Pd/W/Si(111)多层膜形成硅化物的研究

本文对 Pd/W/Si(111)多层膜系统在稳定退火条件下形成硅化物作了研究.实验结果表明,富Pd组分的多层膜对WSi_x的晶化有明显的诱导作用.多层膜中单层膜厚的增加减弱了诱导晶化作用.利用多层膜可模拟共淀积多元膜,实现硅化物的浅接触.     

基于液晶功能表面的液滴输运研究

基于液晶开放表面的微流体操纵技术是一种利用微流体学原理和微加工技术，在微纳尺度上对液体进行操纵和控制的方法，对新型微流控平台的开发至关重要。本文通过注液光滑表面的理论设计，利用液晶聚合物薄膜的可控制备，开发了取向序各向异性的功能聚合物薄膜，包括向列相聚合膜和近晶相聚合膜。研究表明，与近晶相聚合膜相比，向列相聚合膜在同等条件下，为水滴提供更快的输运速度，比近晶相聚合膜约快1个数量级。近晶相聚合膜和向列相聚合膜对于水滴的输运均具有方向选择性，实现了液滴在液晶功能表面的各向异性输运，为开发基于图案化液晶功能表面的特异性微流控技术奠定了基础。     

电子从不同晶向Si隧穿快速热氮化SiO2膜的电流增强及模型解释

用卤素钨灯作辐射热源快速热氮化（RTN）10nmSiO2膜,制备了＜100＞和＜111＞晶向Si衬底上的Si-SiOxNy－Al电容结构,研究了电子从＜100＞和＜111＞不同晶向N型硅积累层到RTN后SiO2膜（或原始SiO2膜）的漏电流和高场F－N隧穿电流。研究结果表明：经RTN SiO2膜化原始SiO2膜从低场到隧穿电场范围都明显地看到电导增强现象,比较RTN后两种不同晶向样品,低场漏电流没有多大的差别而在高场从＜100＞晶向比从＜111＞晶向Si隧穿SiOxNy膜的F－N电流却明显增加,借用一种基于横向晶格动量守恒的理论模型解释了这种现象。     

电子从不同晶向Si隧穿快速热氮化SiO2膜的电流增强及模型解释

用卤素钨灯作辐射热源快速热氮化(RTN)10 nm SiO2膜,制备了<100>和<111>晶向Si衬底上的Si-SiOxNy-Al电容结构.研究了电子从〈100〉和〈111>不同晶向N型硅积累层到RTN后SiO2膜(或原始SiO2膜)的漏电流和高场F-N隧穿电流.研究结果表明:经RTN SiO2膜比原始SiO2膜从低场到隧穿电场范围都明显地看到电导增强现象.比较RTN后两种不同晶向样品,低场漏电流没有多大的差别而在高场从<100>晶向比从<111>晶向Si隧穿SiOxNy膜的F-N电流却明显增加,借用一种基于横向晶格动量守恒的理论模型解释了这种现象.     

电子从不同晶向Si隧穿快速热氮化SiO_2膜的电流增强及模型解释

用卤素钨灯作辐射热源快速热氮化 (RTN) 10 nm Si O2 膜 ,制备了〈10 0〉和〈111〉晶向 Si衬底上的 Si- Si Ox Ny-Al电容结构 .研究了电子从〈10 0〉和〈111〉不同晶向 N型硅积累层到 RTN后 Si O2 膜 (或原始 Si O2 膜 )的漏电流和高场 F- N隧穿电流 .研究结果表明 :经 RTN Si O2 膜比原始 Si O2 膜从低场到隧穿电场范围都明显地看到电导增强现象 .比较 RTN后两种不同晶向样品 ,低场漏电流没有多大的差别而在高场从〈10 0〉晶向比从〈111〉晶向 Si隧穿Si Ox Ny 膜的 F- N电流却明显增加 ,借用一种基于横向晶格动量守恒的理论模型解释了这种现象     

