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相似文献
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1.
一种新型垂直扫描白光显微干涉测量仪   总被引:1,自引:0,他引:1  
研究开发了一种新型垂直扫描白光显微干涉测量仪。基于Linnik显微干涉结构,设计了干涉测量仪的显微干涉系统,介绍了干涉系统的工作原理;设计了Z向一维位移工作台,介绍了其结构和驱动原理;分析了测量仪的工作原理,并采用标准样板对测量仪的测量精度进行了验证。  相似文献   

2.
Bowe.  B 唐永滋 《云光技术》2001,33(5):33-38
本文介绍一种采用白光干涉仪进行三维表面形状测量的光学系统。近年来出现了许多不同的方法来分析白光干涉测量法测得的表面轮廓数据。目前还使用许多种商品化的白光表面轮廓测量仪。我们详细介绍了一种组表面轮廓的简单方法,即采用两种简单而有效的算法。这种方法处理数据快速、简单,因而减少了数据搜寻和分析的时间。该系统具有不受限制的理论工作范围,对粗糙和平滑的光学表面进行形状测量。  相似文献   

3.
本文介绍了一种利用白光扫描干涉法测量表面三维形貌的仪器原理及其整体结构,分析了影响测量精度的主要因素,给出了最佳干涉位置的识别算法,并用实际测量结果加以论证。  相似文献   

4.
常素萍  谢铁邦 《轴承》2006,(3):28-30
介绍了一种利用垂直位移台来实现钢球表面粗糙度高精度测量的垂直扫描白光干涉仪。该仪器是在6JA型干涉显微镜基础上加以改造,采用白光干涉,通过检测干涉信号的光强峰值,实现高精度的钢球表面三维形貌测量。通过试验验证该系统可对精度等级为3级的钢球进行精确的表面形貌测量。  相似文献   

5.
谢谦 《光学仪器》1991,13(2):1-7
本文利用模拟计算的方法,在PC-1500袖珍计算机上,对采用光谱滤波技术提高白光干涉条纹对比度进行了分析计算,实现了一级、二级暗纹与各自相邻亮纹间对比度的提高(>0.93和>0.51),同时讨论了对较高级次条纹对比度的影响,并进行了实验验证。实验结果表明,光谱滤波对白光干涉条纹中低级次条纹对比度有一定的提高作用,它为改善白光干涉条纹对比度提供了一种新途径。  相似文献   

6.
在白光干涉仪中,白光光源的参数决定了干涉条纹的分布,对中心条纹的识别精度产生直接影响.采用不同光谱形状的光源或改善光源的光谱形状可提高零级条纹的可见度,利用多个白光光源构成组合光源来改变光源的光谱形状是提高零级条纹可见度的有效方法.在提出组合光源参数优化设计方法的基础上,理论分析得出了双组合光源和三组合光源优化设计的简洁公式.计算机模拟及实验结果表明,经优化设计后组合光源产生的干涉图,其零级条纹可见度大大增加,更有利于提高系统的测量分辨率.  相似文献   

7.
陈利  董勇 《机械》2021,48(1):75-80
针对锥形套在机械抛光后出现白点、凹坑等表面缺陷,采用特别目视方法,用电镜扫描能谱分析进行成分分析,用白光相移干涉术对表面微观形貌进行重构,并基于ITTI视觉显著性模型对重构图像进行显著性检测.最后提取出显著性目标的轮廓特征,从而反推分析产生缺陷的原因,指导加工,提高首次交检合格率.结果表明白光相移干涉术能高效重构微坑这...  相似文献   

8.
白光扫描干涉测量是光学测量中一种非常重要的方法。在干涉仪的结构中,光源的光谱宽度及扫描步长一定时,选择合适的算法对干涉信号进行处理能够达到更高的测量精度。对重心法、移相法、包络曲线拟合法、空间频域算法分别加以介绍和比较,为白光干涉信号的算法提供详尽的参考。  相似文献   

9.
吴东方  贾波 《光学仪器》2007,29(4):52-56
介绍了一种新型全光纤多功能实验仪。实验仪采用了白光干涉原理,通过一套主机系统,组合功能模块,可实现八种不同的教学性实验,并可测量多种物理量。其中光路系统由无源光器件组成,具有组装方便、抗电磁干扰等特性。可以实现满足不同课程、不同专业阶段的实验要求。  相似文献   

