基于SEM电压衬度的缺陷定位方法研究

光发射显微分析、光致电阻变化技术两种电失效定位方法在精确定位缺陷上存在局限性,为此提出了基于SEM电压衬度的联用方法用于精确定位集成电路缺陷。首先根据电特性测试进行光发射显微分析或者光致电阻变化分析,结合电路原理和版图,提出失效区域的假设,再进行电压衬度像分析,通过衬度翻转可精确和快速确定缺陷位置,最后通过FIB或者TEM对缺陷进行表征。案例研究显示,有源电压衬度可定位双极型电路铝金属化开路失效,无源电压衬度定位CMOS电路多晶硅栅刻蚀异常引起的漏电流失效,结合形貌和材料分析得出缺陷形成机理和根本原因。     

动态电子束探针检测技术在亚微米和深亚微米IC失效分析中的应用研究

对扫描电子显微镜静态/动态/电容耦合电压衬度像、电子束感生电流像、电阻衬度像在亚微米和深亚微米超大规模集成电路中的成像方法和成像特点进行了研究,对各种分析技术在失效分析中的应用进行了深入的探讨,为电子束探针检测技术在亚微米和深亚微米集成电路故障定位和失效机理分析中的应用提供了理论基础和实践依据.     

电压衬度像技术在IC失效分析中的应用

电压衬度像(PVC)技术是用于定位集成电路不可见缺陷的一种有效的失效分析方法,结合聚焦离子束(FIB)精准的微切割技术,可将PVC技术应用于长金属互连线的缺陷定位.主要介绍了PVC技术及其原理,概述了如何在SEM和FIB中应用其工作原理有效地定位IC缺陷位置,并就接触孔/通孔缺陷以及规则长金属导线的失效实例展开讨论和分析.     

数字逻辑电路的竞争与险象分析

对于数字逻辑电路，由于外界多个输入信号的同时改变，以及自身电路的传输延迟，因而普遍存在竞争现象。本文全面分析组合逻辑电路和时序逻辑电路中竞争出现的条件，对于会导致险象的临界竞争，针对不同的逻辑电路类型分别指出消除险象的具体措施。所得结论对数字逻辑电路分析和设计具有一定指导作用。     

关于组合逻辑电路中竞争-冒险的研究

在组合逻辑电路中,当输入信号改变状态时,输出端可能出现由于竞争-冒险而产生的干扰脉冲信号,如果负载是对干扰脉冲信号十分敏感的电路,有可能引起电路的误动作,因此应该采取措施消除竞争-冒险.从理论上分析了组合逻辑电路竞争-冒险的产生,及其判断和消除的方法,同时运用EDA软件Protel 99 SE对组合逻辑电路中竞争-冒险的现象以及对提出的几种消除竞争-冒险的方法进行了仿真,结果与理论分析是一致的,达到了预期的效果.     

扫描电镜电压衬度法的应用

应用扫描电子显微镜电压衬度法观察分析半导体器件样品,对它进行失效分析或观察它的工作状态等,都有很明显的效果.电压衬度图象是在扫描电镜二次电子图象的基础上形成的,它通过对样品室中的半导体样品的某一部分施加电压,以便在样品的二次电子图象中的相应部位获得反差.由于所施加的电压会在样品表面形成一个小的局部电场,这个小电场对样品该部分的二次电子发射会起抑制作用,因此当电子束     

基于失效物理的集成电路故障定位方法

超大规模集成电路后道工艺(BEOL)中的失效日益增多,例如多层金属化布线桥连、划伤,栅氧化层的静电放电(ESD)损伤、裂纹等失效模式,由于失效点本身尺寸小加上电路规模大,使得失效分析难度增加。为了能够对故障点进行快速、精确定位,提出了基于失效物理的集成电路故障定位方法。根据CMOS反相器电路的失效模式提出了4种主要故障模型:栅极电平连接至电源(地)、栅极连接的金属化高阻或者开路、氧化层漏电和pn结漏电。结合故障模型产生的光发射显微镜(PEM)和光致电阻变化(OBIRCH)现象的特征形貌和位置特点,进行合理的失效物理假设。结果表明,基于该方法可对通孔缺陷、多层金属化布线损伤以及栅氧化层静电放电损伤失效进行有效的定位,快速缩小失效范围,提高失效分析的成功率。     

波形模拟器关于组合电路中竞争冒险的应用

为了更好地研究组合逻辑电路的竞争冒险现象,提出了一种关于组合电路竞争冒险的波形模拟方法,利用基于布尔过程的波形模拟器对电路进行模拟.该方法为检测电路中的竞争冒险现象提供了帮助,能有效降低对某些尖峰脉冲敏感的负载电路所产生的影响.实验结果证明了该方法的可行性和有效性.     

非接触智能卡芯片ESD失效分析

非接触智能卡芯片在生产加工过程中不可避免地会产生由于静电放电(ESD)原因导致的失效.收集失效样品并进行分析,并最终确定失效模式,以及对失效点进行定位,这些都对芯片片上ESD保护电路的改进,以及生产加工环境静电防护措施的改进提供科学依据,并最终有益于提高芯片产品质量,以及提升整个生产过程中的成品率.本文对非接触智能卡的ESD失效模式、失效分析手段和失效分析流程进行了分析,并给出了一个具体的分析实例和结果.     

基尔霍夫电压定律在电路分析中的应用

结合直流电路、正弦交流电路、放大电路等具体电路,运用基尔霍夫电压定律分析问题,得出了运用基尔霍夫电压定律在列回路电压方程中,计算任意两点间电压、电路开口处电压以及计算电路中某点电位等方面的分析思路,使得基尔霍夫电压定律的应用更加广泛。