衍射增强成像折射衬度的应用

折射衬度是衍射增强成像(diffraction enhanced imaging,DEI)中的一种重要衬度,在弱吸收物质的成像中,折射衬度远超过吸收衬度.折射衬度应用的关键是提取出样品的折射信息,折射信息由相应的折射图像表示.根据生物样品和材料样品的特点,研究和比较了两种折射信息提取方法.利用样品的折射图像,对聚苯乙烯样品进行了简单的定量分析,比较了正常肝组织和肝血管瘤组织.实验结果表明,折射衬度清楚地描述了肝组织的微细结构和血管瘤损伤,精确地显示了无法在传统X射线成像技术中获得的聚苯乙烯样品的清晰结构.     

高分辨二次电子像中的成份衬度

高分辨二次电子像中的成份衬度徐军陈文雄张会珍（北京大学电镜实验室，北京１００８７１）在传统的扫描电子显微学的概念中，二次电子像中包含的是形貌衬度，而背散射电子像中包含的是成份衬度。但实际上二次电子的产额是和样品的成份有关的，不过样品表面极易玷污，样品...     

硬X射线相位衬度成像的实验研究

介绍了硬X射线(类同轴)相位衬度成像的工作原理及其实验研究结果。X射线波长为0．08860nm,样品为未经任何处理的飞蛾，记录介质为X射线胶片。胶片经处理以后，用光学显微镜读出，可以看出样品的许多细节,尤其在折射率突变处。而同样条件下基于吸收衬度机制的硬X射线吸收成像，由于是弱吸收样品．没有观察到任何图像。     

用激光等离子体气相沉积法制备类金刚石薄膜及光学性质研究

用高功率Nd~(3+):YAG脉冲激光轰击石墨靶,成功地制备出无氢的类金刚石碳膜(DLC)。用吸收光谱分析法研究了不同制备条件下样品的光学带隙。发现在衬底温度不变时,样品的光学带隙随生长室内靶衬之间的加速电压而变化,公700～1000 V的加速电压下制备的薄膜具有较大的光学带隙。     

扫描电镜电压衬度法的应用

应用扫描电子显微镜电压衬度法观察分析半导体器件样品,对它进行失效分析或观察它的工作状态等,都有很明显的效果.电压衬度图象是在扫描电镜二次电子图象的基础上形成的,它通过对样品室中的半导体样品的某一部分施加电压,以便在样品的二次电子图象中的相应部位获得反差.由于所施加的电压会在样品表面形成一个小的局部电场,这个小电场对样品该部分的二次电子发射会起抑制作用,因此当电子束     

球差校正高分辨电子显微像的像衬和解卷处理

本工作将赝弱相位物体近似像衬理论延伸至球差校正高分辨电子显微像,分析了球差校正像的衬度随样品厚度的变化规律。指出非Schemer聚焦条件下球差校正电镜拍摄的高分辨像仍未必反映晶体结构,讨论了解卷处理方法应用于球差校正像的有效性,并以有12型层错的GaN晶体为例,借助像模拟肯定了解卷处理能用于复原原子分辨率晶体缺陷的结构像。     

在KYKY—A1000B型SEM上观察磁带的I型磁衬度

本文描述在KYKY—A—1000B扫描电镜上观察I型磁衬度的方法。在本方法中,使用了我们自制的一个附件,以增强磁衬度。实验结果表明,KYKY—A—1000B扫描电镜可以成功地用于磁衬度观察。     

扫描电子显微学中二次电子发射过程的蒙特卡洛模拟

利用蒙特卡洛模拟固体中电子散射轨迹的计算方法，系统地研究了扫描电镜中二次电子信号的发射过程。该模拟电子与固体相互作用的蒙特卡洛模型包含了级联二次电子产生的过程，并且采用光学介电函数方法描述电子的能量损失和相伴的二次电子激发。由于模拟计算可以给出背散射电子和二次电子的绝对产额，以及它们随加速电压和样品的原子序数的变化关系，因此可以用于模拟元素衬度和形貌衬度像。还计算得到了关于二次电子产生和发射的其它分布，并与实验结果作了比较。     

钢铁薄膜样品的二次电子象观察

用分析透射电镜H-800的SEI附件观察了多种钢铁薄膜样品,看到了在薄膜表面的碳化物和其它第二相的二次电子象。这些薄膜样品是供主机TEM进行衍衬观察的合格样品,用高氯酸乙醇溶液双喷射电解减薄法制备。本文探讨了引起二次电子象衬度的原因及影响成象质量的操作因素,并将二次电子象与衍衬象进行比较。指出这种观察方法可以作为衍衬法的一种补充,以便取得有关钢铁材料中第二相分布与形态学的更多资料。     

X射线相位衬度CT

X射线相位衬度CT指的是在通过X射线光源来对物体进行成像过程中使用图像的位相衬度来反映物体的密度或者厚度分布,适用于弱吸收物体,还可以减少吸收剂量,放宽成像条件中光源强度的限制和减少对样品(尤其是生物样品)的损伤.介绍了目前用于X射线相位衬度CT的三种方法,实验及图像重建的过程,并分析了各自的优缺点.     

