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相似文献
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1.
电子束背散射与前散射的分析   总被引:2,自引:0,他引:2  
利用电子束曝光机完成有关邻近效应的实验 .曝光过程中加速电压为 5~ 30kV ,衬底基片为铬和PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯 ) .在处理模拟电子穿越衬底PMMA的边界时 ,采用了几率确定法 ,用以判断电子是否在界面处发生一次弹性散射 .得到了散射电子在电子束胶层中背散射与前散射的能量沉积分布图 .实际应用表明 ,该方法像差小而可以不用动态校正 .  相似文献   

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3.
以拓展的三高斯邻近效应函数为基础,利用空间图形密度方法对电子刻蚀中的邻近效应进行修正,并对该方法的原理及实现步骤进行了较为详细的介绍.通过和传统的邻近函数为基础得到的修正结果相比,经过拓展后的邻近函数有着更好的修正效果.  相似文献   

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5.
将付里叶变换法运用于电子束曝光的邻近效应校正中,形成了快速、准确的剂量校正法。给出了描述预校正剂量和有效曝光剂量计算结果的三维图形。在电子束曝光胶图形的三维显影模拟工作中,首次使用了最精确的三维线踪模型。  相似文献   

6.
为了系统的研究舰船尾流中气泡的激光前向散射特性,本文通过自行设计的试验系统模拟舰船尾流气泡.结合Mie散射理论和水下光散射特性,探讨了气泡幕激光前向散射特性.实验选用波长为632.8nm的激光,暗室内在不同介质以及不同气泡密度的条件下,测量了气泡幕的激光散射光照度.结果表明散射光照度主要分布在前向0°角附近,散射光与气泡的密度成反比,气泡密度低时外部光照对散射光影响更加明显.  相似文献   

7.
介绍了大气能见度研究的基本理论、消光系数的概念和计算方法,对国内外主流的透射式和前散射式能见度仪从优缺点、低能见度下数据对比和应用场所3个方面进行了比较分析。  相似文献   

8.
固体中散射电子空间输运的矩阵方程   总被引:9,自引:2,他引:7  
  相似文献   

9.
水下物体的前向声散射建模与实验观测   总被引:1,自引:0,他引:1  
为了研究水下信道中物体对声波的前向散射现象,建立了水下物体前向声散射计算的虚源模型,在消声水池中进行了模型实验,并在湖上进行了运动物体前向散射的验证性实验.仿真结果表明,物体的前向散射信号强度远远强于后向散射信号强度.测量得到柱形壳体的前向散射目标强度,和理论结果相比差别保持在3 dB左右.湖上实验结果表明,使用周期性LFM连续波信号可以观测到物体前向散射对接收声场的影响.  相似文献   

10.
利用蒙特瞳罗法模拟光在水中的传播特性。把计算机提供的均匀分布的伪随机数,变换成为与描述媒质散射、吸收特性的函数一致的分布。把光线散射发生后相对坐标系变换成光线散射前绝对坐标系。模拟的结果表明:经过海水散射的光是喇叭状展开,且中间的光子密度大,向四周逐渐减小。  相似文献   

11.
利用蒙特卡罗法模拟光在水中的传播特性。把计算机提供的均匀分布的伪随机数 ,变换成为与描述媒质散射、吸收特性的函数一致的分布。把光线散射发生后相对坐标系变换成光线散射前绝对坐标系。模拟的结果表明 :经过海水散射的光是喇叭状展开 ,且中间的光子密度大 ,向四周逐渐减小。  相似文献   

12.
针对双基地前向散射栅栏雷达运动参数估计精度低、易发散的问题,在扩展卡尔曼滤波和不敏卡尔曼滤波基础上,提出了一种新的滤波跟踪算法U EKF.该算法利用不敏卡尔曼滤波对初始误差不敏感的特点实现目标初始捕捉,克服了扩展卡尔曼滤波由于初始估计误差较大而引起的发散问题;然后采用扩展卡尔曼滤波进行目标跟踪保持,克服了目标穿越雷达基线时不敏卡尔曼滤波由于对系统模型的误差敏感而引起估计精度低的问题.  相似文献   

13.
低能电子束曝光的散射研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用Mott弹性散射截面和Monte Carlo计算方法进行模拟,将Joy和Lou的Bethe修正公式作为解决能量损失问题的非弹性散射模型。描述电子束入射固体过程,确定散射角、方位角、自由程和散射点处能量等参数。利用能量不超过5keV的低能电子束,模拟在不同厚度的抗蚀剂中进行的刻蚀过程,得到了不同能量电子束在衬底表面光刻的最佳抗蚀剂厚度。  相似文献   

14.
本文提出了光纤拉曼放大器中的前向自发拉曼散射噪声的数学描述及其机理,并从实验上得到了前向自发拉曼散射噪声的光谱,前向自发拉曼散射光强不但与输出端的泵浦光的强度和线型有关,还与自发发射光谱在光纤中的传输特性有关.  相似文献   

15.
为了准确提取物体的有效特征值,得到目标物体的真实灰度级,以前散射图像为例,建立了目标物体、背景物体及重叠区域灰度级之间的数学模型来描述物体间的重叠关系,把多个物体重叠问题简化为两个物体重叠问题.根据x-射线与物质相互作用关系、x-射线源类型、探测器通道数等对重叠关系模型进行转换、简化、推导,得到目标物体真实灰度级模型.将测得的80组灰度级代入目标物体真实灰度级模型中进行求解,结果表明,模型误差在10%以内,该模型算法有效可行.  相似文献   

16.
基于Mie散射理论的小角前向散射激光测粒技术已广泛应用于各种领域。在该测粒技术中要求光电探测单元中心与入射光轴严格对中,以保证测得的散射光能分布及所得粒径分布的准确性,然而在实际测量中很难保证精确对中。利用Mie散射理论,通过模拟计算研究对中不良(主要是偏心)对测量结果的影响,并对结果进行了分析。  相似文献   

17.
介绍了空间焊接中空间电荷效应对空间电子束聚焦的影响,提出了计算电子枪主透镜区空间电荷密度的流管法和计算机辅助设计方法.通过编程计算表明这种计算方法是可行的,从而为设计空间电子束焊枪的电聚焦系统提供了理论依据。  相似文献   

18.
洛阳卓航测控设备有限责任公司生产的CJY系列前向散射能见度仪,采用光源能量闭环自动控制技术和腔体温度自动控制技术,使设备发射和接收系统具有很高的稳定性;系统采用了电路锁频锁相放大技术和先进的计算机处理反演技术.实现了大气能见度的自动测量。该产品技术性能指标和功能居国内先进行列,总体技术达到了国际先进水平。  相似文献   

19.
岸基对海雷达探测舰船目标时会受到起伏海面的影响,形成电磁波传播的多径效应,对舰船目标雷达散射特性产生影响.根据电磁波传播的四路径模型,提出一种多径条件下舰船目标散射特性的统计分析方法,分析得出了起伏海面对舰船目标散射回波的平均影响系数,基于雷达方程指出该系数对雷达目标回波功率的影响程度.利用声波和电磁波之间的相似特性,采用水声测量实验的方式对多径条件下舰船目标回波特性进行了实验.实验结果验证了方法的有效性.  相似文献   

20.
火电厂电子束脱硫技术特性的分析与应用   总被引:4,自引:0,他引:4       下载免费PDF全文
主要介绍了电子束法脱硫技术的原理、系统开发和特点,对该技术在国内示范工程中的应用进行了经济性分析,并与石灰石-石膏法进行比较,得出了电子束法脱硫技术在我国应用具有经济性与可行性的结论。  相似文献   

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