纳米级精度的线宽测量仪

在大规模集成电路生产中,对掩膜版与硅片刻线宽度的在线检测是保证质量的重要手段。本文介绍了一种高精度,自动化的线宽测量仪。阐述了其原理,构成及设计中有关问题。经实验表明:该仪器的重复测量精度≤±0.005μm;测量精度为±0.02μm.     

火炬计划项目

该装置为油田专用色谱仪和录井仪等气测仪器配套而研制,突出特点是稳压和稳频范围大。保证在油田电源v.f变化大的情况下,仪器可正常运行;不间断时间10min,采用在线逆变式,供电电压低于150V时,转换为蓄电池供电,具有欠压、过压、过流保护及报警功能。输入:电压150～200V,频率40～60Hz;输出:电压220±5％V,频率50±1％Hz,功率1000VA。     

大型甲醇和一氧化碳生产装置在线分析系统的设计和应用

介绍了大型甲醇和一氧化碳生产装置在线分析系统的设计和应用。对仪器选定的评估标准、取样系统设计和制作、在线分析系统安装和投运等问题作了讨论。此在线分析系统已成功投入运行。     

测量激光高反射镜散射率的激光散射仪

本文介绍了激光散射仪的测量原理、仪器结构及测量误差分析。仪器实际测量结果:灵敏度为4×10_(-6),相对测量精度优于±10%。     

基于长光栅旋转测角法的水平测倾仪

理论与实验表明 ,小角度的测量可通过长光栅旋转来实现。建立在傅立叶光学理论基础上的分析与实验结果是一致的。采用本方法制成的精密水平测倾仪 ,其测量范围为± 30′,测量精度为± 1″,最小分辨率为 0 .1″,仪器具有绝对零点 ,示值稳定性为± 0 .3″,为研制高精度、大量程的水平测角仪器进行了有益的探索。     

MAXILAB11型热分析仪在我厂的应用

该厂引进的MaXilab11型热分析仪用于快速测定非合金铸铁的C、Si、Ce,并附有温度测量系统以检测铁水温度。整套仪器主要由记录仪和微处理机组成,具有热分析和快速测温两种功能。用Maxilab11仪器作为炉前快速检测较为理想。热分析计算机随机误差特征温度1/4℃,C小于±0.05％,Si小于±0.1％,记录指示温度±2℃,温度点测误差为数显±3℃,记录仪2℃。文中还根据数据整理得出硅的回归关系式,并附有球铁原铁水和HT20—40铸铁Si校准曲线。     

在线色谱仪技术改造方案

科技的快速发展与创新对分析仪器提出了越来越高的要求,传统实验室用分析检测仪器并不适应现场和在线分析检测要求。结合在线色谱仪改造的现场实际,介绍一种实验室气相色谱仪通过改装系统气路、设计软硬件的方法来实现在线连续取样分析,从而完成了色谱仪的技术改造。     

DCH3—1型红外测距仪

北京光学仪器厂研究成功的符合国家和行业1级精度标准的DCH3-1型红外测距仪,按测距标准偏差规定的精度等级为: 1级仪器优于:±(3mm+2×10~(-6)D) 2级仪器优于:±(5mm+5×10~(-6)D) 3级仪器优于:±(10mm+100×10~(-6)D) DCH3-1型红外测距仪是在DCH3型基础上改型设计的,主要采取以下措施提高     

基准环规检定和传递

内径环规基准件的检定至今仍是一个很伤脑筋的问题 ,因为希望环规的不确定度能保证在± 0 5μm范围内 ,而这样高的精度是很难达到的。表 1列出了在现有水平下测量环规直径所用的仪器及测量方法。表 1　测量环规所用仪器、方法和精度仪器名称规格型号测量方法 仪器精度μm卧式测长仪4J、JD5、JDY -1 0 0T -UIM -5 0 0、ZEISEOPTON绝对测量± (2 +L/1 0 0 )测量仪MUT -1 0 0 0、TJA相对测量± (0 6+9L/1 0 0 0 0 )象点反射比长仪 2 0 0型数字式比长仪直接测量± (0 5 +L/3 0 0 +H/1 0 0 )孔径测量仪 70 1A干涉比较测量± 0 5…     

