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分子泵自1912年诞生以来,至今已快近一个世纪了,它在初期进展较缓慢,在1970年以前,分子泵的应用还仅限于核物理,电真空,表面科学等领域,但近20年来由于半导体产业的兴起和薄膜工业的发展,分子泵才被人们所重视,并得到了兴旺和发达,现代的分子泵已发展到实用和普及的阶段,本文回顾了分子泵分析近百年的发展历史,详细地介绍了分子泵在各个时期的发展状况,对初期的分子泵,涡轮分子泵,磁悬浮轴承和气体静压静轴式涡轮分子泵,复合式分子泵,低温型涡轮分子泵,新型牵引分子泵,陶瓷涡轮分子泵,轴反应生成物的涡轮分子泵和极高真空涡分子泵等做了重点的分析,最后指出分子泵的发展前景。 相似文献
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基于真空系统油扩散泵的工作原理,分析油扩散泵返油的原因,总结出油扩散泵控制返油的方法;引用实例阐述如何查找返油原因;并根据具体原因采取具体措施,以降低油扩散泵的返油率。 相似文献
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本文对牵引分子泵抽气机理进行了深入分析,考虑了通道返流和工作间隙泄漏对泵抽气性能的影响。采用有限差分法对通道内气体分子宏观运动速度分布进行了计算,提 出了牵引分子泵二维抽气理论。 相似文献
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分子/增压泵是一种最近实现产品化的新一代真空泵,该泵兼有中、高真空泵的性能,能耗低,能获得清洁真空,还能承受大气冲击,应用前景十分广泛。本文详细介绍了分子/增压泵的结构、性能和应用,并与常用的中、高真空泵作比较。最后,介绍了分子/增压泵的一种独特应用——“大型真空设备的冲洗抽气法”,该方法将抽气时间缩短至50%,能耗降至10%~25%。 相似文献
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介绍了一种新型的特殊爪型干式真空泵的容积利用系数。根据啮合原理,提出了计算机模拟创成方法并同其它爪型干式真空泵的容积利用系数做出了比较。研究表明,特殊爪型干式真空泵与单爪型干式真空泵相比。在同样结构参数下(泵腔尺寸或中心距),对于不同的形状系数,容积利用系数提高了14%~56%;特殊爪型干式真空泵与双爪型干式真空泵相比。在保证转子强度许可和同样结构参数(泵腔尺寸或中心距)下,对于不的形状系数,容积利用系数提高了1.4%~24.4%。所以,我们得出结论,(1)利用新型的特殊爪型转子,我们可以在结构尺寸相同时获得更大的抽速;(2)本文提出的计算机模拟创成法,对于加快研制开发新的真空泵或压缩机转子型线,具有一定的实际意义。 相似文献
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针对空气源热泵冷(热)水机组运行中可能出现的干式壳管换热器冻裂问题,分析其被冻裂的主要因素,并且对壳管换热器冻裂的关键因素——蒸发压力过低的原因进行分析。基于分析结果,对壳管换热器的设计进行改进,同时对低流量保护点进行试验验证。 相似文献
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干式螺杆真空泵转子温度场的有限元分析 总被引:1,自引:0,他引:1
利用有限元建立了计算干式螺杆真空泵转子温度场的数值方法,考虑了热传导及转子表面与工作介质的对流换热因素对温度场的影响,采用相似准则方程一迪特斯一玻尔特(Dittus-Boelter)公式计算了对流换热系数。计算结果表明:转子温度场由进气端至排气端近似为线性增长,排气端温度约为120℃。随着转子转速降低,排气端温度迅速降低,当转速在2000r/min以下时,转子由进气端至排气端的温度变化在30℃以下。实验结果验证了上述结论,误差在15%以内。本文的研究工作不仅提供了干式螺杆真空泵转子的温度分布,也为进一步研究转子的热变形,合理确定泵腔内各密封间隙提供了理论与实验依据。 相似文献
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