退火Ge／Bi叠层膜的特殊晶化及扩散行为

本文研究了Ｇｅ／Ｂｉ叠层膜在不同退火温度的晶化及扩散行为。通过Ｘ射线衍射和拉曼散射的结果发现：在２００℃至３４０℃之间退火的样品，其Ｂｉ晶粒的结晶取向经历了一个由择优取向变为随机取向，最后又变顺择优取向的过程；而与此同时，Ｇｅ晶粒的结晶取向变化不大。     

固体电解质钽电容器介质膜晶化机理及其失效分析

从场致晶化和热致晶化的角度对固体电介质钽电容器介质膜晶化现象和机理进行了讨论,并结合CA45-H-35V-470μF固体电解质钽电容器的失效分析对介质膜晶化引起电容器失效进行了进一步的说明.采用筛选、物理分析和降额使用的方法,可有效避免介质膜晶化引起的钽电解电容器失效.     

高剂量离子注入激光退火SOM上硅膜的Raman光谱

用Raman光谱测量了高剂量B~+注入后,经不同激光功率退火的SOM上的硅膜.硅膜的晶化和杂质的激活,在光谱上得到充分的反映.满足临界条件的激光退火工艺,可使SOM达到制作压敏器件的要求.设计了两种不同的样品区域,来分辨晶化与重掺各目对Raman散射的贡献.对光谱特征随退火功率的变化以及Fano线形问题,作了初步的分析讨论.     

X衍射法分析CVD制备SnO2多晶膜的构成及其对气敏特性…

通过Ｘ光衍射图分析，确认了较低温度下ＣＶＤ法生长的非掺杂ＳｎＯ２晶膜含有较多的偏离ＳｎＯ２配位的晶体成分，从而定性地解释了该晶膜具有较高的气体敏感度的现象。     

X衍射法分析CVD制备SnO_2多晶膜的构成及其对气敏特性的影响

通过Ｘ光衍射图分析，确认了较低温度下ＣＶＤ法生长的非掺杂ＳｎＯ２晶膜含有较多的偏离ＳｎＯ２配位的晶体成份，从而定性地解释了该晶膜具有较高的气体敏感度的现象。     

基于LTCC工艺双频GPS陶瓷微带天线研究

在空腔模型理论基础上,利用微扰法对切角矩形微带天线进行严密的数学推论.并设计了GPS双馈点双频圆极化陶瓷微带天线.根据设计公式计算出结构参数,在Ansoft-HFSS软件中建立天线模型,通过参数优化得到天线参数,并利用LTCC工艺进行样品制作.结果表明:样品天线工作在1575 MHz和1 227 MHz时,10 dB带宽均大于10 MHz,回波损耗均小于-15 dB,轴比均小于4 dB,仿真结果与测试结果相似.总结了天线小批量生产的经验,提出了进一步小型化的研究方向.     

石英MEMS陀螺的结构特性分析

介绍了石英微机电系统(MEMS)陀螺的工作原理及敏感芯片的音叉结构特点,采用有限元法分析了敏感芯片的结构特性,并对结构进行优化。利用石英晶体的压电效应,设计了合理的电极布局,并结合敏感芯片结构特点介绍了其微机械加工工艺。通过结构优化和合理的电极布局,提高了石英MEMS陀螺的性能。     

Carrier-concentration dependence of velocity-field characteristics in ln0.53Ga0.47 as

The doping dependence of the velocity-field characteristic in InGaAs has been investigated by an analysis of measurements with transferred-electron devices. The electron peak velocity has been determined directly as a function of electron concentration and low-field mobility. The carrier-concentration dependence of the velocity-field characteristic has been deduced by comparing experimental and theoretical transient device behaviour. The experimental results support a theoretical approach for the velocity-field characteristic which has been proposed recently.     

