程控无油超高真空排气台的研制

由外冷式吸附泵作为前级泵、溅射离子泵作为主抽真空泵构成无油超高真空系统,采用计算机控制技术,以真空度为工艺进程判据,对器件进行烘烤排气,实现电真空器件的真空排气工艺的自动控制.介绍了无油超高真空系统、控制系统、烘箱与热功率以及软件的设计.排气台为多工位结构,具有气体质谱分析和充气功能;空载时极限真空度优于8×10-7Pa;烘箱烘烤温度为25～600℃,连续可调,恒温精度优于±1%;分析质量数为1～80.程控排气台设计合理,操作简便,计算机控制技术精细了工艺过程控制量,排除了人为因素,其性能稳定可靠,可满足使用要求     

无油真空检漏系统在空间环境模拟试验中的应用

介绍了我国某小型空间环境模拟无油检漏试验设备,并就无油真空系统、检漏系统灵敏度和反应时间等问题作了详细介绍,大量试验证明该无油检漏系统的设计是合理和正确的.     

大型准无油真空除气炉的设计研究

基于在高真空除气炉研制过程中取得的成功经验，对利用油扩散泵系统获得准无油真空环境以及设计中应注意的问题进行了研究探讨。     

EAST超导托卡马克装置真空抽气系统

真空系统在EAST全超导托卡马克装置中是非常重要的组成部分,它主要由内真空室抽气系统和外真空室抽气系统组成。内真空室抽气系统主要由主抽系统、偏滤器抽气系统、低杂波抽气系统组成,主要为等离子体的稳定运行提供清洁的超高真空环境;外真空室抽气系统主要由主抽系统、电流引线段抽气系统及低温阀箱抽气系统组成,主要为超导磁体的正常运行提供真空绝热条件。EAST真空抽气系统经过三轮物理实验的不断改造和完善,目前基本满足了等离子体物理实验的需要。     

超高真空的获得—泵与抽气系统

在“超高真空”历史发展的几十年间,技术和用户需求两方面都发生了许多变化。甚至超高真空的含义也有些演变。问题的焦点是：从如何获得只有泵壁出气气体负载的最低压强的静态真空转向如何获得生产过程气体低污染和高纯度的动态真空。现在,想用一种全能的泵来实现这一设想是不实际的,因为不同的真空抽气技术有着更明显的应用范围。这种情况对传统的超高真空泵－离子吸气砂来说是一样的。在大多数情况下,在设计系统时离子吸气泵是     

涡旋式无油真空泵抽气机理的研究

本文从涡旋式无油真空泵涡旋体型线的基本几何理论入手，对涡旋式无油泵的抽气机理进行了深入研究，在此基础上建立了涡旋式无油真空泵的主要性能参数的计算公式，并给出了涡旋式无油泵的计算实例，为涡旋式无油泵的设计计算提供了理论依据。     

离子注入机真空系统特性研究

本文分析了离子注入机真空抽气特点，并从实际应用的观点出发建立了一套差压抽 气装置，测定了真空室各部分真空度与差压器气导的关系曲线。也测定了真空度与漏气 量的关系曲线。研究结果表明，合理地采用差压抽气技术就可以有效地降低离子源漏气 对离子注入机真空度造成的不利影响。     

第十三讲:真空系统的检测技术

2　真空规管的使用(上接2004年第1期第64页) 2.1　温度差对规管测量影响 真空室有时具有冷壁、冷阱或热源，这样会使规管处于室温，而真空室空间温度处于低温或高温下；或者当真空规管在校正与测量时的温度不一样，以上两种情况下，都会造成误差。而且这种影响与压力的高低有关。     

新颖的4000吨亚磷酸-二甲酯真空抽气系统

叙述在亚磷酸－二甲酯真空抽气系统中采用气冷罗茨真空泵机组代替过去一般采用的多台W型往复式真空泵并联组合，可以大大降低功率消耗、提高抽气效率及其节约维修费用。     

浅谈工业炉真空系统出现故障的检测方法

随着我国重工业的不断发展工业炉以被各工业企业所应用．单随着时间的推移部分工业炉的真空系统在生产和加工过程中会出现一些不同的问题,使加工的产品出现质量问题。但工业炉再生产过程中出现故障往往是很难发现的,如何在很短的时间内发现故障并确定故障出现在那里。做到快速精准维修是摆在我们当下的一个问题,本文主要阐述了如何快速判断真空系统故障部位,并阐明理论依据;描述如何进行真空泄漏检查工业炉的真空系统,以及检查和检测工业炉各个泵的抽气能力的一些经验方法,供参考。     

新型K-800A高真空油扩散泵的研制

介绍了新研制的高真空油扩散泵在拓宽抽气速率范围、提高临界前级压力、降低返油率方面的创新设计。给出了新研制的K-800A高真空油扩散泵各项技术指标的实测结果。     

无油分子泵机组的组装

介绍了将ALCATEL公司生产的一台ATPl00涡轮分子泵、一台MDP50ll牵引分子泵及一台VRC公司生产的lBy6型干泵组装成无油分子泵机组的过程。文中给出了泵间配合的计算、机组方案的设计、连接管路、仪器支架的设计及选择。本机组所采取的设计方案使三个泵都最大限度地发挥了优点避免了缺陷，较好地满足了使用要求，为今后选购单泵和组装无油分子泵机组提供了可靠的理论和实验依据。     

日立扫描电镜真空系统的维护

电镜真空体系对确保仪器正常运行和图片质量十分重要。本文介绍了日立扫描电镜的真空系统的组成及在运行中出现的故障和故障消除的方法,为实现扫描电镜的正常工作提供了有利保障。     

上海EBIT装置低温超导段超高真空系统

介绍了上海电子束离子阱实验装置(EBIT)低温超导段常温和低温的真空获得系统设计,通过溅射离子泵和低温冷面的冷凝抽气系统达到了所需真空要求。系统的真空调试结果表明,常温下极限真空达到10-6 Pa,液氦低温下在离子阱外围区域测量值是5×10-8 Pa。离子阱区的压力是通过建立区域气体流动模型计算得到。结果预示,在离子捕集区真空度能达到10-10 Pa的设计指标。