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不同壳厚聚苯乙烯/氧化铈复合磨料的合成及其抛光特性 总被引:1,自引:0,他引:1
以表面带负电荷的聚苯乙烯(Polystyrene,PS)微球为内核,采用液相工艺合成不同壳厚的聚苯乙烯/氧化铈(PS/Ce02)核壳包覆结构复合磨料,并用透射电子显微镜、场发射扫描电子显微镜、激光拉曼(Raman)光谱仪、热重示差扫描量热仪和动态光散射仪等手段对样品进行表征.用原子力显微镜观察和测量抛光表面的微观形貌、轮廓及粗糙度,考察复合磨料壳厚对硅晶片热氧化层抛光性能的影响.结果表明,所制备的PS/Ce02复合磨料呈规则球形,粒径在200~250 nm,壳厚在10~30nm.化学机械抛光结果显示,PS/CeO2复合磨料对硅晶片热氧化层表现出良好的抛光特性,且复合磨料壳厚对抛光表面粗糙度和材料去除率具有较大影响.经壳厚为20 nm的复合磨料抛光后晶片表面在5μm×5 μm范围内粗糙度平均值和方均根值分别为0.196 nm和0.254 nm,材料去除率为568.2 nm/min. 相似文献
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介绍一种透镜高速抛光中与聚氨基甲酸乙酯抛光模相匹配的高纯氧化铈,着重阐述烧制处理、添加剂对其抛光效率的影响以及回收工艺。 相似文献
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基于现有焊条性能的特点,针对典型低合金钢焊条(E5515型焊条)当焊接碳当量CE>0.4%的中、高碳钢时,焊接性较差的问题,在新型低合金钢焊条药皮配方开发研制中采取药皮过渡微量的稀土氧化物.通过冲击韧度、拉伸、硬度和金相等试验研究氧化铈对低合金钢焊条熔敷金属力学性能影响和组织的影响,利用扫描电子显微镜对显微组织进行观察分析,用X射线能谱仪进行能谱分析.分析研究结果表明,加入适量的稀土氧化物能够细化熔敷金属显微组织,提高熔敷金属的冲击韧度:稀土能降低熔敷金属中的氢,从而显著降低钢的脆性转变温度.当氧化铈加入量最佳时,熔敷金属的抗拉强度提高了43.27%,屈服强度提高了52.11%,冲击韧度提高了26.49%,而硬度却不下降. 相似文献
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采用不同浓度的三乙醇胺研磨液研磨石英晶体,基于研磨垫磨损率和工件与研磨垫的磨损比,分析了三乙醇胺浓度对石英晶体的去除率及其去除稳定性、研磨垫磨损率、磨损比、研磨摩擦系数、声发射信号和研磨后表面质量的影响。结果表明:随着三乙醇胺浓度的增加,工件与研磨垫磨损比先增大后减小,石英晶体的材料去除率和去除稳定性也对应地先增大后减小,摩擦系数先减小后增大,声发射信号先增加后减小,研磨后工件表面质量先变好后变差。当三乙醇胺浓度为5%时,石英晶体的材料去除率最大,去除率随时间变化最稳定,研磨垫使用寿命最长,表面质量最好。结果表明:研磨液中添加适量的三乙醇胺,会稳定石英晶体加工过程,延长研磨垫使用寿命,提高工件表面质量,降低生产成本。 相似文献
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以乙醇为溶剂及表面活性剂,以氨水为催化剂,利用正硅酸乙酯的水解得到氧化硅颗粒,并分析乙醇质量92%时制备的氧化硅颗粒呈球形,粒径分布均匀,表面光滑,呈单分散状态;乙醇质量分数为96%时制备的氧化硅颗粒粒径分布范围大,并且小颗粒团聚一体,聚集到大颗粒上.基于理想的氧化硅颗粒,利用化学沉淀法制备CeO2/SiO2复合磨料,并通过透射电子显微镜(TEM)及X射线衍射仪(XRD)对制备的样品进行表征.结果表明,制备的CeO 2/SiO2复合磨料为球形,粒径为150分数对制备的氧化硅颗粒以及氧化铈/氧化硅复合磨料分散性的影响.结果表明:水解体系中乙醇质量分数为71%时制备的氧化硅颗粒基本呈球形,粒径分布范围大,呈少量单分散状态;乙醇质量分数为~250 n m ,具有草莓状核壳的包覆结构,作为抛光磨料可以提高抛光表面质量. 相似文献
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本文简明报道了氩离子刻蚀XPS深度剖析中氩离子诱发的二氧化铈还原反应现象及其随离子刻蚀时间的变化规律,并对其机理进行了讨论分析。 相似文献
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KUO Yulin LEE Chiapyng CHEN Yongsiou SU Yuming LIANG Hsuang 《机械工程学报(英文版)》2009,22(3):384-389
Metal oxide films prepared by thin film technology have been reported for the potential applications on thin solid electrolyte layers for solid oxide fuel cells(SOFCs). Gadolinia-doped ceria(GDC) thin films and Al2O3 layers on SiO2/Si substrates are successively deposited by RF reactive magnetron sputtering from a cerium-gadolinium (90:10 at.%) alloy target and Al target in O2/Ar gas mixture and then perform post-thermal treatments at 300-700 ℃ and 900 ℃ for 2 h, respectively. Materials characteristics and chemical compositions of GDC films and Al2O3 layers are investigated by X-ray photoelectron spectroscopy(XPS), cross-sectional scanning electron microscopy(SEM), X-ray diffraction(XRD), and atomic force microscopy(AFM). Stoichiometric Al2O3 layers with polycrystalline structures are firstly prepared onto SiO2/Si substrates. A cubic fluorite structure with columnar crystallites of GDC films is successfully deposited on Al2O3/SiO2/Si systems. The chemical composition of 700 ℃-annealed GDC films is (Ce0.91Gd0.09)O1.94 and possesses a higher film density of 7.257 g/cm3. As a result, GDC thin films prepared by RF reactive magnetron sputtering and post-thermal treatments can be used as thin solid electrolyte layers for intermediate temperature SOFCs system as compared to the well-known yttria-stabilized zirconia(YSZ). 相似文献
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An attempt has been made to understand why testing involving abradant particles leads to inconsistent results, despite identical test conditions. The work undertaken involved experiments on a rubber wheel abrasion tester (RWAT), and found comminution of the abradant to be the omitted factor: careful examination of the abradant particles after each test revealed that, even for the lowest load, the particles did not remain unbroken. The results obtained showed that at least part of the variation between tests carried out under nominally identical conditions can therefore be ascribed to ignoring the effects of size reduction. The paper concludes by recommending some changes in standard procedure. 相似文献
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本文测定了目前广泛使用的联苯类、酯类和苯基环已烷类三类液晶数十种化合物的电子轰击质谱,讨论了它们的裂解机理和共同质谱特征,为液晶结构鉴定提供了依据。 相似文献
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