光谱范围从 365 至 12000nm 的高精度光电自动折射仪

介绍了由作者研制的光谱范围从３６５至１２０００ｎｍ的高精度光电自动折射仪的测量原理、主要误差源和仪器组成。用该仪器对包括红外材料锗在内的多种样品进行了测量,在小于２６００ｎｍ和大于２６００ｎｍ的波长范围内分别获得了优于±３×１０－６和±５×１０－５的折射率测量精度。     

码盘检验仪的研究

码盘检验仪是检测光学编码盘、圆光栅等测角元件各项精度指标的精密测量仪器。本文论述了码盘检验仪研究,设计中的几个主要问题,如精密轴系、光栅基准器等,及提高仪器稳定性的技术措施。同时叙述了仪器精度的鉴定方法。鉴定结果表明:该仪器一次检测的极限误差(±3σ)小于±0.1角秒。     

SZB-1000型悬臂式三座标测量机研制技术的探讨

SZB-1000型悬臂式三座标测量机是我们自行研制的高效率的生产型精密测量仪器。该仪器测量范围为,x向930mm,y向450mm,z向250mm;测量标准器采用每毫米25线的金属反射光栅,分辨率为2μm;各向测量的不确定性±10μm;单点测量重复性小于±1μm。本文就研制该仪器中的某些技术问题作大略介绍。     

光谱范围从365至12000nm的高精度光电自动折射仪

介绍了由作者研制的光谱范围从365至12000nm的高精度光电自动折射仪的测量原理、主要误差源和仪器组成。用该仪器对包括红外材料锗在内的多种样品进行了测量,在小于2600nm和大于2600nm的波长范围内分别获得了优于±3×10^-6和±5×10^-5的折射率测量精度。     

焊条偏心质量的检测与控制技术

介绍一种基于电涡流位移计作为信号拾取元件 ,以 80 31单片机为中心检测单元的焊条偏心检测仪。该仪器适用于各种材质不同规格电焊条的偏心测量 ,其精度可达± 0 0 0 8mm。为适应焊条快节拍生产的要求 ,本文还提出了一种焊条偏心的在线动态检测方案。     

901—PA微电流伏安仪的研制

本文介绍高灵敏度多功能的901—PA分析仪。该仪器采用国产静电计管作微电流检出元件,设有高度的稳零电路。最小检测电流为0.1PA,漂移±2mV/hr,扫描范围为±5V,且具有多阶半微分功能,适合于电分析化学中的微电极研究。     

长光栅旋转测角法的研究

本文介绍了一种长光栅副相对旋转测角的新技术。建立在付立叶光学理论基础上的分析与实验结果是一致的。采用本方法与现代微机技术相结合,可以用非常简单的结构实现对小角度的高精度测量。仪器测量范围为±30′,测量精度为±0.5″。     

手持式测碘仪

研制了一种动态线性范围宽、灵敏度高、结构简单、耗电量低的手持式测碘仪。开发了测碘专用试剂包 ,建立了现场取样测定食盐中碘含量的方法。测定碘的线性范围是 0～ 3mg/L ,每个样品的测定时间为 3min ,测定碘盐时定量精度为± 4%～± 6 % ;测定碘化水药品、水和污水时精度为± 0 2 %～± 2 %。手持式测碘仪可用于食盐、药品、废水等样品中碘的现场测定。     

D712仪器结构的改进

本文针对目前国内轴承行业测试仪器精度较差的情况,提出了对D712仪器进行结构改进。 改进后的仪器经分析总误差约±0.39μm,满足了检测D级圆锥滚子轴承外圈滚道角度差的要求。附图5幅,参考文献4篇。     

产品介绍

该仪器是由英国国家物理研究所设计的,它主要由一水平正弦棒构成,围绕其支承可以在水平面里转动。正弦棒自由端的移动可借测微计或块规来实现。在正弦臂上装有一个垂直的平面镜,而平面镜则用一个自准直平行光管来观察。仪器的工作范圈达5°,精度为±0.5”(用块规)或±1”(用     

新型激光光散射仪的设计

本文叙述了新型激光光散射仪的设计思想、原理及总体,并对仪器的主要部分,如光系、测角计、试样台及光电转换检测体系等的设计分别进行了说明和讨论。仪器所具有的角分辨率为0.02°(小角度区域),0.09°(中角度区域)和0.5°(大角度区域)。时间分辨率最高为0.0002秒。散射角扫描范围为0～±70°,方位角扫描范围为0～360°,试样可倾斜范围为0～±22°。