共查询到20条相似文献,搜索用时 63 毫秒
1.
磁悬浮进给机构的磁力耦合 总被引:3,自引:3,他引:0
研究了磁悬浮进给机构在进给运动时的磁力耦合现象.进给机构的磁悬浮系统采用了具有自动归中作用的V型导轨结构,保证了机构进给运动的导向精度,可应用于光刻机等精密光机系统,且满足超净无尘及精密定位要求.通过分析机构磁悬浮系统中电磁铁的磁力分布,给出了耦合磁力的计算公式.分析结果表明:磁悬浮系统在其控制过程中存在着磁力耦合,具体表现为:如果进给运动时平台在水平方向发生偏移,那么左右两侧电磁铁的磁力在水平及水平垂直方向将产生相互耦合作用;而垂直方向的偏移不会引起磁力的耦合.在控制系统中引入补偿器后,可使系统解耦,因产生的耦合磁力很微小,可以忽略不记. 相似文献
2.
针对微电子行业IC芯片制造设备如光刻机的快速步进、精密定位需求,研制出一种新型磁悬浮微进给机构,实现了运动部件与运行导轨之间的无接触支撑,消除了摩擦与磨损,克服了摩擦产生的金属粉尘污染问题.通过PID特性分析并利用PMAC运动控制器设计了一套完整的控制系统,详细阐明了整个控制系统的结构与工作原理,通过试验曲线比较说明了该控制系统的准确性,更进一步的说明了磁悬浮微进给机构的合理性. 相似文献
3.
4.
直线驱动磁悬浮进给机构的研究 总被引:2,自引:3,他引:2
分析了传统机械进给机构的特点,设计了一种集磁悬浮和线性驱动技术为一体的精密进给平台机构,此机构采用直线同步电机对悬浮的平台机构提供驱动力。这种驱动方式避免了传统驱动方式造成的摩擦、弹性变形、滞后和非线性误差,实现了平台进给机构在水平和垂直两方向的无接触支撑和导向。针对磁悬浮平台进给机构设计了直线同步电机的结构,并对直线电机产生的磁力进行分析计算。直线驱动技术在磁悬浮平台进给机构中的应用使进给系统具有响应快速、刚度高以及定位精确的特点,能够满足微电子设备高精度、高效率和超洁净加工的需要。 相似文献
5.
本文介绍了轴承磨床进给机构的演变过程,分析了不同进给机构的特点。介绍了目前进给机构所采用的通用形式,最后指出了进给机构发展的方向。 相似文献
6.
7.
直线电机微进给机构的研究 总被引:4,自引:0,他引:4
微进给机构的频响和行程量对矛盾,介绍了一种高频响大行程的微进给机构,其关键部件为自行研制的直流直线电机,介绍直线电机的结构,给出了它的动力学模型,并对模型进行了分析和简化,在此基础上,进行 微查给机构闭环特生分析及控制器综合。性能实验结果表明,该微进给机构同时具有频响高、行程大和精度主的特点。 相似文献
8.
9.
10.
提出了设计高端机床进给驱动的若干原则.分析了滑动和滚动导轨的结构形式及其优缺点.讨论了不同直线进给和圆周进给的结构形式及其发展趋势.最后对保证进给运动精度的测量传感系统作了全面的介绍. 相似文献
11.
12.
行馈是主天线的外部设备,其耐候性和外形必须满足紫外线照射、盐雾、风砂等环境的严苛要求。轮式载车的快速行进、边行军边工作的状态以及复杂的路面条件对大跨度悬臂薄壳行馈的耐振动冲击提出了苛刻要求。快速轻便性又对行馈的重量有严格的限制。文中详细论述了行馈的结构设计,采用轻量化腔体结构,在行馈内部采取加固措施提高抗振动冲击能力,并运用外包封技术提高设备的耐候性。通过多次耐振动冲击验证试验,不断改进安装和固定方式,确保能够承受长途行军的颠簸振动与冲击。通过耐候性验证试验,确保密闭的大跨度薄壳行馈在全天候环境下使用可靠。 相似文献
13.
14.
15.
介绍了一种电磁式微进给驱动机构,并进行了动态特性分析。在其闭环控制系统中,用自学习控制方法自动调节系统各环节的传递参数,使微进给机构获得较高的频响与进给精度及较大的微进给行程范围。 相似文献
16.
17.
分析了钻锪组合机床液压系统的工作原理和控制要求,确定了PLC的CPU型号,并给出相应的梯形图。 相似文献
18.
王均杰 《现代制造技术与装备》2014,(2):47-48
文章选择数控机床中广泛应用的半闭环进给伺服系统作为研究对象,参考具体全自动磨床的典型结构,对其数学模型进行了探讨,并借助计算机软件分析了其信号响应情况。 相似文献
19.