将1微米投影光学计改为0.2微米的读数

现在我厂用作精密测量的0.2微米投影光学计是由东德蔡司厂1微米投影光学计改装而成的,经北京市计量处鉴定认为符合要求。这项改革的工作量不大,做法简单易行。经多年使用证明改装后精度高,示值稳定,性能良好。一、仪器的结构刻度值为0.2微米和1微米的投影光学计的光路如图1a所示。光源1通过聚光镜2和棱镜3,将位于物镜6焦平面上的刻线标尺 4照亮(刻线标尺的结构及尺寸见图1b)。根据几何光学的成燉原理(图1d)可知,当刻线标尺上的光线经物镜6射向反射镜组7和8,并由摆动反射镜8将入射光原路反回后,标尺的刻线必定在与其同一焦平面的指标线位置上成像(图1c)。此时,标尺的刻线像便和指标线重合,并由投影目镜12放大,经过倒向反射镜13、14和15,将标尺刻线和指     

投影立式光学计常见故障及其修理

1微米标尺在视场中斜向运动的两种情况 (1)测轴上下滑动时标尺斜向运动. 产生原因:主反射镜摆动时的转轴与分划板刻线面不垂直所造成的. 修理方法:拧下格值圈,旋松测轴组与镜管固紧用压圈,旋转轴套,使整个测轴组绕光组旋转一个角度,然后移动测轴观察视场,直到标尺像刻线端与指标线某一虚刻线始终对在一个位置上即可,误差不超过1/10短刻线,调好后再紧固分划板组与滑板组的紧固螺钉,然后装上隔热玻璃组和标牌.     

扫描电镜测量微米级长度的不确定度评定

对扫描电镜测量微米级长度的不确定度进行了评定。对引起不确定度性的许多因素，如扫描电镜的分辨率、测量的重复性以及标尺的标定误差等作了分析和计算，特别对输入变量相关时的合成问题作了研究。最后得到了S-4200型扫描电镜微米级测量长度的不确定度。     

炫耀光栅位移测量系统的精度试验

炫耀光栅位移测量系统采用尤学倍增与电子细分相結合的方法,使系统的分辨率达到0.4微米。与金属线纹尺比较测量,系统在300毫米内的极限误差为1.5微米。试验证明炫耀光栅位移测量系统具有较高的精度,如能进一步提高标尺光栅的刻划精度,并相应地提高分辨率,系统的实际精度还可以提高。     

OPTON“万工显”纵向标尺放大倍数与微米分划尺方位的调整

在分划板镜筒上装一个辅助夹具(如图l所示),就可以将滑板装在上面,一面观察,一面调整。具体做法如图2所示。将辅助夹具6装在微米分划板镜筒4的外露部分,用螺丝5锁紧。略微松开顶丝2,装上纵向托板,用拨杆8的锥度端插入夹具6的调整孔7内,从目镜中观察,用手拨转夹具(即转动分划板4)。当标尺的某一条刻线分别对准两相邻0.1毫米双线的0微米和10微米两位置且偏差小于0.5     

基于单模光纤的微操作机器人系统标定方法

提出了用牛顿环中心位置标定微操作机器人坐标系的新方法.将单模光纤输出的准球面波与平面波干涉产生牛顿环,根据牛顿环在二维标尺上的位置确定光纤输出端的二维坐标.与平面波垂直的另一路平面波与准球面波干涉以确定光纤输出端的第三维坐标.将光纤夹持在被标定部件上,分别标定各部件的机械轴所确定的坐标系与标尺坐标系的变换矩阵后,由矩阵运算得到各坐标系之间的关系.测量精度为亚微米量级.标定时,图像质量不受显微物镜景深的限制.     

正性光致抗蚀剂主要成膜树脂──酚醛树脂

正性光致抗蚀剂主要成膜树脂──酚醛树脂武玲，余尚先集成电路的小型化与集成化是以微米级及亚微米级的结构单元形成凸像为基础的，而凸像是将抗蚀剂均匀涂布在基片，通过底片曝光、显影形成的。因此，现代化集成电路的发展要以高分辨率的光致抗蚀剂为先决条件。微电子元...     

机械式压力控制器检校建议与方法

一、用户的检校目的 设定点可调型的压力开关可以按控压范围反复实现对压力值的设定,使用灵活,调整方便.而用户使用开关的目的就是想通过设定自己所需压力值来实现对压力的控制,对有压力标尺的开关能够调到设定点压力值附近,但对没有标尺的开关就无法进行压力值设定,特别是国外一部分压力开关(像UE的一部分真空压力开关和差压开关),也...     

小建议二则

一、给立式光学比较仪装上投影装置 JD、型、JDG-1型立式光学比较仪的投影装置由投影照明灯、反射镜和投影筒组成。投影筒又由屋脊棱镜和投影屏组成,如图1所示。其光学原理是:微米标尺象和指标线通过投影物镜、屋脊棱镜和反射镜后被同时放大并投影在投影屏上。为了更加方便地观察影象和提高对线精度,我们在投影屏前面的45 mm处又加上一个二倍放大镜(透镜),使投影屏所呈     

福禄克Tix660红外热像仪可对微米级别的目标进行检测

正微米级小芯片的检测一直是研发领域检测的难点,常见的热像仪可有效检测的最小目标通常为0.2mm以上,对于微米级别的芯片晶格和元器件来说,需要在像素和光学系统上均达到一定性能要求才可以准确检测。福禄克高端红外热像仪配套专用的微距镜头,可对最小32μm的目标进行有效检测。     

