激光干涉光刻技术的分析

在微细加工和集成电路(IC)制造当中,光学光刻技术是毋庸置疑的主流技术。现在的IC集成度越来越高,这就对光刻分辨力有了更好的要求。但光刻物镜数值孔径(N A)和曝光波长(λ)在一定程度上限制光学光刻的分辨极限。作为一项新兴光刻技术的激光干涉光刻,不仅设备价格较低、结构简单,而且工作效率高、分辨率高、大视场曝光、无畸变、焦长深等许多独特之处,分辨极限更是达到了λ/4的水平,在微细加工、大屏幕显示器、微电子和光电子器件、亚波长光栅、光子晶体和纳米图形制造等相关领域有很好的应用,极大拓展了这些领域在未来的进步空间。     

非完整阵列接收下的虚拟接收目标定位技术

在浅海近似绝热环境中,利用虚拟接收方法对声源测距的目标定位方法相比于传统的匹配场定位方法可以避免对环境参数和声场模型的依赖,同时省去生成拷贝场时的大量计算·利用虚拟接收方法对声源测距主要是通过估计虚拟声场干涉条纹的斜率进行定位,而非完整阵列接收相当于引入了干扰项,破坏了虚拟声场干涉结构。引入了一种基于图像Hessian矩阵特征值分析的多尺度线性滤波器,通过数值模拟和实验数据处理,结果表明,该滤波器可以有效地增强干涉结构、检测和提取干涉图案中的条纹信息,提高非完整阵列接收条件下的虚拟接收目标定位技术的测距性能。     

一种浅海声矢量场干涉结构提取方法

针对浅海Pekeris环境下声矢量场的干涉特征,基于简正波理论分析了在频率-距离域上声强谱、质点振速自谱、复声强谱和波阻抗谱干涉结构的形成机理,探讨了对干涉结构的波导不变量表征,并进行了宽带辐射声场干涉结构的海上测量试验。仿真研究和海试数据分析均表明,在频率-距离域上,上述4类物理量都会呈现稳定的、可用波导不变量β表征的干涉结构,而复声强独有的纯干涉分量更能体现波导的干涉效应。最后引入多尺度线性滤波器对海试实测LOFAR图进行处理,处理结果表明该滤波器可有效地增强干涉特征,更利于检测和提取干涉图案中的条纹信息。     

水下声辐射激励水表面声波的特征参数测量

采用激光干涉方法对水下声辐射激励水表面声波的特征参数频率和振幅进行了测量研究。从理论上对水表面声波激光相干测量信号的频谱构成进行了分析,在此基础上提出了水表面声波两个重要声学参数频率和振幅的解算方法,并通过数值仿真进行了验证。搭建了一套简单的激光干涉测量实验系统,对不同频率和声压激励的水表面声波进行了测量实验,验证了水表面声波频率和振幅解调方法的准确性。对水表面声波横向传播的振幅衰减现象进行了初步的实验研究,结果表明水表面声波的频率越高,振幅的横向衰减越快。研究表明激光相干检测方法能够准确地实现水表面声波振幅和频率的测量。     

基于光热-激光背向散射干涉的生物分子定量检测技术

针对传统的显色法中显色产物的定量检测问题,发展了1种结合光热效应和激光背向散射干涉(back-scattering interferometry,BSI)的生物分子定量检测技术。发生显色反应后的生物分子、离子溶液吸收激光会产生光热效应,使得溶液折射率发生改变,其改变量与待测的分子、离子浓度在一定范围内呈正相关。利用激光背向散射干涉技术可实现折射率变化的灵敏检测,从而实现待测物质浓度的定量检测。文中以亚硝酸盐为例,利用改进的格里斯重氮化反应,使得亚硝酸盐中的NO2-转变为紫红色偶氮化合物。采用波长为532nm的激光,利用显色反应后溶液的光热效应和BSI技术实现了NO2-质量浓度的定量检测,使用3σ方法得到检测限为0.05mg/L。     

大面积金刚砂结构地坪激光整平技术应用研究——以东百瑞兴佛山三水物流中心为例

大面积金刚砂结构地坪一次成型采用激光整平技术,大大提高了施工质量,降低施工成本。文章结合某工程实例,介绍了大面积地坪激光整平的技术特点及整平机的型号选择,论述了大面积地坪施工流程及混凝土浇筑、激光整平、金刚砂撒料及分隔缝切割的施工控制要点。     

PCB激光制版曝光误差分析及校正

本文所研究的PCB激光制版系统采用了基于空间光调制器的数字光刻技术,文中首先阐述了数字光刻技术的原理,给出曝光强度函数并建立与扫描距离之间的数学模型。之后针对实际曝光过程中存在的曝光误差给出公式,并带入该数学模型中进行分析,给出在一定扫描速度下不同的偏移量对实际曝光位置的影响情况。该分析结果对提高PCB激光制版系统的精度指标具有一定的指导意义。     

考虑地基影响时冷却塔动力特性的试验研究

利用激光全息干涉法的实验方法,对铜制“A”型支撑双曲冷却塔模型在黄土地基和岩石地基上的固有频率和振型进行了试验研究.振型是用激光全息干涉法记录的,生动形象,条纹清析,且是非接触记录,无附加质量影响.文中给出了两种不同地基上冷却塔的固有频率、部分振型曲线和振型照片,为冷却塔的理论研究和结构抗震设计提供了重要的参考依据.     

大面积地坪激光整平机施工技术分析

激光整平机施工技术能解决传统施工工艺中存在的不足。基于此,论文简述大面积地坪激光整平机的施工特点,对大面积地坪激光整平机的施工工艺展开研究,进而对大面积地坪激光整平机的施工效果进行分析,希望可以为相关人员提供参考帮助。     

大面积一次成型耐磨地面施工

以某博览中心混凝土耐磨地面施工为例,介绍了激光整平机在大面积混凝土耐磨地面施工中的应用,展示了激光整平机在大面积混凝土地面施工中卓越的性能,并对激光整平机的应用以及混凝土耐磨地面施工中应该注意的问题进行了总结。