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一、概述 油增压泵是用来获得10-2~10-3乇压力的主要真空泵之一,它也可以做为油扩散泵的前级真空泵。这种泵的极限真空约为10-4乇。在10-2~10-3乇内有较高的抽气速率(泵口单位面积抽速为2.5~3.5升/秒·厘米2),当泵口压力再增加时,虽抽气速率有所下降,但抽气量却有一定的增加。因为油增压泵在10-1~10-3乇内工作,所以相同口径的油增压泵的抽气量是油扩散泵的几十倍。它的最大反压力一般为1~6乇。油增压泵的另外一些特点是当前级管路压力不超过泵的最大反压力时,有不变的抽气特性和对氢气有较空气为高的抽速以及结构简单,易于制造和操作简… 相似文献
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阐述了喷射真空泵的基本原理及特点,介绍了喷射真空泵结构及在膨化硝铵炸药生产中的研究应用发展状况。针对传统的射流真空泵和新研制的喷射真空泵性能进行对比分析,提出了改变传统设计思路,提高喷射泵效率的有效途径。结果表明,同射流泵相比,喷射真空泵抽气速率从462m3/h升至653m3/h,噪音从96dB降至88dB,能耗降低40.5%。 相似文献
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随着国民经济、科学技术、新兴工业的飞跃发展,要求真空技术也相应发展。对于量大面广的2X型旋片式真空泵要求体积小、重量轻、寿命长的愿望日益迫切,这不仅有技术意义,而且更有经济价值。因此我们在不改变泵体、转子和与抽气速率有关的几何尺寸下,也不改变泵的结构,对2X—4型以下的小型旋片式真空系进行了提高转速的试验。 泵提高转速后,几个重要的性能指标应该达到: 1.极限真空不低于 5 × 10-4(乇)。 2.温升不超过40℃。 3.抽气速率与泵的转速成正比。 现在通过我们在试验中得出的一些数据,谈一谈对2X型旋片式真空泵提高转速后,在极限… 相似文献
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W.Armbruster 《真空》1965,(1)
近年来罗茨真空泵在真空技术中[1]日益得到重用。它的主要应用范围是在中真空区域。罗茨真空泵弥补了在这一个压强范围内原有真空泵的缺陷,即在这一个压强范围内回转式油封真空泵的抽气速率下降很快,但另一方面在这一个压强范围内扩散泵却又达不到它的最高抽气速率。自然,除此之外罗茨真空泵还用在“粗”真空的某些方面;主要是应用来减少大量的预真空抽气装置。在这种情况下,采用罗茨家真空泵抽气装置要比使用极其庞大的机械 转真空泵经济得多。对于某些在真空中进行的工艺来说,采用这样一个庞大的预真空装置是不必要的。所以用于生产优质… 相似文献
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非蒸散型吸气剂泵(NEG)是采用过渡族金属材料的吸气特性制作成的真空泵,用于超高/极高真空环境的获得及气体的纯化等方面。本文研制出吸气剂泵性能测试系统,研究了非蒸散型吸气剂泵对N_(2)气的抽气特性,分析了影响抽气性能的因素。研制的系统采用标准流量抽速测试方法,采用固定流导法流量计提供(10^(-5)~10^(-8))Pam^(3)/s的标准气体流量,可在测试罩内获得(10^(-2)~10^(-5))Pa的气体压力下实现抽速测试。实验结果表明,NEG泵激活后处于最佳抽气状态,当抽速下降之后可在超高真空条件下放置一段时间将抽速恢复至初始状态,但泵的整体抽气性能发生一定变化;当泵连续抽气时,抽速随着吸气量的增大而逐渐减小,随着泵抽气压力的增大而减小。 相似文献
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一、序言 涡轮分子泵是一种获得洁净真空的现代真空设备。它具有较大的抽气速率,能获得10~(-11)托的超高真空度,因此它在有些场合逐渐取代油扩散泵,在真空领域中获得日益广泛的应用。其主要领域是:集成电路、显像管、χ线管、真空镀膜、核聚变和质子加速器等。 涡轮分子泵(以下简称分子泵)技术的进步,除与泵体设计、加工技术、轴承精度等有关外,分子泵润滑油的质量也是不可忽视的一个环节。随着分子泵本身性能不断提高,如转速由几千转/分提高到九万转/分,抽气速率由几升到几百升/秒扩展到几升至九千升/秒,极限压强由10~(-9)托提高到10-“… 相似文献
