两种SACP电子光学光路的比较

两种ＳＡＣＰ电子光学光路的比较廖乾初（冶金部钢铁研究总院，北京１０００８１）在扫描电镜中，为了获得选区电子通道花样，通常是采用所谓单偏转摇摆的聚焦电子束扫描光路￣［１］。根据我们实验室条件，上述的电子束扫描方式有两种光路可以选择：（１）会聚电子束的摇...     

场发射枪低压扫描电镜的电子光学设计

本文讨论了场发射枪低压扫描电镜的电子光学设计,包括用于低压条件下两种型式的磁透镜的优化设计,以及对于磁透镜和二次电子接收器的整体联合设计。计算结果和初步实验表明,本文设计的低压扫描电镜可以达到2.5～3.0纳米的分辨率,它与电子光学理论预期值基本符合。低压扫电镜的工作电压一般认为是在0.75kV到3～5kV范围内。其主要优点为:可以减小试样的荷电,直接观察非导体试样而不用涂覆,并减少图形的假象;穿透深度浅,提高图象的立体感和衬度;对于半导体、塑料、高分子和生物试样还可以减少试样的辐射损伤。因此低压扫描电镜成为具有特色的电镜分析工具。近年来国外正在兴起低压扫描电镜的研制、开发和应用(例如,美国的AM-RAY公司和日本的日立公司等)。1991—1993年,我们从事了美国国家科学基金研究项目,设计成功低压扫描电镜及其电子接收器系统。现已由美国AMRAY公司研制成功。本文将讨论这个具有场发射枪的低压扫描电镜的电子光学设计。     

大面积X射线视频相机：电子光学设计

在医学上,实时X射线成像目前由与电视摄像机相连接的X射线图像增强器所完成(XRⅡ/TV)。尽管有许多优点,XRⅡ/TV成像系统仍有一些问题,例如光影模糊以及畸变形等。XRⅡ/TV的一个替代设备是X射线光敏摄像管,它使用光电导体作为X射线到电子的转化介质,并用扫描电子束读出静电图像以直接产生视频信号。与传统的XRⅡ/TV系统相比,X射线摄像管难以提高分辨率,减少光影模糊和减少制造费用。扫描电子束读取的方法也     

手持激光测距仪的光路设计

介绍了手持激光测距仪的光路设计,该光学系统由激光发射、瞄准和激光接收光路等组成,采用短焦距、小孔径、二合一光路布局。重点研究了激光测距仪测距能力的估算及有关参数的确定．测距仪观察光路设计及像差,激光发散光路和激光接收光路设计。该手持式激光测距仪系统具有体积小、重量轻、测程远、操作简便、测距误差小、密封性能好、可靠性高等特点。     

DXS—3型扫描电镜的电子光学系统设计

一、概述扫描电子显微镜是一种大型精密电子光学仪器,具有分辨本领高,图像立体感强,能对各种信息进行综合分析等优点,在冶金、地质、矿物、半导体、医学、生物等领域得到了广泛的应用。 DXS-3型扫描电镜分辨本领为60A,需要有优良电子光学系统。我们考虑电子光学系统总缩小倍数为5000倍左右,并要求探针电流大于10~(-12)A。我们采用锥形栅极的常规钨阴极电子枪和四极透镜系统。聚光镜系统由一个双间隙、单线包聚光镜和一个单间隙、单线包聚光镜组成。物镜采用常规针孔物镜。二、磁透镜的设计磁透镜是电子光学系统的关键部件,它的设计特别是物镜的设计对分辨本领起着     

灰鹤颈羽的SEM观察

羽毛是鸟类特有的结构 ,颜色和形态各异的鸟羽与鸟类的飞翔、鸟类表面皮肤的保护以及保温隔热等功能紧密相关 ,它们是可用于鸟类识别和分类的重要特征。鸟类学家对羽毛的结构与功能之间的关系一直都很感兴趣 ,只是对其结构的研究还处于宏观研究阶段。灰鹤 (Ｇｒｕｓｇｒｕｓ)是我国的重要珍贵保护鸟类。在分类上 ,灰鹤是鹤属鸟类的代表种 ,研究其羽毛的微观特征 ,将有助于了解鹤属鸟类羽毛的基本微观特征 ,并进一步了解鸟类羽毛的微观结构与功能之间的关系。本文选取灰鹤的颈羽 ,用扫描电子显微镜观察其表面结构。材料和方法取灰鹤颈羽 ,用 …     

一种能与SEM联合应用的STM

一种能与ＳＥＭ联合应用的ＳＴＭ商广义，贺节，姚骏恩，吴杏芳，杨楠（中科院北京电子显微镜实验室，北京１０００８０）（北京科技大学金属物理系）扫描隧道显微镜（ＳＴＭ）是一种具有原子分辨率并能在真空，大气等不同环境下工作的新型表面分析仪器。在物理、化学、材...     