倾斜镜面成像的自动调焦方法

倾斜镜面成像系统的像面与光轴倾斜,仅利用轴向自动调焦无法实现像面整体清晰。为此提出一种基于图像清晰度判断的自动调焦方法。该方法将轴向调焦与角度调焦相结合,通过步进方式平移和旋转像接收面,利用离焦函数判断聚焦情况,采用数据拟合回归的方法实现了像面整体清晰。该方法在椭偏成像系统的应用结果验证了其有效性,调焦精度达到微米量级。     

产品供销服务

长度计量器具(一)检定光学仪器用标准检具:常规检具有,各种格值玻璃标尺,00级矩形刀口直角尺,00级平面直角尺,00级检定直尺,十字线心轴,专用短标尺,大小锥体心轴,表架,四面六面棱体,万工显读数装置示值用检具,三珠工作台。投影仪用的分辨率板和专用分划板,300mm￣500mm玻璃标尺。接触式干涉仪用的开槽平晶开槽量块和滤光片检测装置。测长仪内测量示值误差用的高精度光面环规。测绘仪器用的f550和f1200格值0.1"测微平行光管,f1600平行光管,两维微倾台和格值0.08mm分划板。表类量仪专用三珠工作台。金相、生物显等像质用的星点板和其他检具。(…     

标尺校准的不确定度评定方法

标尺是带有两个固定靶标座的基准尺,主要用于激光三维坐标测量设备现场测量过程的质量控制.标尺的理论值通常采用三坐标测量机进行校准,文章通过对标尺理论值校准过程中涉及的人、机、料、法、环要素的分析,对标尺校准的不确定度进行分析和评定,该方法完全能够满足量值溯源四分之一原则的要求.     

产品供销服务

长度计量器具(一)检定光学仪器用标准检具:常规检具有,各种格值玻璃标尺,00级矩形刀口直角尺,00级平面直角尺,00级检定直尺,十字线心轴,专用短标尺,大小锥体心轴,表架,四面六面棱体,万工显读数装置示值用检具,三珠工作台。投影仪用的分辨率板和专用分划板,300mm￣500mm玻璃标尺。接触式干涉仪用的开槽平晶开槽量块和滤光片检测装置。测长仪内测量示值误差用的高精度光面环规。测绘仪器用的f550和f1200格值0.1"测微平行光管,f1600平行光管,两维微倾台和格值0.08mm分划板。表类量仪专用三珠工作台。金相、生物显等像质用的星点板和其他检具。(…     

产品供销服务

长度计量器具(一)检定光学仪器用标准检具:常规检具有,各种格值玻璃标尺,00级矩形刀口直角尺,00级平面直角尺,00级检定直尺,十字线心轴,专用短标尺,大小锥体心轴,表架,四面六面棱体,万工显读数装置示值用检具,三珠工作台。投影仪用的分辨率板和专用分划板,300mm￣500mm玻璃标尺。接触式干涉仪用的开槽平晶开槽量块和滤光片检测装置。测长仪内测量示值误差用的高精度光面环规。测绘仪器用的f550和f1200格值0.1"测微平行光管,f1600平行光管,两维微倾台和格值0.08mm分划板。表类量仪专用三珠工作台。金相、生物显等像质用的星点板和其他检具。(…     

因瓦条码水准标尺基本码分划误差不确定度分析

文章阐述了依据JJG(测绘) 2102—2013 《因瓦条码水准标尺检定规范》,使用因瓦条码水准标尺竖向检定系统,对常见的因瓦条码水准标尺的“基本码分划误差偏差”项目的检定结果进行了不确定度分析、评定。该不确定度的评定对因瓦条码水准标尺的检定具有重要意义,确保了其检定结果的可靠性。     

机械天平对测量结果产生的不确定度分析

机械天平又分为具有阻尼器的微分标尺天平和无阻尼器的普通标尺天平。现以日常工作中经常使用的无阻尼器的普通标尺天平对测量结果带来的不确定度进行分析．     

二等补偿式微压计的读数问题

补偿式微压计的大容器与丝杠以螺旋连接,测量压力前调整旋转标尺和垂直标尺,使其处于零位,调整小容器的高低位置,使反光镜中上下锥尖尽量靠近但不接触。测量时旋转与丝杠相连接的顶盖来移动大容器,调整压力使小容器中的水位恢复初始位置,读取垂直标尺和旋转标尺刻度,以此方法确定大容器的位移变化。由于垂直标尺的分度值为1mm     

光学计常见故障分析与调修方法

正目前各地区计量所和大型企业计量室使用的光学计主要是由贵阳新天光电科技有限公司生产,在频繁使用中,光学计容易出现三大故障。笔者从事光学计检定和修理工作的六年间,检定光学计总台件数108台,仅针对贵阳新天光电科技有限公司生产的型号为JD3的光学计的各类故障做了详细的统计分析,相关数据如表1所示。由表1数据可知,光学计的示值误差超差故障最为普遍,示值稳定性超差故障位居第二,微米标尺在视场     

不同焊接工艺Inconel 625镍基合金管接头焊缝布氏硬度测量标尺的选择

通过布氏硬度试验,研究了测量标尺对不同焊接工艺Inconel 625镍基合金管接头焊缝压痕形貌和布氏硬度的影响。结果表明：在不同测量标尺条件下,堆焊镍基合金管接头焊缝的布氏硬度压痕边缘较为光滑平顺;在HBW 5/750和HBW 2.5/187.5测量标尺条件下,手把焊和氩弧焊镍基合金管接头焊缝的布氏硬度压痕形状趋向于圆形;在同一载荷与压头直径平方的比值条件下,采用不同测量标尺测得的布氏硬度基本相同;对于堆焊镍基合金管接头,建议采用HBW 10/300测量标尺;对于手把焊和氩弧焊镍基合金管接头,建议采用HBW 5/750测量标尺。