基于全硅工艺的硅谐振压力传感器设计与制备

硅谐振压力传感器制备工艺包括硅-玻璃工艺和全硅工艺,采用硅-玻璃工艺时,硅材料和玻璃材料热膨胀系数存在差异,会产生热应力。为解决硅材料和玻璃材料热膨胀系数不匹配而产生的热应力,设计一种基于全硅工艺的硅谐振压力传感器。该设计采用全硅工艺制备,其中电极层和敏感膜层集成于一体,密封层实现真空键合,在消除热应力的同时可减小黏接剂带来的应力干扰。采用全硅工艺制备的硅谐振压力传感器能够克服各种应力干扰,使传感器迟滞、重复性等指标得到改善,进而提升综合精度、长期稳定性等指标。全硅工艺还可改善传感器温度系数,可提升传感器温度跟随性指标。传感器最终测试结果显示,其综合精度优于±0.01%F.S.,其余指标如温度系数、迟滞、重复性等均优于基于硅-玻璃工艺的同类产品。     

JYB-KO-C1000无线压力变送器

该无线压力变送器是一款具有液晶显示、信号无线传输和菜单设置功能的高精度智能型仪表。主要是针对野外或配套供电环境不便的场合，如输油、输汽、供暖等输送能源管道等地方进行压力监测，实现信号无线远传，采用金属外壳，全密封全防爆设计，保证全天候无忧作业。     

基于多传感器融合的压力测量系统设计

当今，所有以微处理器为基础的测控系统都需要传感器来提供做出实时决策的数据。本文详细阐述了压力传感器测量系统硬件设计、压力传感器智能化软件设计、压力传感器误差与温度补偿技术设计。针对传感器测量的温度漂移和非线性等问题，提出了利用多传感器信息融合技术--曲面拟合法和曲线拟合法来加以解决，并实现PC机与传感器测量系统之间的通信，完成数据转换、数据处理和打印等功能，使测量系统更加完善。     

全SiC结构高温压力传感器制备及测试

面向极端条件下原位压力测量技术的需求,设计了一种光纤法珀式碳化硅（SiC）高温压力传感器。采用全SiC真空法珀（F-P）腔结构,以最大限度发挥SiC材料优异的耐高温特性。通过用反应离子刻蚀和高温高压键合技术成功制备了全SiC式高温压力传感器,实现高温环境下的原位压力测量。实验结果表明,该传感器能够实现650℃高温环境下6 MPa的压力测量。650℃下传感器的光谱压力灵敏度达到4.05 nm/MPa,温度压力交叉灵敏度为1.09×10^-3MPa/℃。研究成果为面向高温环境下压力原位测量的传感器开发提供了思路。     

JYB-KO-M系列经济型压力变送器

JYB-KO-M系列经济型压力变送器足昆仑海岸面向石油、化工、水利、水电、发电厂、汽车等行业领域推出的一个新产品，该产品采用MEAS扩散硅芯片技术，外形小巧，工作稳定、可靠性高，全不锈钢激光焊接，抗震防腐数字化智能芯片，全温度线性温度补偿，测量范围有10个量程段可选，零变货期。     

压力传感器的支持向量机非线性回归建模

压力传感器的输出特性易受到环境因素,尤其是温度变化的影响。针对该问题,提出了利用支持向量机(SVM)对压力传感器输出特性进行非线性补偿的校正模型。校正模型利用SVM的回归算法来逼近非线性函数的特点,通过建立压力传感器输出特性与其实际电压值之间非线性映射关系的校正模型来实现压力传感器的校正。实例表明:该方法能有效地减少温度变化对传感器输出的影响,且校正后的压力传感器具有更高的测量精度和温度稳定性。     

PK系列紧凑型电子压力传感器

易福门压力传感器系列PK为紧凑型的电子压力传感器，它调节简单，使用寿命长。该产品具有强抗压力峰值及耐腐蚀性介质的特性。     

多通道压力传感器多参数自动测试系统设计

设计了一种压力传感器自动测试系统,可实现对多路传感器和多个参数的自动切换测量.通过设计的多功能矩阵开关电路配合一台高精度数据采集器,实现选通切换与测量;采用LabVIEW设计上位机软件,实现标定数据、温度补偿数据、时漂数据显示以及计算、报表功能.实验证明：该系统可同时进行90只压力传感器的桥路电压、电阻、电流等参数测量,满足精度为1％～0.1％压力传感器批量产品检测与检定的多种测试需要.     