GaAs自旋极化电子源球形偏转器电子光学设计

GaAs极化电子源对于极化低能电子衍射(PLEED)和反光发射谱仪有重要的意义[1][2]。整个电子源由90°球形偏转器、双圆筒透镜及单透镜组合而成的束流传输系统组成。在系统的电子光学设计中,我们最感兴趣的是90°球形偏转器,因为很少见到这方面的设计资料。这是一种非旋转对称系统,而比较成熟的计算机辅助设计软件大都是用于旋转对称系统的。为了设计90°球形偏转系统,我们把有限差分法旋转对称静电场程序加以改变,使之适合于二维不对称平面场的计算。在编制的软件[3]中,整个网格的划分可以随系统的横向和纵向的比例自由选择。可以选择50×3…     

SEM电子光学系统磁透镜的最佳安排

本文在第一聚光镜焦距为极大的优化条件下,给出了常用的SEM电子光学系统磁透镜最佳安排的计算公式。     

碳纳米管冷阴极电子枪的电子光学设计

基于皮尔斯电子枪设计理论,提出了一种碳纳米管场致发射阴极电子枪的电子光学设计方案。电子枪阴极半径为0.5 mm,保持阴阳极电压不变,动态调整栅极电压,并利用计算机技术仿真软件（CST）对其进行仿真优化研究;结果表明,栅极最佳电压值为-14 kV,对应阴极发射电流为15.08 mA,阳极处电子束半径约为0.1 mm。研究为碳纳米管冷阴极栅极结构的设计提供了一种新的思路。     

全三维电子光学计算机程序在高分辨率阴极射线管设计中的运用

发展高分辨率阴极射线管(CRT)是很重要的。这里要研究两个题目:(1)高性能电子成束区(beam-forming regions)光点尺寸对电极不对中的敏感性;(2)在动态聚焦和象散校正偏转散焦的电子枪中放置四极场的作用。我们用全三维专用电子光学计算机模拟程序来完成这一研究工作。这一程序能使工程师们容易、快速、准确而廉价地设计和计算通用的和新型的 CRT 电子枪和偏转线圈。这一程序模拟了从阴极发射,通过复杂的电子枪和偏转线圈,穿过荫罩打到屏上任何位置的稳态三维电子流。对热速度分散和磁场与静电场力,包括空间电荷在三维空间中作了严密和充分的处理。     

卷柏属九种卷柏小孢子SEM研究

本文在对卷柏属 (Ｓｅｌａｇｉｎｅｌｌａ)八种植物大孢子形态结构研究的基础上 ,利用扫描电子显微镜对九种卷柏植物小孢子进行了观察研究 ,并且发现小孢子形态结构种间差异很大 ,对卷柏植物分类鉴定有重要意义 ,同时也为卷柏属植物的孢粉学研究提供信息。材料和方法匍茎卷柏 (Ｓ .ｃｈｒｙｓｏｃａｕｌｏｕｓ)产地 :西昌 ;Ｓ .ｆｌａｇｅｌｌｉｆｅｒａＢｕｌｌ;伏地卷柏 (Ｓ .ｎｉｐｐｏｎｉｃａＦｒａｎｃｈ) ;Ｓ .ｏｒｎａｔｅ;Ｓ .ｂｉｓｕｌｉａｔａ ;睫毛卷柏 (Ｓ .ｊｕｇｏｒｕｍＨｏｎｄ Ｍａｚｚ)产地 :甘肃 ;二形卷柏 (Ｓ .ｂｉ…     

磁透镜极靴形状对其电子光学参量的影响

本文通过对三种类型实用磁透镜的系统研究，提出可用形状参量Ｗ＝（Ｄ２Ｄ１）／２Ｓ来表征极靴形状对其电子光学量的影响。在磁路设计良好并满足弱碱激励的条件下，若Ｗ〈０．７，极靴形状将影响电子光学参量；若Ｗ〉０．７，则影响可基本忽略。     

流场测量中的APV光路系统的设计

APV（Adaptive Phase/Doppler Velocimeter）系统基于多普勒频移和多普勒相位差原理,可以自适应地进行微粒的材料识别、微粒的大小及速度测量。本文利用粒子散射理论对APV系统进行了合理地布局,讨论激光多普勒系统在流场测量中光路设计的方法,并通过模拟实验验证该方法的可行性。     

应用SEM研究碘化铯光阴极的微观结构

本文应用 SEM(扫描电子显微镜)研究了制备碘化铯光阴极时基底的温度,真空烘烤和露置大气对光阴极的微观结构的影响。     

激光散斑电脑验光仪的光路设计及临床应用研究

本文阐述了激光散斑电脑验光的光路设计，性能特点及临床应用结果。     

DJ-2型可变矩形电子束曝光机电子光学设计

本文讨论可变矩形电子束曝光机的电子光学设计,着重分析光路构成和变形偏转补偿等问题。DJ-2型机使用最少的透镜数实现变形束曝光机的功能要求。为实现高速变形偏转,采用高灵敏度串接式平板静电偏转器,通过精确的线性补偿和旋转补偿,使靶上束斑电流密度和分辨率以及原点位置不受束斑尺寸改变的影响。实验结果表明,用发夹型钨丝阴极时的束流密度大于0.4A/cm2;22mm扫描场内边缘分辨率优于0.2m。     

光路自动准直中的全自动化控制算法

基于光路准直的基本原理,借助反射镜伺服系统的精密调节和计算机的自动控制,提出了全新的光路自动准直控制算法。在此基础上,建立了光路自动准直单元,编制了控制程序,对光路自动准直算法进行了实验验证。结果表明,采用该算法的光路自动准直单元完全实现了光路的自动准直,具有良好的通用性。提出了几种提高光路自动准直效率的方法。