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本文简述了DL-78型大直径、大容量直拉硅单晶工艺中石英坩埚的使用情况,对石英坩埚形状、尺寸的确定,原材料类别的选择、其杂质含量对硅单晶的影响,使用后被浸蚀情况进行了探讨,提出了对石英坩埚应力的检测方法及消除应力的热处理方法,测定了其中拉晶过程中的熔解速率。提出了一只坩埚多次投料使用的可能性。 相似文献
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葛海熊 《有色金属材料与工程》1987,(6)
本文就如何在TDR-40A单晶炉上拉制出φ76.2mm重掺砷硅单晶作了介绍,提供了试验装置,给出了工艺条件及试验结果,并对重掺砷和重掺锑晶体的异同点进行了初步讨论。重掺锑硅单晶比重掺砷单晶需要更大的(dT/dz)_L,重掺砷硅单晶与重掺锑硅单晶同样有(111)小平面存在,但没有杂质析出现象。 相似文献
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本文研究了CZ硅单晶在热处理过程中碳对产生氧施主和加快氧沉淀的作用。实验证实了碳在450℃时能抑制热施主的产生,在750℃时碳能促使生成新施主。在1050℃时由于碳的存在加快了氧的沉淀。实验结果认为CZ硅单晶氧含量小于8×10~(17)cm~(-3)时电阻率的热稳定性较好。 相似文献
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Φ105 mm区熔硅单晶的生长工艺研究 总被引:2,自引:0,他引:2
介绍了FZ硅单晶的熔区悬浮原理 ,说明了生产Φ10 5mmFZ硅单晶所用多晶原材料的技术标准 ,通过对不同形式的加热线圈进行分析 ,指出了较理想的加热线圈 ,讨论了反射器和改进后的晶体夹持装置的具体应用。对Φ10 5mmFZ硅单晶的关键生长工艺进行了描述 相似文献
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本文介绍采用密闭热系统拉晶工艺拉制硅单晶的情况。试验表明:密闭拉晶不仅有利于减少电耗和氢气消耗,而且可有效地降低硅单晶的氧含量和热氧化层错密度。文中还对密闭系统的材料、形状、放置及作用作了具体描述。 相似文献
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本文通过一系列热处理试验,对耐磨钢板CG1E0921的热处理工艺制度进行了分析、研究。试验中,对试验工艺制度作了深入的比对分析,从而总结出CG1E0921钢板热处理工艺制度。 相似文献
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以三峡水轮机组叶片铸件为研究对象,对其热处理工艺进行了研究。采用热膨胀仪进行特征相变点的测定,通过热处理试验确定热处理工艺参数对机械性能的影响关系,提出了叶片铸件最佳热处理工艺路线及工艺参数,并应用于实际生产,生产出的叶片铸件各项性能指标均满足设计要求。 相似文献
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双面不锈钢复合板冷轧及热处理工艺探讨 总被引:1,自引:0,他引:1
对不锈钢复合板的生产工艺流程及工艺要点进行了简介,并对不锈钢复合板的几种热处理工艺进行了试验,找出了适合不锈钢复合板的热处理生产工艺。 相似文献
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目前,在硅单晶制备中主要采用氩气保护成晶工艺。其中,根据硅单晶品种不同,采用的工艺也有所区别。在我国,一般区熔法制备硅单晶和φ50mm 以下的直拉成晶工艺多采用正压工艺,而φ50mm 以上的硅单 相似文献
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本文介绍了钢锉专用钢T12CrV新钢种的性能及特点,同时分析了美国“双刀”牌锉刀的成分及组织特点,通过热处理试验,金相组织分析以及硬度试验,对T12CrV钢的热处理工艺进行了探讨,并为之选择了合理的热处理工艺。 相似文献
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