应用ADuC847芯片设计压力及温度测量仪表

高精度的压力温度测量仪表的设计关键在于如何消除各种噪声,利用廉价的手段达到所需要的测量精度。ADuC847是AD公司新近推出的微转换芯片,利用其24位Σ-Δ模数转换器,设计高精度压力及温度测量仪表。本文首先简要介绍了ADuC847主要特点及各引脚功能,然后详细阐述如何设计高精度温度压力测量电路,并重点介绍了如何消除激励压力或温度传感器的恒流源以及恒压源的噪声对测量精度的影响。     

基于人工鱼群BP神经网络算法的压力传感器温度补偿研究

为实现压力传感器的温度补偿,采用BP神经网络作为压力传感器软件补偿系统的核心算法,但由于BP神经网络算法易陷入局部极值,因此采用具有全局搜索能力的算法—人工鱼群算法(AFSA)进行优化,得到的结果是压力传感器的线性度提升1个数量级,温度灵敏度系数降低2个数量级,得到了很好的补偿效果。     

一种具有温压补偿功能气体涡轮流量计的设计

设计了基于MSP430单片机的具有温度压力补偿功能的气体涡轮流量计,介绍了该系统的硬件电路和程序设计.以MSP430F149单片机为处理芯片,有效降低了系统的功耗,该系统采用高性能的温度压力传感器进行温度压力补偿,确保了系统的精度,同时温度压力传感器等器件均采用低功耗器件进一步降低了系统功耗.     

基于DSP的温度、压力测试装置的研制

设计了一种基于DSP的温度、压力测试装置，采用提出的一种改进的向后逐次分段的牛顿均差插值法，实现了对温度、压力进行实时测试的数字化、高精度和直观化。     

基于BMP085和DS18B20的温度压力修正膜式燃气表

普通膜式燃气表计量的是天然气的工况体积流量,受环境温度压力影响较大。本设计提出一种在普通膜式燃气表上安装温度和压力传感器的温度压力修正膜式燃气表,在使用过程中,能够将工况下的天然气的体积流量转换成标况下的体积流量,有利于贸易双方的结算,实现天然气计量的公平贸易。     

高温压力控制器的设计

介绍了机械式高温压力控制器的设计方法;阐述了它的工作原理、结构特点和主要部件的设计与计算。同时,对宽温区压力控制器压力设定点的温度漂移进行了补偿和实验验证。比较了电子式和机械式压力控制器各自的优缺点,并提出了选择设计方案的原则。该压力控制器的压力设定点为0.3MPa;误差为±0.04MPa(全温区);工作温度为-55～150℃。实验表明:该高温压力控制器体积小、耐恶劣环境、可靠性高,满足使用要求。     

新一代介质隔离式压力传感器

概述了三种不同介质隔离式压力传感器的温度性能比的测试结果。该测试不仅在指定的补偿温度范围内,而且还在拓宽的温度范围内进行。选用两种自产型号及一种其他品牌的传感器来完成此实验。实验结果表明,选用超稳定的压力芯片加以优秀封装设计的IC压力传感器在温度性能方面具有极大优越性。另外,对IC传感器中新型介质隔离式压力传感器进行了详尽的介绍。     

流量测量中温度、压力补偿数学模型建立

在流量测量中，为精确测量流量应进行温度，压力补偿修正，本文重点介绍应用计算机建立温度，压力补偿数学模型。     

移植皮肤贴敷压力监测仪的研制

通常在技术皮手术中，对被植皮贴敷压力的大小，全凭手术经验掌握，影响了植皮成活率。本介绍的基于半导体压力传感器原理的测压仪是用来准确测量技术敷压力以实现提高植皮成活率的目的。这一仪器还可以用于对多种生理压力进行测试。     

ShadowDB:基于SQL引擎的全链路压力测试分流系统

全链路压力测试作为一种新兴的软件测试技术，直接在生产系统中做压力测试，旨在准确评估线上环境的性能。基于影子库的数据分流技术能够保证全链路压力测试过程中生产数据不受测试污染。基于SQL引擎技术设计并实现了一套完整的针对全链路压力测试的开源数据分流系统ShadowDB,其基本思想是通过SQL解析、SQL路由对用户请求正确分流。ShadowDB目前支持6种关系型数据库系统中所有SQL语句的数据分流；提出了2种数据分流算法：基于列的影子算法和基于Hint的影子算法；实现了所有JDBC的接口，允许线上应用程序无需修改代码即可使用ShadowDB;ShadowDB嵌入应用程序中，无需网络转发请求，对请求效率影响很小，保证了全链路压力测试结果的可靠性。使用2个通用的性能测试工具进行了大量的实验，结果表明ShadowDB的性能远远高于对比方案的。     

轮胎压力监测模块的设计

介绍了基于Infineon公司的集成压力传感器SP12和Atmel公司的发射器T5754的轮胎压力监测模块的设计,对其工作原理和工作方式进行分析,给出了系统硬件设计与软件设计。该模块可实时准确监测轮胎的压力与温度,并具有低功耗、低成本等特点。     

基于拉格朗日差值的压力传感器温度补偿算法

随着压力传感器的广泛应用,对压力传感器的精度要求越来越高,由于温度是影响压力传感器精确度的主要原因,所以减小由温度漂移所造成的测量误差是需要解决的问题.本文设计了一种基于拉格朗日差值的压力传感器温度漂移补偿软件算法.该方法简单实用,同时测量引用误差可以控制在0.26%以内,完全可以满足实际的需要.