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《电子工业专用设备》2006,35(8):53-54
新竹讯:力旺电子日前宣布完成0.15μm高电压制程之Neobit硅智财的技术开发。力旺电子的嵌入式非挥发性内存Neobit硅智财已广泛地建置于组件制造整合厂(IDM)与晶圆代工厂高压制程平台之上,其涵盖了0.6μm、0.5μm、0.35μm、0.25μm、0.22μm、0.18μm与0.15μm的制程技术。 相似文献
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孙再吉 《固体电子学研究与进展》1997,(3)
据《NEC技报》1996年第5期报道,该公司通过电子束曝光和MOMBE外延选样生长法,实现了全干法0.1μm的T型栅形成技术。柳长为0.1μm的HJFET,其电流截止频率fT为121GHZ,最高振荡频率fmax为144GHZ。该技术是通过钨掩模复制两次干蚀法,在使用电子束抗蚀剂的情况下,也可形成具有高缩图比的0.1μm以下的栅图形。此外,在栅极掩埋时采用了可获得良好底层覆盖区的MOMBEP+选择生长技术,提高了可靠性,而且其栅耐压也比过去提高了2倍。0.1μm的T型栅形成技术@孙再吉 相似文献
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微环境技术述评 总被引:1,自引:0,他引:1
当今,ULSI的特征尺寸已步入0.5~0.35μm阶段并向0.25μm推进。依照存储器集成度每三年四倍的规律,在向硅器件技术物理极限逼近中,美国的Sematech在给其成员单位的内部通讯上披露:为了保证美国的领先地位,导向目标由1995年的0.35μm、64MDRAM到2010年的0.07μm、64G,相应的成本要求从0.017减小到0.0002毫美分/位。随着特征尺寸的不断减小和工艺设备复杂性日益增大及洁净环境要求越来越高,生产线成本呈指数增加。分担成本上压力的途径除了扩大生产量、提高集成度外,还要求工艺环境在性能、灵活性、造价和(运行)费用的… 相似文献
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砷化镓PHEMT功率器件具有工作频率高,输出功率密度大,效率高,功率增益高等特点,我们研制的0.5μm栅长GaAsPHEMT小功率晶体管,栅宽1mm,直流跨导250ms/mm,栅漏反向击穿电压大于13V,在20GHz下最大可用增益为8dB,X波段输出功率为0.8W/mm,可应用于22GHz以下的窄带功率放大器和18GHz以下的宽带功率放大器。 相似文献
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深亚微米标准单元库的设计与开发 总被引:2,自引:0,他引:2
随着深亚微米工艺技术的发展,0.18μm COMS工艺巳成为国际主流的集成电路工艺标准。国内的深亚微米工艺也日趋完善,我们首家针对中芯国际0.18μm工艺,成功设计开发了0.18μm标准单元库。本文简要介绍了0.18μm标准单元库的设计与开发。 相似文献
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0.7微米i线分步重复投影光刻曝光系统研制 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍0.7μm线分步重复投影光刻曝光系统的技术指标、系统设计、研制中解决的关键单元技术和研制结果。结果表明工作波长365nm,缩少倍率5倍.曝光视场15mm×15mm.光刻工作分辨力0.6μm,并具有双路暗场同轴对准.又能精确分步投影光刻的曝光系统已研制成功。 相似文献
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预计1998年1350亿美元的世界LSI市场中,用0.8μm以上工艺制造的产品占210亿美元(16%),0.5μm的310亿美元(23%),0.35μm的580亿美元(43%),0.25μm的250亿美元(18%)。展望2001年2350亿美元的世界市场中,0.35μm的产品仍将占1070亿美元,独占46%,还略有提高。 相似文献
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在以前的可见光光子计数器中,本征杂质带探测器是根据硅的本征吸收原理制作的,它在0.4μm-1.0μm波长范围内具有较高的量子效率。而以前用硅掺砷材料制作的固态光电倍增管则是通过非本征吸收来实现2μm-28μm红外光谱范围的高量子效率的。虽然这两种器件都是高速光子计数器件,但是它们在1μm-2μm谱区的光吸收都很弱。 相似文献
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由镁/聚四氟乙烯组成的点源红外干扰弹无法控制自身发出的红外辐射,通常情况下,它在波段Ⅰ(2.0~3.0μm)的辐射强度要比飞机大得多,在波段Ⅱ(3.0~4.0μm)次之,在波段Ⅲ(4.0~5.0μm)更小。当其辐射超过飞机辐射时,采用双色转换技术的红外导弹寻的器可以使用两个不同的探测器(例如,在1~3μm波段工作的硫化铅和3~5μm波段工作的碲化铟探测器)来检测两个波段中的能量大小,从而识别出红外干扰弹和飞机。 相似文献