介电型EAP驱动的转动关节研究

基于介电型电活性聚合物(EAP)的优点,设计、实现了该材料驱动的转动关节。根据介电型EAP的变形原理设计、制作了圆柱形驱动器,其输出最大位移约为11mm,伸长应变达到33.8%,并对输出力-位移特性进行测试。基于该型驱动器实现了转动关节,转角约为±13°,堵转力矩为19.6mN.m,将转动关节应用于爬行机器人,并对试验结果进行分析。     

Design and development of a novel high-transconductance pH-ISFET (ion-sensitive field-effect transistor)-based glucose biosensor

A glucose biosensor based on a high-transconductance ISFET transduction element with aspect ratio (channel width/length) of 400 has been developed. This biosensor is an N-channel enhancement mode device with interdigitated drain-source geometry, fabricated by the NMOS process, in which glucose oxidase (GOD) enzyme has been immobilized over the silicon dioxide-silicon nitride dual-dielectric gate. The device has been operated in the active mode by applying a gate voltage through Ag/AgCl reference electrode. Electrical characterization has been performed in terms of I-V characteristics like output characteristics and leakage current. The pH response characteristics have been measured and the pH sensitivity factor has been found to be?≥?50?mV/decade. Device characterization has also been performed by a signal conditioning circuit developed for direct readout of pH from the ISFET device. Temperature behaviour and drift phenomenon have been investigated.

The glucose response characteristics of the ISFET have been determined, without and with the glucose oxidase enzyme layer. Improvement of the glucose sensitivity by deposition of the enzyme layer has been studied and cross-sensitivity of the device towards urea has been examined. The advantage of the high transconductance was evident from the ability of the sensor to detect small glucose concentrations without the enzyme layer. The paper describes the design, fabrication and characterization of the sensor.     

A theoretical investigation of the rectangular microstrip antenna element

A theoretical treatment of the rectangular microstrip radiating element has been performed. The element has been modeled as a line resonator with radiation taking place at the open-circuited ends. This has been verified by using a liquid crystal visual detector. With the simplified model, the input impedance and the far fields have been calculated for different resonant modes. The interaction between the radiating ends will effect the input impedance, and this has been considered by defining a mutual conductance. Also, a mutual conductance between microstrip elements has been expressed in far-field quantities and plotted as a function of spacing along theE- andH- planes. The directivity of an isolated element has been calculated as the directivity of one radiating end times the contribution due to the array factor.     

基于CFD的电子模块散热优化的场协同分析

采用CFD技术对电子模块的散热情况进行数值模拟,获得电子模块以及周围空气的温度场和速度场,基于传热场协同理论分析了电子模块及其周围空气的速度场和温度场的协同程度,并根据电子模块的温度水平以及电子模块的散热量为评价指标,通过对电子模块的散热方案进行优化比选,获得电子模块冷却的优化方案,为探究电子模块高效散热机理打下坚实的...     

基于超声波的无线电能传输的研究

近年来,国内外对无线电能传输进行了广泛的研究,该文旨在研究应用超声波实现空气中无线电能传输的可行性.该文通过机电等效和类比的方法,得到了超声波电能传输的等效电路,设计了与空气声阻抗相匹配的纵-弯复合模式超声波换能器,并通过Ansys软件对换能器进行了谐响应分析,得到了电学参数和谐振频率;最后通过超声波电能传输实验平台的搭建,得到了接收换能器的输出电压和距离的关系,证明了可以通过超声波进行无线电能传输.     

二频机抖激光陀螺温度漂移补偿的初步研究

从实验上研究了二频机抖陀螺的零偏和温度的关系。通过重复性温度实验,利用最小二乘法得到了拟合曲线表达式。结果表明,二频机抖陀螺的零偏和温度具有较好的线性关系和重复性,可以通过温度补偿来提高陀螺的精度。     

通信网可靠性指标体系的优化

评估指标体系的构建是一个复杂的系统工程,优化是其中重要的一步。指标相关性和冗余指标的存在一直都是体系构建工作中的重要问题。采用相关系数赋权方法降低指标间的相关性对评估结果造成的影响,并采用粗糙集属性约简方法减少冗余指标,从而完成评估指标体系的优化。采用该方法对通信网可靠性指标体系进行了相应优化,降低了指标体系的相关性与冗余度。