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本文概要地比较了扫描电镜和电子束曝光机二者电子光学柱的异同。介绍了把一台ＡＭＲＡＹ系列电镜的电子光柱改造成ＤＹ－５型电子束暴光机电子光学柱所做的工作，最后给 一组试验结果。 相似文献
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激光工件台是电子束曝光机关键部件之一，它主要功能是完成图形的拼接，本文描述了双频激光干涉仪，计算机控制的数字伺服系统以及真空条件下的ｘ－ｙ工件台，该系统用于亚微米圆形矢量扫描电子束曝光机中。 相似文献
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本文论述了系统的真空度、清洁度对热阴极电子发射、电子光学系统性能的影响及污染物的来源。同时也介绍了为提高整个系统的真空度和清洁度而采取的措施‘及其实验结果。 相似文献
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本文简要介绍了ＪＢＸ－６Ⅱ电子束曝光机用计算机控制系统的改进，升级情况。文章首先对控制系统作了简单分析，从提高系统工作的稳定性与可靠性出发，进而叙述了更新硬盘的技术问题以及对操作系统的升级，并给出了生成操作系统过程中数据分区实例。 相似文献
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正在研究的激光定位吊装结构工作台系统是电子束曝光要贩主要组成部分。本文概述了工作台吊装结构的特点，用有限法元建立了吊装结构的三维实体力学模型，在理论上对其进行了静态特性的分析与计算，并用激光散斑法进行了实验验证，设计了工作装配与调试的工艺支。理论计算和实验分析充分证明工作台吊装结构能够满足电子束曝光机工作台亚微米定位精度的要求，具有独特的优越性。 相似文献
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本文简要介绍了一种矩形电子束曝光机图形转换软件的结构、工作原理和工作过程，在此前提下，根据这套软件的实际工作情况简要介绍了使用该软件的具体方法，并对使用该软件对容易遇到的困难和一些应注意的细节做了清楚的说明，此外还简略说明了作者对该软件所做的几处修改。 相似文献
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在电子束曝光系统中,背散射电子检测器是重要部件之一。本文简要地介绍了该装置的工作原理、功能及检测系统概况,并给出了多种应用举例。 相似文献
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本文采用最小二乘法进行曲线拟合的技术,推导出拟合直线的计算公式。该公式通过编程软件应用于电子束制版自动对准工作中,它对提高对准用各校正量的计算精度起了关键作用,进而提高了圆形电子束曝光机的制版精度。对于通过离散点需要拟合成直线的场合,该算法具有普遍的意义。 相似文献
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本Ｅｅ－ＢＥＳ－４０Ａ电子束曝光机是电工所引进美国Ｖａｒｉａｎ公司的二手设备。本文主要介绍该机的无油超高真空系统的故障诊断技术，及其排除方法，其中，应用了“压强上升率法”，以及氦质谱检漏仪的新型检漏技术－－“逆扩散”技术，最终达到了所要求的超高真空，同时，找到了一套适用于无油真空系统的故障诊断方法。 相似文献
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由中科电气电子束部研制的ＥＢＷ－４Ｇ系列电子束焊机是适应大批量连续生产要求的齿轮专用电子束焊机。自１９８６年问世以来，已在十多个单位得到应用，获得了良好的经济效益和社会效益。本文对ＥＢＷ－４Ｇ系列焊机的技术发展作一简单介绍。 相似文献
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1CA－06型微量水分测试仪测定原理CA-06型分析仪是日本三菱化学株式会社生产的KarlFischer滴定法（也称库仑电量法）微量水分测定仪，其主要特点是整个分析操作过程简单、快速，具有很强的自诊断功能及自动分析功能，司与个人电脑相连执行分析数据的控制处理。在发电厂中主要用于变压器绝缘油或发电机密封油中微量水分的监测。测定原理是：当被测试油中的水分进入电解液——卡尔·费体试剂（简称卡氏试剂）后，在吡啶和甲醇的存在下，碘被二氧化硫还原而生成氢碘酸和甲基硫酸氢毗咬，其反应式如下：从（1）和（2）反应式中可看出，起反应… 相似文献
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介绍了根据用户特殊需要,对DW5—10G型柱上多油断路器加装电控分、合闸装置的具体方法。仅需加装几个小部件,即可收到实用的效果。 相似文献
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为了提高２００ＭＷ机组锅炉的深度调峰能力,根据调研结果进行综合分析,采用了浙江大学直流可调煤粉浓淡稳燃技术及回流区大小可调节技术对燃烧器进行了低负荷稳燃改造。改造后其不投油稳燃试验负荷达到了４５％,大大提高了锅炉的深度调峰能力。 相似文献