )显示深色 ,而塑料相显示浅色。因而在实…     

微波辐射电镜生物样品制备方法研究

本文报道一种快速微波辐射电镜样品制备方法──水浴法，以及这个方法在动植物样品超薄切片制备中的应用。实验结果表明，水浴法使得样品可以接受相对较长时间的微波辐射而不致造成任何损伤，浸泡液和样品的温度控制简单而且准确，样品处理的结果内外均匀一致，超微结构保存优秀，完全可与常规制样法和Ｌｏｇｉｎ法的结果相媲美，而且在某些方面水浴法要优于常规法和Ｌｏｇｉｎ法。     

纳米乳液的透射电镜样品制备及图像分析

近年来对纳米材料的研究越来越深入 ,纳米材料也逐步应用于各行各业 ,由于纳米材料结构的特殊性 ,用电镜观察此类样品时 ,样品的浓度、染色方法、使用的分散剂等因素均会影响观察效果。本文介绍作者几年来对纳米乳液样品制备的心得及图像分析处理技术对纳米乳液作粒度分析的一些体会。材料与方法1 材料 :多种不同结构的纳米材料乳液。其稀释剂分别为双蒸水及无水乙醇 ;分散剂分别为二甲苯、正丁醇、甘油。2 方法 :2 1　浓度及分散剂试验 :水性纳米乳液用双蒸水稀释 ,其余均用无水乙醇稀释 ,浓度分别为 :1∶10、1∶2 0、1∶4 0、1∶10 0、1…