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重点介绍了采用表面等离子体增强效应的近场光刻制作亚微米结构的二维点阵图形的技术。在研究亚波长纳米孔阵列超透射现象基本原理的基础上,应用有限差分时域(FDTD)算法数值模拟了周期性孔阵列的电场强度分布,讨论了纳米孔阵列所激发的表面等离子体激元提高近场光刻分辨率的微观机制。以金膜上的亚波长纳米孔阵列作为掩模版进行了接触式曝光实验,实际制作出了光刻胶的亚波长二维点阵图形,点阵图形的直径约为300nm,周期约为700nm。这种新型的微纳加工技术具有应用简单、成本低等特点,在大规模二维纳米点阵的制作方面有一定的应用潜力。 相似文献
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光学方法是对物理、化学、生物、医学等各种样品进行特性表征、结构和机理研究的重要方法.物体结构的细节则深藏于近场区域内,如化学和生物大分子、细胞表面的超微结构等,其大小在纳米级.常规光学方法由于受到衍射极限的限制,其最高空间分辨率只能达到波长的一半,因此无法进行研究. 相似文献
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近场光镊是近场光学领域中的新型技术,因其可对纳米尺度微粒直接进行捕获和操纵而受到广泛关注.简述了该技术的原理,详细介绍了近场光镊技术的研究进展及其在众多学科领域中的潜在应用. 相似文献
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红外和太赫兹范围内的扫描近场光学显微镜能够突破衍射极限,实现更小的空间分辨率,在纳米尺度结构的光学特性分析检测方面具有重要应用。为了进一步理解探针与样品的相互作用,对探针近场的分析和数值描述是必不可少的。基于真实的探针形状的解析模型,结合数值模拟的开发了源偶极子模型(SDM),能够直接获得近场检测信息,提高计算效率。基于模拟结果,解释了天线效应、尖端半径影响和电荷量的影响,并将SDM模型结果与全波仿真(FWS)结果进行了比较。为进一步理解近场光学显微镜中的针尖-样品结提供了新的视角。 相似文献
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近场光学显微镜及其应用 总被引:1,自引:0,他引:1
葛华勇 《激光与光电子学进展》2002,39(6):8-12
近场光学显微镜是一种新型超高空间分辨率的光学仪器,它在很多领域都有广泛应用。本文描述了近场光学显微镜的成像原理及结构部件,简要介绍了近场光学显微镜在高分辨率光学成像、高密度储存存储以及近场光谱等领域中的应用。 相似文献
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Super-resolution near-field structure (Super-RENS) is one of the most promising near-field optical recording schemes with significant application prospects. The development of Super-RENS from the basic type to the third-generation is introduced. The development of mask material and the application of Super-RENS in different recording systems are summarized. 相似文献
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超分辨近场结构(Super-RENS)技术是近年来发展起来的一种新型近场光存储技术,是目前最有实用化前景的纳米尺度近场超分辨技术之一。初步研究表明,其近场超分辨特性与非线性响应密切相关,研究其非线性光学特性对阐明物理机制、发展新的掩模材料和非线性光学应用都具有重要意义。对散射中心型超分辨近场结构非线性光学特性的最新研究进展进行了介绍和分析。 相似文献