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相似文献
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1.
1IntroductionArtificial synthesis of diamond and diamond-like carbon(DLC)have beenthe advanced andfocused re-search aspect in materials science for about twenty years.As a wear-resistant protective fil m,diamond-likecarbon fil m has extensive applications.Due to different matrix and service conditions,different requestswere proposed to properties and deposition conditions of diamond-like carbon.There has been many methods to prepare DLCfil m,however,most of DLCfil ms were not transpar-ent.…  相似文献   

2.
In this paper, the transparent hard diamond-like carbon (DLC) films were deposited on glass substrate by magnetic confined radio-frequency plasma chemical vapor deposition. The structure of films was studied by Raman spectra and X-ray photoelectron spectra (XPS), the transmittance of films by Spectrophotometer. The mechanism of the influence of films structure on transmittance of the films was discussed. The results show that the thickness of films was lower than 100nm, and the transmittance was over 90, in 380-780 nm region. Discussion in theory on the influence of film structure on transmittance was correspondence to experiment results.  相似文献   

3.
RF-PCVD低温沉积无色透明类金刚石保护膜的工艺研究   总被引:3,自引:0,他引:3  
采用磁约束增强射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积法(RF-PCVD)低温沉积出无色透明的类金刚石保护膜(DLC),主要研究了炉压P0、射频功率Pf、自生负偏压Uz、磁感应强度B、电极间距d、反应气体、镀膜时间t等工艺参数对成膜的影响.试验结果表明,外加磁场B制约了带电粒子逃逸出电极空间,提高了反应气体的离化率及等离子体浓度和活性,并使非独立变量Pf和Uz成为独立变量,有利于工艺调节.当极间距大时,需适当提高Pf,Uz和C-H流量才可得到无色、较硬的DLC膜.在比功率密度大于0.009 W.cm-2.Pa-1、C-H浓度即体积分数0.9%~1.4%及膜厚小于90nm的条件下,可沉积出无色透明、硬度较高的DLC膜.  相似文献   

4.
采用磁约束增强射频辉光放电等离子体辅助化学气相沉积法(RF-PCVD)低温沉积出无色透明的类金刚石保护膜(DLC),主要研究了炉压P0、射频功率Pf、自生负偏压Uz、磁感应强度B、电极间距d、反应气体、镀膜时间t等工艺参数对成膜的影响.试验结果表明,外加磁场B制约了带电粒子逃逸出电极空间,提高了反应气体的离化率及等离子体浓度和活性,并使非独立变量Pf和Uz成为独立变量,有利于工艺调节.当极间距大时,需适当提高Pf,Uz和C-H流量才可得到无色、较硬的DLC膜.在比功率密度大于0.009 W·cm-2·Pa-1、C-H浓度即体积分数0.9%~1.4%及膜厚小于90nm的条件下,可沉积出无色透明、硬度较高的DLC膜.  相似文献   

5.
添加硅灰石(CaO·SiO2)晶须制备碳纤维预制体, 并在980 ℃下进行化学气相沉积, 高温石墨化处理后制备得到CaO·SiO2晶须改性的C/C复合材料。利用SEM、金相显微偏光分析以及力学实验等方法研究了预制体结构对基体微观结构、物理性能和力学性能的影响。实验结果表明: 添加CaO·SiO2晶须会诱导热解炭呈锥形生长, 同时在石墨化过程中会诱导热解炭的组织结构发生有序性转变, 与基体反应生成SiC二次纤维。添加CaO·SiO2晶须使得复合材料的石墨化度由31.6%提升至41.1%, 导热和导电性能相比于未添加晶须时分别增加了71.7%和14.3%, 复合材料的弯曲强度相比于未添加晶须时提升了5%。  相似文献   

6.
普朗铜矿运用自然崩落法进行开采,未放出的矿体作用在底部结构之上,易导致矿柱产生受压破坏,威胁底部结构稳定性。利用地压监测手段及时掌握开采过程中底部结构的应力分布情况,可锁定底部结构应力集中区域,并通过研究放矿量与底部结构应力分布的变化关系,优化和平衡各放矿口的放矿计划,调节底部结构应力分布,从而减少应力集中对底部结构的破坏。  相似文献   

7.
本文立足于团体辅导课程,从学生的实际需求出发开设课程,梳理了课程的理论基础,完善了课程的授课结构和体系,探讨了在团体课堂中的有效因子,并结合课堂的实际教学效果和学生的反馈,对课程的不足进行了反思,提出了初步的改进思路。  相似文献   

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