数字扫描激光显微镜

一、引言扫描激光显微镜具有普通显微镜所不具备的优点:(1)通过改变探测样品放出的辐射信号的方法能获得各种显微图的图形;(2)因为一个聚焦激光光斑来回扫描样品,所以能获得一个未受散射影响有较高衬度的图形;(3)通过控制探测器尺寸可以很容易地获得在各种相干条件下的图形;(4)由于把高倍N、A显微镜物镜用于Ⅱ型显微镜,可以达到比在普通显微镜中更深的聚焦深度;(5)用一单一     

近场光学中成象衬度机制的研究

本文从理论上研究了收集式近场光学显微镜中的成角衬度问题。采用三维时域有限差分法计算了光学近场区域亚波长尺度的电磁场分布。计算表明;利用ｐ偏振光成象可以得到样品的形貌衬度,而利用ｓ偏振光成象可以得到样品形貌的边缘象。该结果为近场光学显同镜中的图像解释及新仪器的开发提供了理论依据。     

碳纳米管材料和碳纳米管基器件的扫描电镜成像

本文探讨了在扫描电镜中单壁碳纳米管的成像问题.一般情况下碳纳米管的像衬度随入射电子能量,扫描速度,样品基底和环境而变,情况非常复杂.但在一定厚度的SiO2绝缘基底上且与金属电极相连的单壁碳纳米管的成像机理则相对简单.单壁碳纳米管像衬度的贡献主要来源于二次电子而不是背散射电子.像衬度产生的机理主要为SiO2绝缘基底在成像过程中的电荷积累导致的表面电势的变化对于碳纳米管以及周围SiO2基底二次电子发射效率的影响.     

高角环形暗场成像方法测定负载型纳米贵金属催化剂的粒径

高角环形暗场(HAADF)像的衬度与样品中平均原子序数的平方成正比,并且具有原子尺度的分辨率,因此可以有效地区分贵金属颗粒和催化剂载体,非常适于测量负载型纳米贵金属催化剂中活性中心颗粒的粒径.本文以Pd/ZnO催化剂为例,介绍利用HAADF成像法测定负载型纳米贵金属催化剂中贵金属粒径的方法.     

聚焦离子束制备透射电子显微镜样品的两种厚度判断方法

透射电镜样品的厚度是透射电镜(TEM)表征中一个重要参数,快速准确地判断样品厚度是制备高质量样品的前提.本文通过使用聚焦离子束(FIB)制备了带有厚度梯度的透射电镜样品(Si、SrTiO3和LaAlO3),并提出两种制样过程中快速判断厚度的方法.第一种通过扫描电子显微镜(SEM)的衬度变化经验地判断样品的厚度;第二种是用FIB在样品边缘切一个斜边,通过SEM测量斜边侧面的宽度用几何方法推断样品的厚度.这两种方法都通过会聚束电子衍射(CBED)和电子能量损失谱(EELS)测量的厚度作为检验标准.对比认为,样品较薄时用SEM衬度测厚比较合适;样品比较厚时用几何方法测量比较直接.     

基于SEM电压衬度的缺陷定位方法研究

光发射显微分析、光致电阻变化技术两种电失效定位方法在精确定位缺陷上存在局限性,为此提出了基于SEM电压衬度的联用方法用于精确定位集成电路缺陷。首先根据电特性测试进行光发射显微分析或者光致电阻变化分析,结合电路原理和版图,提出失效区域的假设,再进行电压衬度像分析,通过衬度翻转可精确和快速确定缺陷位置,最后通过FIB或者TEM对缺陷进行表征。案例研究显示,有源电压衬度可定位双极型电路铝金属化开路失效,无源电压衬度定位CMOS电路多晶硅栅刻蚀异常引起的漏电流失效,结合形貌和材料分析得出缺陷形成机理和根本原因。     

铂-碳直接投影复型法——一种新的电子显微镜制样技术

电子束的穿透能力很弱(仅X射线的10~(-3)以下).对一般加速电压力50—100千伏的透射电子显微镜,只能透过1000埃以下的薄样品.制取这种厚度小于10~(-4)毫米的薄膜样品是一件十分困难的工作.目前广泛使用的制样技术为复型法.     

具有埋层结构电介质样品扫描电镜二次电子特性

采用较为全面的考虑电子散射、俘获、输运和自洽场等过程的数值模型,阐明了具有埋层结构电介质样品的扫描电镜检测机理及二次电子电流的动态特性。模拟结果表明,被沟槽界面俘获的电荷会影响空间电场分布,从而影响二次电子特性。随着电子束照射,样品表面沿着深度方向的电场强度增强,更多的二次电子返回表面,从而产生图像衬度。图像衬度随电子束能量的变化呈现极大值,而随电子束电流的增大而增大,模拟结果与实验结果基本一致。     

小位错圈电子衍衬象的微扰法计算

本文按微扰法的思想采用一种简化的方法计算厚膜中的小位错圈在双光束动力学条件下的衍射衬度,得到了一个简洁的一般表达式。利用此式以及衍衬象的对称性原理,可以定性地解释实验观察到的关于小位错圈衍衬象随位错圈的特征、在膜中的位置和观察条件而变化的规律。把各向同性弹性介质中小位错圈的位移场的表达式代入此式后,可得到很简洁的关于小位错圈衍衬象的定量计算公式。当把弹性各向异性立方系晶体中小位错圈的位移场的表达式代入此式后,得到的关于衍射衬度的公式相当复杂。为此我们编写了计算机程序并用笔绘仪绘出小位错圈的衍衬象的等衬度轮廓图。计算结果表明,晶体的弹性各向异性对其小位错圈衍衬象影响很大,使沿弹性软方向的衬度增强,沿弹性硬方向的衬度减弱。     

激光扫描OBIC效应的成象研究

当激光束照射到半导体材料或器件的表层时,光子将激发出电子—空穴对,进而产生光束感生电流(OBIC),通过激光束在样品表面进行扫描,同时将微弱的OBIC电流放大并记录在计算机图象记忆系统中,可以得到样品的一幅OBIC衬度的图象。