多功能有源激光微调机的系统设计

针对厚膜混合集成电路的功能微调需求,设计了一种多功能有源激光微调机。通过在线测量不同的产品参数,可实现多功能激光微调,其中包括输出电压修调,保护电流修调和信号电路调整(调测占空比、频率和相位)。本文重点介绍了多功能有源激光微调机的控制系统,通过分析测量步长和减速精度对修调精度和修调效率的影响,进而提出了自动修调方法中兼顾精度和效率的参数设置方法。多功能有源激光微调机很好地满足了国内厚膜混合集成电路功能微调需求。     

延迟时间的功能微调

在厚膜混合集成电路的研制和生产中，功能微调较好地解决了电路中电容和有源器件参数的离散性问题。本文以一个延迟时间的功能微调为例，阐述了不仅需要在微调操作中设计好软件和接口，而且在电路和版图的设计时应充分考虑到微调的可能性和便捷性，才能有效地完成电路参数的功能微调。     

厚、薄膜电阻激光快速微调技术

详细介绍了激光微调厚薄膜电阻的基理、激光调阻系统的构成、激光器选择、光束定位扫描系统及实时检测原理,并给出了调阻过程中各种相关参数。     

厚膜电阻噪声特性及微调图形对噪声的影响

本文讨论了厚膜电阻器的噪声种类、特性及其产生机理,并提出了减小厚膜电阻器中1/f噪声的途径和方法。文中还讨论了电阻器的微调图形对噪声增量的影响,以及如何减小微调后的噪声增量等。     

国内外激光加工技术概况

在当今高科技时代，激光技术以它的独特的功能占据着诸多加工领域。本文试图通过对激光打孔、焊接、切割、光刻、微调和热处理等技术的简单介绍，阐明目前激光加工技术的现状，并通过国内外情况的对比找出我们的差距，旨在引起重视，从而促进我国激光加工技术的进一步发展。     

大范围连续可调厚膜电阻设计研究

介绍了厚膜电阻大范围连续可调的基本概念，探讨了利用帽状电阻和串并联微调来设计大范围连续可调电阻的可行性及基本方法。     

激光微调在光通讯波导器件研制中的应用

目前激光微调在光通讯波导器件的研制方面已得到了应用。本文运用激光微调在波导器件上进行了实验,其中以波导环形器和马赫—曾德尔干涉仪为例,具体讨论了激光微调技术在控制波导双折射方面所表现出的高效,简易,实用等优点。     

混合集成电路激光功能调值技术

本文提出了激光功能微调技术在高精度混合集成电路上的应用，讨论了关键技术问题，并以实例具体说明。该技术的应用为研制高精度混合集成电路开辟了新途径。     

浅谈激光无源微调程序的编制

介绍激光无源调阻程序的基本构架和编制技巧。     

激光刻蚀实现介质谐振器参数微调的研究

研究提出激光刻蚀加工技术的新方法,实现微波陶瓷介质谐振器的参数微调.首先运用电磁理论推导求解本征值问题的有限元法,利用该方法验证了机械调节谐振器参数存在的缺点,重点研究激光刻蚀微调操作中存在的几种影响因素,获得激光微调参数与谐振频率改变量的关系式.最后用自制相对频率误差小于0.2％的微波介质谐振器验证了激光刻蚀法微调的优势.     

激光调阻预置式变速光刻控制

全自动激光调阻机是各种薄、厚膜片式电阻的工业化专用生产设备,提高调阻性能是提升设备生产力,降低生产成本,节能增效的主要途径.因此,在原系统基础上对激光调阻中光束定向控制系统进行改进设计,以先验知识为基础,构造预置、简单变速、实时变速等光刻控制模型,得到预置式变速光刻控制方法.它能根据不同的精度、速度要求和片阻初值偏差进行优化决策,实现在激光粗调电阻时,采用快速光刻;在激光精调电阻时,采用慢速光刻.这样不仅动态改变了片阻的光刻阻值变化率,提高了调阻精度,而且缩短了粗调光刻时间,提高了调阻速度,从整体上提高了激光调阻性能.     

