MEMS电容式湿度传感器后处理工艺研究

利用标准CMOS工艺结合MEMS后处理制得一种梳齿状结构的电容型湿度传感器.这种湿度传感器采用聚酰亚胺(PI)作为感湿介质.实验研究了聚酰亚胺薄膜的厚度和固化条件对湿度传感器敏感性能的影响,结果显示:聚酰亚胺薄膜厚度为2.4μm,采用阶梯升温加热法,并以250℃作为最高固化温度时,测量结果表明该湿度传感器具有优异的敏感...     

新型电容式蒸汽湿度传感器结构设计

针对高温高压湿蒸汽的湿度测量难度大、准确度低的难点,根据蒸汽与水的介电常数差异较大的特点,利用电容法测量湿度的原理,设计了一种同轴式圆筒形电容式传感器,可实现蒸汽湿度的在线测量。利用集成定时器NE555芯片,设计了外部测量电路对湿度信号进行测量,测量电路将电容量的变化转换成频率值,通过输出频率来反映蒸汽湿度。经标定后,该传感器既可直接测量气体的湿度,又可测量固体的水分含量。     

基于Fluent的双加热湿度传感器传热性能分析

双加热湿度传感器可实现大气湿度连续探测.液滴、冰晶等水凝物覆盖在双加热湿度传感器表面,容易导致其测量精度和响应速度降低.为了提高测量精度和响应速度,有必要对双加热湿度传感器进行除湿处理.采用Pro/E建立4种尺寸的双加热湿度传感器三维模型;利用ICEM CFD中模块化的方法对模型进行分网,得到了较高的网格质量,降低了计算时间,提高了计算精度;利用Fluent稳态分析模拟出2只湿度传感器不同间距下的相互影响情况,瞬态分析模拟出升温时间和降温时间特性.根据仿真结果,提出高空和低空2种模式加热策略.     

双加热湿度传感器的CFD分析与加热策略设计

探空气象观测中湿度传感器表面结冰、结霜等污染物会降低其测量精度,双加热湿度传感器为该问题的解决提供了可能。为了实现对双加热湿度传感器加热策略进行优化设计,必须研究其稳态及瞬态工作状况。本文采用计算流体动力学(CFD)方法针对测量周期的四个阶段进行了优化设计。利用稳态分析模拟出两个湿度传感器不同间距下的相互影响情况。利用瞬态分析模拟出升温时间和冷却时间特性。传感器测量周期随气压不同在45 s～145 s之间变化。在探空仪上升速度为6 m/s的条件下,两个传感器之间的距离不小于3 mm时,两者互不影响。提出高空和低空两种模式加热策略,分别采用温度降幅为40℃和46℃的测量周期。     

基于双悬臂梁结构的应变测量传感器研究

在研究各种工程结构实际受力状态时,必须测量构件上关键部位的应变值,常用的方法是采用应变片,但其测量值受环境温度和湿度影响较大.本文分析了双悬臂梁结构的工作特性,从理论上证明了这种结构用于制作应变测量传感器的可行性与优点,研制出了基于双悬臂梁结构的应变测量传感器,给出了标定试验和混凝土棱柱体试件对比试验结果.实测数据表明,该应变传感器输出数据线性关系好,最大线性误差0.25%;测量数据重复性好,最大误差0.28%.该传感器可广泛应用于各种建筑物构件的应变测量,也可用于大型金属构件的应变测量.     

一种双电容式料位传感器

采用双电容器的结构设计了一种新型双电容式料位传感器。传感器结构简单,安装灵活,可工作在恶劣的环境中,可减小因温度和湿度造成的测量误差,可减小分布电容和寄生电容对测量结果的影响,不仅适用于金属容器,也适用于非金属容器的料位测量。     

光纤光栅传感器技术及其在电力系统中的应用

在分析Bragg光纤光栅和长周期光纤光栅传感测试技术工作原理的基础上,系统总结了光纤光栅传感器在电力系统中的应用.对光纤光栅传感技术在电力电缆监测、汽轮机内部湿度场监测、高压开关柜隔离触头温度监测、线圈绕组温度监测、风力发电机叶片的监测及发电机绕组端部的振动测量几个方面的应用做了具体的阐述和实用价值的分析,本文还提出了基于磁致伸缩材料GMM的光纤光栅电流传感器的测量模型,理论计算灵敏度达到了0.0888nm/A.     

环境温湿度检测系统设计

设计一款数字式温湿度检测仪,可用于日常环境中的温、湿度的测量与记录.系统以MSP430F2232为核心,利用单片全校准数字式相对温、湿度传感器SHT15检测温/湿度,利用电擦写式只读存储器24LC512作为存储元件.系统可完成温、湿度的测量和记录,同时还可以记录对应的日期与时间,并通过液晶屏显示温、湿度数据及其变化曲线.利用VC语言开发的温、湿度数据接收软件还可以把数据传送到PC机,便于对这些数据进行分析和对比.系统预留有扩展口,以便于更新和升级.     

锅炉蒸汽的湿度及流量的测量

本文介绍一种采用物态转换来测量锅炉蒸汽湿度的方法,并对该方法进行了较详细的运算和分析,进而在湿度测量的基础上探讨了湿蒸汽流量的测量,力图得到更好的结果。     

基于电涡流传感器测量汽轮机转速的研究

电涡流传感器是基于电涡流效应工作的一种传感器,具有可靠性好、灵敏度高、响应速度快等特点.首先探讨了电涡流传感器的工作原理,随后介绍了用电涡流传感器测量汽轮机转速的方法,最后分析了测量时引起的误差及对策.通过实时的监测汽轮机转速,确保发电机组安全运行.