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采用自制2450MHz,5kW不锈钢谐振腔型微波等离子体设备,研究了超声处理、细砂纸研磨、1μm和0.5μm金刚石粉研磨等Si3N4基底预处理方法对MPCVD金刚石涂层质量的影响,用SEM和Raman光谱仪检测和分析了金刚石成核和生长质量,分析了金刚石的应力情况,用对比切削实验检测了金刚石涂层的附着情况。结果表明,经0.5μm金刚石粉研磨后,在7.0kPa压力、1.5%的CH4/H2气体流量比、1 相似文献
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脱钴处理对YG8硬质合金刀片上金刚石形核的影响 总被引:2,自引:0,他引:2
对比分析了经金刚石磨盘研磨、脱铅、未脱钻YG8硬质合金上蒸镀非晶碳膜对金刚石形核的影响.结果表明未脱钴YG8硬质含金上沉积金刚石膜时,即使蒸镀非晶碳膜,金刚石的形核密度仍相当低.金刚石结晶质量差.颗粒呈“菜花状”。在长时间沉积金刚石过程中,基体内的Co会扩散或蒸发到刀片表面,产生明显的钴颗粒聚集、长大。而脱钴、蒸镀非晶碳膜YG8硬质含金上沉积金刚石膜时.成核密度可达108cm-2.金刚石结晶质量好,刻面轮廓分明.表面已基本成膜。 相似文献
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从金刚石的最大平均切屑厚度和切削力研究了复合基金刚石圆锯片的磨损过程。结果表明:金刚石最大平均切屑厚度为25~60μm,最大平均切削力为3~12N。金刚石参数与切割工艺最佳匹配的计算式为:Vp/Vs.根号ap/ds=0.77(A.B.D^-/λ^-e)^2 相似文献
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用真空双源蒸镀法在Si单晶衬底上制备了Fe,Dy原子数比为3:2的Fe─Dy成分调制多层膜.用AES、RBS、X射线衍射(XRD)以及磁性测量分析了Ar^(+)混合前后Fe─Dy多层膜的相交.Ar^(+)离子注入能量110keV,剂量5×10^(15)─1×10^(17)/cm~2.结果表明,注入剂量为1×10^(17)/cm~2时,Fe,Dy完全混合,并且由晶态的Fe,Dy完全转变为Fe_(60)Dy_(40)(近似于该化学配比)的非晶态合金,随Ar^(+)注入量的增加,Fe一Dy多层膜的M_s下降,在剂量50×10^(15)/cm~2时下降幅度最大。 相似文献
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用真空双源蒸镀法在Si单晶衬底上制备了Fe,Dy原子数比为3:2的Fe─Dy成分调制多层膜.用AES、RBS、X射线衍射(XRD)以及磁性测量分析了Ar~(+)混合前后Fe─Dy多层膜的相交.Ar~(+)离子注入能量110keV,剂量5×10~(15)─1×10~(17)/cm~2.结果表明,注入剂量为1×10~(17)/cm~2时,Fe,Dy完全混合,并且由晶态的Fe,Dy完全转变为Fe_(60)Dy_(40)(近似于该化学配比)的非晶态合金,随Ar~(+)注入量的增加,Fe一Dy多层膜的M_s下降,在剂量50×10~(15)/cm~2时下降幅度最大。 相似文献
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用真空双源蒸镀法在Si单晶衬底上制备了Fe,Dy原子数比为3:2的Fe─Dy成分调制多层膜.用AES、RBS、X射线衍射(XRD)以及磁性测量分析了Ar~(+)混合前后Fe─Dy多层膜的相交.Ar~(+)离子注入能量110keV,剂量5×10~(15)─1×10~(17)/cm~2.结果表明,注入剂量为1×10~(17)/cm~2时,Fe,Dy完全混合,并且由晶态的Fe,Dy完全转变为Fe_(60)Dy_(40)(近似于该化学配比)的非晶态合金,随Ar~(+)注入量的增加,Fe一Dy多层膜的M_s下降,在剂量50×10~(15)/cm~2时下降幅度最大。 相似文献
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Fe—23Cr—5Al合金1000^0C氧化形成的Al2O3膜生长应力研究 总被引:1,自引:0,他引:1
采用一种测定氧化膜生长应力的双面氧化弯曲方法,测量了Fe-23Cr-5Al(Fe-22.6Cr-.42Al-0.21Ti,wt%)合金在1000^0C空气中氧化形成的Al2O3膜的平均生长应力,研究了氧化膜应力释放机制,Al2O3膜的平均生长应力随膜厚增大而减小,其大小从-1GPa数量级变化到-100MPa数量级。基体全金和Al2O3膜在1000^0C时均发生蠕变,合金氧化一定时间后于真空保温退火 相似文献