RuO_2基厚膜电阻电脉冲调阻工艺研究

用厚膜法制备了RuO2基厚膜电阻,研究了电阻值变化与脉冲电压的关系,分析了调阻工艺的特点;测量了电阻的可调整极限,目标值、偏差与初始电阻的特性,最佳阻值调整范围;研究了二次烧结对调整电阻值的影响规律。     

Trimmer工艺参数对切割效果的影响

激光焊切机(Trimmer)是显示面板(TFT-LCD)工业中不可或缺的设备,其作用是利用激光束切除显示面板上的Shorting Bar结构。Trimmer切割效果对于后工段良率有很大影响,因此研究Trimmer的工艺参数对切割效果的影响对于提升产品良率具有重要意义。本工作首先通过实验探究激光单脉冲能量E、激光频率f、切割速度v、加工光斑沿切割方向的边长a等工艺参数对于某款165cm(65in)产品的切割效果的影响,然后深入分析了Trimmer的切割机理,提出了囊括所有工艺参数的变量"ε",然后通过实验给出了对于膜厚为0.45μm的Cu材质Shorting Bar,Trimmer激光单脉冲能量必须在7mJ以上,ε在400mJ/mm~2以上,Trimmer可以将Shorting Bar切除干净,并且得出ε与表征切割效果的参量ω之间的函数关系,证实了ε值对于切割效果的影响。     

激光调阻工艺参数对调阻精度的影响分析

激光调阻的工艺参数主要包括光斑重叠率、激光功率、调Q频率和调阻速度 ,它们选择的合适与否直接影响激光调阻精度 ,如何确定激光调阻工艺参数是激光调阻控制中的重要问题。文中从理论分析和实验数据分析两个方面研究了激光调阻工艺参数对激光调阻精度的影响 ,并给出了激光调阻工艺参数之间的函数关系式和实际应用 ,为激光调阻工艺参数的选择提供了必要依据。     

高速高精度D／A转换电路的激光动态修调

本文介绍了激光修调原理、动态修调实现的方法，并以修调ＳＤＡ１２１０（１２位Ｄ／Ａ转换电路）为例，说明Ｄ／Ａ转换电路动态修调程序设计的方法、技巧以及应注意的问题。     

适用于片内集成的可修调低失调LDO

提出了一种新型可修调低失调LDO电路,该电路适于片内集成应用.现有的修调方法一般直接作用在反馈网络中,修调电路的自身失调会造成修调精度损失.本文提出一种失调隔离模块,以大大减小修调电路引入的误差.仿真结果表明,在修调电路发生10％的电流失调时,输出电压仅变化0.31％,使LDO输出电压的修调获得很好的线性度.     

Ar+激光器用于电阻微调的研究

本文讨论并研究了Ar+激光器用于电阻微调的优越性。结果表明,在比常用的Nd:YAG激光功率小得多的情况下,可得到与之相当的刻线宽度和阻值稳定性。     

Application of Various Lasers to Laser Trimming Resistance System

Though the laser trimming resistance has been an old laser machining industry for over 30 years, the development of technology brings new alternative lasers which can be used for the traditional machining. The paper describes application of various lasers to laser trimming resistance system including early traditional krypton arc lamp pumped Nd：YAG to laser, modern popular diode pumped solid state laser and the present advanced harmonic diode pumped solid state laser. Using the new alternative lasers in the laser trimming resistance system can dramatically improve the yields and equipment performance.     

数字修调技术在高速高精度流水线ADC中的应用

数字修调技术采用MOS开关控制电路实现对修调数据的传输和电路拓扑结构的改变,相对于传统的修调技术,数字修调技术具有灵活性、可重复性和低成本等特点.基于0.35μmBiCMOS工艺,对采用数字修调技术的A/D转换电路进行仿真验证.结果表明,设计的A/D转换器,其SFDR达65 dB,INL和DNL分别达到0.35 LSB和0.26 LSB,采样率达到250 MSPS.     

TureType字库在激光调阻机中的应用

为了获得一种用于自动激光调阻机中的激光打标系统,选用VB程序设计语言并采用API函数从TureType字库中提取字符信息,将字符信息保存为激光调阻机可读取的文件,以激光划线和激光扫描打点的方式打印空心字和实心字,并将激光打印程序指令化。结果表明使用API函数可以方便地提取字符信息和进行各种字符格式的变换,该系统已经运用到自动激光调阻机中。