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《真空》1964,(2)
一、总则 1.适用范围: 这一试验方法适用于油蒸汽扩散泵以及由该种泵组成的机组。 2.试验项目: ( 1)极限真空; (2)抽气速率; (3)排气压强; (4)返油率。 3.试验条件: (1)试验时周围环境没有较大的空气流动。没有震动和温度力:20℃±5℃ (2)被试泵的加热、冷却以及工作液体均应符合要求。 ( 3 ) 前级泵应满足被试泵的排气压强以及抽气量的要求。 (4)正个系统的漏气率L(毫米汞柱·升/秒)应为: L≤S. 10-7(毫米汞柱· 升/秒), 式中:S-被试泵名又抽气速率。 二、试验装置 4·试验用真空系统如图1所示,由试验罩、散流器、集油器、流量装置、前级… 相似文献
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一、常规型质谱检漏仪的发展真空检漏技术中,唯有氦质谱检漏仪灵敏度最高。广泛采用,发展较快亦较成熟。早在四十年代其检漏灵敏度为10~(-8)托·升/秒,到五十年代末达10~(-13)~10~(-14)托·升/秒。国内在六十年代以来分别研制的氦质谱检漏仪以及国外绝大部分质谱检漏仪新产品均属常规形式(见附表1、表2)。被检漏件与节流阀相连,由辅助机械泵完成粗抽。检漏时节流阀徐徐打开,调至质谱室允许的工作压强,质谱室真空由扩散泵抽气。为提高系统的真空度和质谱室少受沾污,一般加有液氮冷阱,前级有机械真空泵以及必要的一些辅助的旁路或 相似文献
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本文介绍了旁通阀罗茨真空泵的结构特征、在使用中的作用。综述了该泵的极限压力,抽气速率、零流量压缩比、最大允许压差、噪声等性能的测量方法和测试过程。所选用的测量仪器及在测试过程中应注意的几个问题,文中对此也进行了详细的探讨。为旁通阀罗茨真空泵正确进行各项性能测量、可起到参考作用。 相似文献
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朱同庆 《真空科学与技术学报》1985,(2)
一、JK系列高真空抽气机组的特性一般它是由2X系列旋片真空泵作前级泵,用K系列高真空油扩散泵作主泵,并配有高真空蝶阀和低真空阀等。从这两种泵的抽气特性可看到,油扩散泵的工作压强为l0~(-4)~l0~(-6)托,最佳工作压强在5×10~(-4)~10~(-6)托;旋片真空泵的工作压强在760~10~(-2)托,最佳工作压强在760~10~(-1)托。以JK-150真空机组为例,它配的前级泵为2X-4,油扩散泵为K-150。分别绘出它们的抽气特性曲线。从特性曲线看到,JK系列真空机组 相似文献
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《真空科学与技术学报》2019,(3)
全干式机械真空泵正以其出色的节能环保效果越来越多的在冶金行业炼钢厂真空精炼工艺中得到应用。本文正是利用自主研发的与真空循环脱气工艺(RH)真空精炼过程相结合的RH用机械真空泵抽气过程计算机仿真程序,研究了4级串联式全干式机械真空泵方案中,真空主阀前后设备及管道容积、各级真空泵泵间管道容积、各级真空泵(罗茨泵和螺杆泵)的不同抽气能力、系统漏气量等因素对RH机械真空泵抽气过程的影响,为不同RH吨位或RH真空精炼工艺条件下,机械真空泵系统的设计和研究打下坚实的基础。 相似文献
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第三讲:机械真空泵(二)张以忱(东北大学)四、油封式旋转机械真空泵(一)油封机械真空泵工作原理用油来保持运动部件的密封、靠泵腔容积变化而实现抽气的机械真空泵统称油外机械真空泵。它们的工作原理都是使泵腔工作室容积机械地增大和缩小而抽气。当泵腔内工作室容... 相似文献