四十五所:料摆动多线切割机对蓝宝石切割试验成功

正近日,中国电子科技集团公司第四十五研究所用改造的料摆动多线切割机对蓝宝石进行了切割试验获得成功。切割蓝宝石晶片TTV误差小于±10μm,切割速度、效率均满足工艺要求,设备运行稳定。此款蓝宝石切割设备是在原有DXQ-601B多线切割机的基础上改进而来,在继承四十五所多线切割机现有成熟技术的基础上,     

多线切割机排线方法研究

介绍了一种用于多线切割机的线轮排线方法、及其排线控制系统,该方法适用于多线切割机高速单向或往复工作时的线轮排线工作,具有实现简单,工作可靠等优点,已在新型300mm多线切割机上成功应用。     

多线切割机运行参数记录方法的研究

多线切割机完成一次切割的过程中产生大量的运行参数,这些运行参数表明了切割过程对产品品质的影响,需要进行记录。对采用数据库和CSV文件方法记录运行参数的比较表明:使用CSV文件记录多线切割机的运行参数简单可靠,易于查看,能够满足运行参数记录的要求。     

蓝宝石多线切割设备及切割技术

介绍了蓝宝石多线切割机的发展技术背景,并就中国电子科技集团公司第四十八研究所基于金刚石线多线切割自主研发的X0730-3/UM型线切割机详细的介绍,性能特点,关键技术以及切割工艺实验分析,就金刚石线多线切割机理分析以及应用进行了初步的探讨。     

太阳电池用Si片切割过程中浆料作用研究

Si片生产技术及工艺的进步使得太阳电池用Si片的切片厚度不断降低,而超薄的太阳电池用Si片必须通过多线切割机进行切割.基于Si片切割过程中砂浆性能对Si片表面质量、Si片成片率和切割线寿命的影响,分析了多线切割机中切削液的性能,并采用不同工艺参数多次进行试验,总结出了砂浆对太阳电池用Si片切割状态的影响因素.通过分析,得出了改善砂浆性能来提高多线切割机切片性能并获得更高的Si晶片表面质量的方法.     

多线切割张力控制系统研究

对多线切割张力控制技术进行论述,分析了多线切割机中张力控制技术的特点,在此基础上,提出了一种多线张力的控制方法。该方法基于对张力信号变化的实时检测,将检测张力的变化转变为电机扭矩的变化,通过控制扭矩电机的扭矩来调整切割线张力,由控制软件来实现对切割线张力的检测、分析与控制。控制精度高,成功实现了在双主辊系统驱动下的多线切割机张力控制。实验证明,该方法可靠、稳定,能很好地检测并控制多线切割系统张力精度。     

切割速度对硅片翘曲的影响

根据线切割机的工作原理,结合12英寸(1英寸=2.54 cm)单晶直径大、SiC磨削路线长和磨削发热量大的特点,制定了包括线速度、耗线量、砂浆温度、砂浆流量及各部分温度的工艺参数。根据单位时间内钢线的切割面积相等的理论设计了对称变化的切割速度曲线,又根据砂浆磨削能力的影响设计了非对称变化的切割速度曲线。用两种切割速度变化曲线进行了对比实验,根据实验结果确定在实际切割中必须考虑砂浆磨削能力的影响从而必须采用非对称的切割速度变化曲线。分析了影响线切割机加工质量的因素,并且给出了提高线切割机加工质量的改善方向。     

单线切割设备的切割方式研究

通过对两种单线切割方式(摆动切割和不摆动切割)切割线受力情况的分析,比较了切削线与工件之间的接触长度与受力状态,以提高晶片切割表面质量和切片效率并减小切削线断线率的切割方式为研究方向,通过理论分析和实际应用得出:摆动切割时切削线与工件的接触长度较小,法向压力和切向切割力会更小,所以切削线不容易断裂;承载着工件的工作台的弧形摇摆也促进了切割运动,而且与切割运动同步还可以保证对切割面有一个合理的研磨作用,也使得切削粉末可以更容易排出,有效提高切割表面质量。     

线锯切割失效机理的研究

通过对多线切割机切割工艺过程中失效机理的分析研究,提出了影响线锯切割失效的因素且分析了锯丝断线的主要原因和砂浆磨粒丧失切削力的过程,并提出了相应的预防改进措施。     

多线切割机的切割运动分析

半导体晶圆不断向大直径方向发展,内圆刀具的单片切割方式已经不能满足大直径晶圆的切片要求,随着多线锯切割技术的完善,多线切割机已经是半导体材料切片的主流设备。对砂粒在切割过程中的运动进行了分析,同时对钢线张力、切削进给运动进行了理论分析。