石英晶体传感器特征阻尼理论的实验验证

本文发展了石英晶体传感器的特征阻尼理论，引入特征阻尼向量和特征阻尼角来分析石英晶体传感器在表现负载发生各种变化时的输出响应，通过研究ＮａＣｌ溶液在石英晶体电极表面的蒸发过程和沉积于电极表面的固体ＮａＣｌ在高湿环境中的潮解过程，直接观察了石英晶体传感器在质量负载和液体阻尼负载相互转变过程中的谐振频率和振荡幅值的变化情况，实验结果证明了特征阻尼理论的正确性。     

切变振动型石英晶体谐振器的特点及其应用

根据石英晶体的压电方程和晶体振动理论,研究了AT-切石英晶体厚度切变振动模式下振动频率与结构参数间的关系,以及石英晶体谐振器在电极区形成稳衡驻波的频率条件及电极区外波的传播特性。试验表明,根据本文研究结果设计的石英晶体谐振器,其力敏特性基本与晶体边缘的固接方式无关,利用这种结构形式的石英谐振器作力敏元件用于姿态检测时,检测分辨率可达0.001°,短期频率稳定性达到1.38×10-10/min。     

石英晶体传感器及其应用

扼要介绍石英晶体传感器的结构、原理、性能及用途.     

不同表面处理对石英晶体传感器频移响应的影响

液相环境下振荡的压电石英晶体传感器的谐振频移主要受液体性质和表面质量负载的影响。通过压电石英晶体传感器在液体粘度测量中，对不同表面粗糙度和亲和性的晶体谐振频移的实验。结果表明，晶体的不同表面性质对传感器的频移响应存在较大的影响。就液体粘度测量的灵敏度和准确性而言，经紫外照射处理的聚苯乙烯涂层石英晶体的传感器性能最佳。     

双旋Y切石英振子厚度模式的频温特性的研究

本文利用描述固体中弹性声波的克里斯托费尔方程,建立了双旋Y切石英振子厚度模式的频温特性分析方法,并编制了相应的计算机程序。该程序可给出双旋Y切石英振子在任意切角(ф_3ф_1)下的厚度模(a、b、c模)的频率温度特性曲线。文中给出了单旋AT切、BT切(b模)、双旋SC切(b、c模)、FC切、IT切、LC切、NL_1切、NL_2切、AK切等各已知切型的频温特性曲线。对石英谐振器的切角灵敏度和切角误差进行了分析。     

表面物理性吸附与石英晶体湿度传感器性能的研究

本文针对带有吸湿性涂层的石英晶体谐振器的研究，提出了一种三层结构的力学模型，并在此基础上导出了谐振器频偏量与表面吸附量间的关系公式。实验证明该公式更好地反映了表面吸附与湿敏特性的关系。对于其它石英晶体谐振式气敏及离子敏传感器，该公式也具有相当的实用意义。     

Mn-Cu系阻尼合金在遥感器结构设计中的应用

Mn-Cu系阻尼合金具有优良的综合机械性能,作为工程材料在许多领域得到了应用。本文介绍了Mn-Cu系阻尼合金的国内外发展状况,说明了Mn-Cu系阻尼合金的阻尼机制,简述了Mn-Cu系阻尼合金的阻尼特性、力学性能和热处理方法。在分析遥感器结构设计中材料要求的基础上,对Mn-Cu系阻尼合金在遥感器结构设计中应用的可行性进行了分析论述。结果表明,Mn-Cu系阻尼合金作为结构减振材料,在遥感器结构设计中可以得到应用。     

多通道石英微天平振动耦合分析

应用明德林的二维压电板理论，用有限元方法求解并分析了两圆形石英晶体微天平(MQCM)的设计参数对频率耦合的影响。通过选取合适的尺寸设计参数，可有效地使两圆形石英晶体微天平(QCM)的耦合减少到最小，指出振动耦合现象的产生是由一谐振元的基模能与另一谐振元的泛音模发生强烈耦合引起的；提出了优化设计MQCM的建议。     

晶振膜厚监控技术中Tooling Factor的精确标定

晶振监控法是一种实现非规整膜系监控的重要手段。在晶振监控中,晶振片与镀膜基片上沉积薄膜厚度的比值,即Tooling Factor是相对固定的。采用晶振监控法实现薄膜厚度的精确控制必须对Tooling Factor进行精确标定。本文提出了精确标定Tooling Factor的方法,并对这种方法进行了实验验证。结果表明,该方法能够将膜厚控制误差从～20%降低到6%的水平,从而使多层膜的反射率曲线更加接近设计结果,实现多层膜膜厚的精确控制。     

再结晶技术对压电石英晶体质量的影响

压电石英元器件正向高频、小型化、片式化等方向发展，对石英晶体材料的品质提出了更高的要求。该文根据再结晶原理，利用水热法对压电石英晶体进行了一、二和三次结晶，分别测量了三次结晶引起的Q值、包裹体和腐蚀隧道变化，分析和讨论了籽晶、杂质和工艺条件对晶体质量的影响。报道了生长这种高质量压电石英晶体的主要条件。     

石英晶体谐振器生产工艺流程综述

本文主要介绍石英晶体谐振器生产线生产工艺，并对Ｕｍ－５微小型石英晶体谐振器的应用情况作了简要说明。     

光子晶体光纤光栅在生物和化学传感器领域研究进展

在介绍长周期光纤光栅(LPFG)传感应用的基础上,讨论了长周期光子晶体光纤光栅(PCF-LPG)的主要应用及其最新的进展.从光子晶体光纤(PCF)结构特性出发,讨论了长周期光子晶体光纤光栅的工作原理、理论模型、分析方法、写入方法以及其在生物化学传感方面的最新应用.展望了长周期光纤光栅在生物化学传感领域的应用.     

谐振式力传感器对其晶振频率稳定度的要求

为了寻找石英晶振频率稳定度对传感器影响的判据,根据石英谐振式力传感器的灵敏度阈值和量程与晶体的相关常数及结构参数间的关系,导出了反映谐振式力传感器研究水平的指标参数与晶体结构参数及晶振频率稳定度之间的关系式,为传感器的研究提供了依据。例如,欲制作量程阈值比达到105量级的传感器,所用晶振的频率稳定度必须优于108。