10.
茅健  徐朋  杨将新  曹衍龙 《中国机械工程》2015,26(10):1301-1305
研制了一种基于白光波长扫描干涉法的表面形貌抗振反馈测量系统,介绍了白光扫描干涉法的相位提取算法和相位去包裹算法,对声光可调滤光器低速率扫频时产生的非线性误差进行了算法修正,设计了用于振动补偿的DSP硬件控制模块,并搭建了抗振反馈测量系统。在不同振动环境下,对研磨12级的标准样块进行了三维表面形貌测量以及粗糙度参数评定。结果表明,施加低频振源后的粗糙度评定参数大小为未施加任何振源的粗糙度评定参数大小的2倍左右,开启系统振动反馈后,粗糙度评定参数接近最大允许值,说明本测量方法能在一定程度上消除振动噪声的影响,保证测量的顺利进行。二维、三维表面评定结果对比表明,三维表面评定能更全面地表现被测表面的形貌特征。  相似文献   

11.
采用在碳化硅(SiC)陶瓷表面加工表面织构的方法来提高水润滑下SiC陶瓷的承载能力。表面织构由两种直径不同的凹坑阵列混合而成,目的在于利用不同的凹坑阵列分别促进表面间流体动压力的产生和表面跑合的进程。制作了直径为350μm和边长为40μm的凹坑以及由它们混合而成的表面织构,对SiC陶瓷表面的摩擦学特性进行了测试,并以摩擦因数突然上升时的载荷作为指标评价了上述几种表面的承载能力,结果表明,混合有不同尺寸凹坑的织构与具有单一尺寸凹坑的织构相比,承载能力显著提高。  相似文献   

12.
本文介绍了快速调节白光干涉条纹的方法.并利用迈克耳逊干涉仪测出了玻璃片的折射率.提高了测量精度。  相似文献   

13.
系统以MSP430芯片为控制核心,构建了由光敏二极管检测和比较,方位角和高度角双轴机械跟踪定位模块组成的自动控制装置,设计出一套自动指示点光源位置的实时跟踪系统。另外,该系统还能够实现对亮度不同的点光源跟踪,不受日光灯的影响。通过实验验证,系统运行稳定、可靠,跟踪精度在2 cm以内。  相似文献   

14.
自动追光系统设计   总被引:2,自引:0,他引:2  
以STC89C52单片机作为整个系统的控制核心,采用光电检测追光模式设计了一个自动追光系统.在光电检测追踪模式下,光电检测部分采用光敏三极管3DU5C作为光电传感器对光源信号进行采样,通过光敏三极管的比较电路来判断光源的方位,并通过A/D转换芯片ADC0809转换成数字信号,单片机采用L298N驱动电路驱动直流电机以控制小车,从而达到了自动追踪光源的目的.  相似文献   

15.
黄绍怡  薛梅 《工具技术》2010,44(12):95-96
激光具有优良的方向性、相干性和高亮度等特点,广泛应用于各个领域。本文详细阐述了利用商用He-Ne激光器热稳频技术的单、双频激光干涉仪中偏振光的运行机理。  相似文献   

16.
在汽车保险杠原始结构的基础上,进行了轻量化设计.利用ANSYS/LS-DYNA软件对原始保险杠及其轻量化结构在低速碰撞过程中的动力响应特性进行了数值仿真,结果表明:原始保险杠在低速碰撞条件下应力分布不均匀,而加强筋保险杠和波浪加强板形保险杠耐撞性、能量吸收性更好,其应力分布较均匀,并且波浪加强板形保险杠性能优于加强筋保险杠.  相似文献   

17.
18.
介绍了光纤传感器,特别是干涉式光纤传感技术的优点。给出了光纤Michelson干涉仪系统的结构。重点给出了光纤Michelson干涉仪系统中信号光与参考光干涉原理以及影响干涉光强因素的理论分析。详细阐述了单模光纤偏振控制器结构、工作原理以及其对光纤Michelson干涉仪系统传感臂偏振态的控制。最后,给出了光纤Michelson干涉仪系统的应用分析。  相似文献   

19.
随着光电技术、集成电路技术和检测控制技术的飞速发展,将雨量光线传感器RLS应用在汽车上从而实现雨刷自动刮水和车前灯自动控制等是近年来汽车传感器应用中的研究热点。重点介绍了德国Melexis公司研发的雨量光线传感器专用接口芯片MLX75308,以其为主控元件设计了RLS模块实现方案,并对其工作原理加以陈述。该方案可满足雨量光线检测在汽车应用方面的智能化、集成化、可靠性高和成低本的国产化研发和生产的需要,具有巨大的市场潜力和广阔的应用前景。  相似文献   

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