长度光栅测量系统的误差修正技术

长度测量技术是近几年工程建设、工业生产等领域研究最多的问题,其测量系统分辨率早已经达到微米、亚微米乃至纳米等级。本文就长度光栅测量工作中出现的误差来源分析,简单的阐述了有关误差修正技术,仅供同行工作参考。     

光栅位移测量系统的误差自修正方法研究

文中介绍的误差自修正方法是通过光栅位移测量系统中单片机对光栅传感器的多个零位信号进行计数,并根据测量值和系统设定值得到的误差函数自动进行误差修正.实验结果表明,该方法对光栅位移测量系统的误差既可自动进行有效的修正,又可提高系统的测量精度.     

光栅式长度仪表示值误差检定系统

介绍了光栅式长度仪表示值误差检定系统的基本工作原理以及关键技术的解决。本系统具有测量精度高、重复性好、智能化、操作简单、用户可自由扩展等优点。     

光栅纳米测量中的系统误差修正技术研究

详细研究了光栅纳米测量系统的误差特性 ,以及利用激光干涉仪对高精度光栅测量系统的系统误差进行检测、并在信号处理中予以补偿和修正的方法。实验表明 ,通过这种系统误差修正方法对周期累计误差和细分误差同时进行修正 ,能够大幅度地将计量光栅系统的测量准确度从微米或亚微米量级提高到纳米级水平 ,以实现光栅纳米测量。     

长光栅测量系统误差修正方法

针对长光栅测量系统的误差特点提出了一种实用的综合修正方法.通过光电显微镜、线纹尺、数据拟合工具将光栅位移长度溯源到激光波长.提出的误差修正方法简单、实用、修正精度高.对于三坐标测量机、测长机等精密线位移平台都具有借鉴和参考价值.     

常用长度计量仪器误差与测量过程误差（七）

２．在１９Ｊ型万工显上对螺纹中径的测量误差目前在万工显上可用轴切法和影象法测量螺纹中径,两种方法各有优点,本文将简述其测量过程的误差分析。（１）用轴切法测量螺纹中径时的测量误差１）仪器玻璃刻尺的分划误差δ１δ１＝（１＋Ｌ／２００）（μｍ）２）对准显微...     

光栅信号非正弦性引起的细分误差

本文分析了当莫尔条纹光电信号中含有三次谐波分量时，存在的细分移相偏差角，并讨论了由此而引起的测量长度的最大偏差及其对细分数的影响。     

误差修正在时间自动测量系统中的应用

引言近年来 ,计算机自动测量系统在时间测量中已得到广泛应用 ,这为测量数据的转化处理提供了方便。本文要介绍的是如何将低准确度但稳定性较好的晶体振荡器处理成较高准确度的方法。这类晶振包括 1长时间使用后 ,准确度可调受到限制的晶振 ;2因制作原因 ,为保持高稳定性而可调范围较窄的晶振 ;3短时 (四小时内 )使用且波动性好的专业测量仪器中的晶振。1　误差修正方法以改造的一台测时仪为例 ,如图 1所示。图 1第一步 ,对测时仪 M3校准 ,可得到此测时仪的晶振准确度 A,将 1 -A保存在计算机中 ,以作修正用。过程如下 :如图 1 ,一台带有微…     

高精度光栅测长机校准及不确定度分析

本文论述了测长机和测长仪的区别,高精度光栅测长机应归于测长仪类,适用于JJF 1189-2008《测长仪校准规范》.校准高精度光栅测长机,需严格控制环境温度,测量小尺寸量块需考虑两球形测头不同心引入的误差,测量内尺寸以两环规直径差作为标准值,测得值可用平均值代替最大值,分析了二等量块校准光栅测长机外尺寸示值误差的测量不...     

高精密角度分度测量控制系统的研究

研制并开发了用于角度标定的高精密角度分度装置及其测量控制系统,装置采用永磁直流力矩电机驱动精密轴系主轴的运转来带动分度盘的转动,以圆光栅测量系统检测主轴的转动角度,为了实现角度的零误差分度定位控制,转动角度的分度控制采用了闭环自动控制系统。研究分析了圆光栅测量信号处理中信号细分形成的系统非线性误差对装置分度精度的影响,建立了误差修正模型,通过误差补偿,系统在±5°的角度测量范围内分度控制精度达到±0.2″。     

关节坐标测量机研制中圆光栅误差修正技术

介绍了关节坐标测量机原理、组成,并对其进行了误差分析.从理论上分析了圆光栅安装偏心误差对测量结果的影响,介绍了圆光栅分度误差测量方法,并采用非线性拟合的方法对该项误差进行了修正.     

工业CT长度测量误差校准的探索研究

针对工业CT在尺寸测量领域难以溯源的问题,对工业CT长度测量误差的校准方法进行了探索研究。工业CT的长度测量误差分为球心距误差和端面距误差两类。对于球心距误差,研制出一种小森林球标准器,并使用微纳坐标测量机对其进行了校准。该标准器用于型号为Metrotom 1500的工业CT的校准时,球心距误差小于±2μm,且小于仪器的最大允许误差。对于端面距误差,分别选用常见的金属量块和陶瓷量块作为尺寸实物标准器进行了探索实验,测得端面距误差超出了仪器的最大允许误差。实验结果表明,使用球心距和端面距校准得到的工业CT的长度测量误差差异很大,并且对于同一长度,端面距误差远大于球心距误差。     

一种光纤式干涉型长度测量系统的建立

本文介绍利用光导纤维相位调制及双光束干涉原理，建立了一种长度测量系统，并对测量系统进行了分析和研究。     

高精度智能测量系统中粗大误差的处理技术

应用数理统计参数估值理论提出了一种新的粗大误差判据，该判据尤其适用于采样次数较少(n≤10)的测量系统中，剔除粗大误差的准确性高，应用于高精度智能测量系统中，可提高测量数据的精度．     

测长机与测长仪差异及其发展趋势研究

本文阐述了测长仪与测长机在工作原理和装置结构上的差异,研究由此而产生的两者在测量准确度以及实际校准工作中校准方法上的区别。在此基础上,介绍了现代测量长度仪器所采用的双频激光技术、微电子技术,展望测长机与测长仪中的发展趋势。     

用测长机校准数显千分表测量结果的不确定度评定

介绍了0～25 mm数显千分表的示值误差测量结果的不确定度分析,表明了用TWIN-CHECK1200测长机进行校准的可行性.