用低温泵获得清洁真空

1.前言没有现代真空技术,当今的科学和技术是不可想象的。因而毫无疑问,发展获得真空的新方法仍然是十分重要的。较新的方法之一是称之为低温泵的低温技术的采用。低温泵是获得真空最直接的手段:到达冷壁上的气体分子凝聚在那里。这一过程相当简单,因此从真空技术开始起,它就在不同程度上得到了应用。所涉及到的实际问题就是如何安全可靠地获得冷量。     

低温泵的应用

由于低温泵具有无污染、工作压强范围宽、极限真空度高、排气量大、使用方便等优点,因而在各种需要应用真空的领域有了愈来愈多的应用。1.半导体工业真空溅射、汽相沉积、离子注入、电子束制版、离子束剥离、等离子刻蚀等新工艺的出现,不断地推动着半导体和集成电路工业的革新和发展。这些工艺对真空技术的共同要求是清洁无油、抽速较大,并能在器件工艺室内快速获得高真空。采用小型致冷机低温泵完全能满     

真空技术

一般问题 在来自冷抑制栅的离子轰击下金属表面的浮游电势──《Vacuum》,1978,28,No8/9, 329──331(英文) 在用丝网作冷阴极离子源时,离子束与中性原子,溅射材料以及电子混合一起。介绍了用这种离子束轰击的金属表面浮游电势的测量情况。如果放电电流不太低,则指示的浮游电势在阴极电势的几十伏以内。估算了全部离子和电子流。图4,表1,参考文献3 (翁国屏) 用于红外线强烈的co2激射器脉冲的超高真空的低和高温的硅玻璃槽──《Reviewof.scientific,instruments》,1978,vol,49,Noll,P1571～1573。 本文叙述密封的硅玻璃槽在超高真空 ( 4 …     

真空技术

1.何谓真空(略) 2,真空获得方法 提到真空泵,常使人想起油扩散泵与油旋转泵的机组。实际上常用这种机组获得10-4～10-6毫米汞柱的真空。但如所周知,最近出现了很多其他机组。总之,根据对于真空的要求,可以考虑种种的泵及其机组。对于真空的要求主要有以下几点:1.必要的真空度;2.必要的真空实质(各种剩余气体的分压强);3.在一定真空度下的抽速。 首先谈谈第3项抽速问题。一般工业的大型装置,例如真空冶金炉及真空管的抽气袋置等,必须抽出出现的气体,因而当然大的抽速是必要的。但在抽空物理装置特别是没有特殊气源的真空装置时,如后所述,即使…     

国际标准ISO/3753真空技术用图形符号

1.应用范围 该国际标准规定了在真空技术中使用的的图形符号。 2.参考 ISO3529/2真空技术-词汇第二部分:真空泵及有关术语。 3.概述 对于图中的设备来说,除阀门外,假若不引起基本符号混淆,改变装置的进、出口位置是允许的。 组合的符号有关尺寸应该与附录中表示的大致对应。 4.图形符号国际标准ISO/3753真空技术用图形符号@姜勇     

现代低温泵优化设计

现代低温泵（制冷机低温泵）是七十年代末发展起来的一种新型真空泵，目前国外巳大量生产并在半导体微电子技术、新型材料科学、光学和装饰类镀膜、原子能工业、空间模拟以及环境试验等方面得到了广泛应用。本文简要介绍了低温抽气机理、典型结构及主要参数和尺寸的设计计算，并给出了降温时间计算式，最后对低温泵优化设计提出一些看法。     

Slovay制冷机低温泵

介绍我们自己研制的Ｓｏｌｖａｙ制冷机低温泵的压缩净化机且，改进型Ｓｏｌｖａｙ两级膨胀机以及低温泵体的设计及特点，目前已完成低温泵的中试生产，开始批量投产。     

现代低温泵的结构

对各种来源的情报进行分析表明，最近十年来供压送120K以下低温液体用泵的产量大大增加了。低温液体用不同结构的离心泵和活塞泵在冶金、化工、电力、食品工业中，以及在动力技术、仪器制造．航空、宇航、原子能技术、生物、医疗、物理、农业等方面获得了广泛应用。各工业部门的发展把在各工艺过程中应用低温介质看成技术进展的主要方向之一。这就要求进一步增加低温泵的产量，     

制冷机低温泵的再生

本文介绍了制冷机低温泵的几种典型的再生方法 ,讨论了再生过程中再生起点和再生终点的判断方法以及低温泵冷头温度的测量方法     

索尔文制冷机低温泵

介绍自己研制的索尔文制冷机低温泵的压缩净化机组、改进型索尔文两级膨胀机以及低温泵体的设计及特点。目前已完成低温泵的中试生产，开始批量生产。     

中性束注入器漂移管道用低温泵的设计

随着中性束注入器研究的深入开展,我们在成功地设计了一台真空室用的400 000 L/s低温泵的基础上又对漂移管道用的20 000 L/s的低温泵进行研制.本文在详细分析漂移管道特点及其对低温泵结构的特殊要求的基础上,对低温泵的结构及冷凝板的温度分布进行具体的分析.设计了一台符合中性束注入器漂移管道特殊要求的液氦低温泵.     

低温泵的新发展

本文评述了小型致冷机低温泵，对氦、氢吸附抽除及供核聚变实验用超大型低温泵。     

真空技术的未来

一、前言 在美国真空学会第30届年会召开之际,特别是借“真空科学与历史,”这一会议议题的机会,发表一篇专门讨论“真空技术未来”的文章是适宜的。但是,应当指出,这篇文章不同于通常意义的科学论文,它明确客观地提出有关各种结论的证据。当然,这些结论和证据之间的关系在很大程度上带有主观性,但本文最终目的是预测未来。因此,文章属于短论的一类,而不是真正的科学论文,其中的许多论点来自于本文作者在马德里召开的第9届国际真空会议和第5届团体表面会议发表的“真空获得与测量的极限”。但是,应当指出,本文对未来的展望不包括真空科学,而…     

现代的真空技术

本文综合了国内外真空技术发展的最新成就，论述了真空获得的新动向，以及真空技术在工业领域中的应用。     

超高真空技术

超高真空技术的研究和它在应用方面的研究在真空技术的全部范围内所占的比重年年增加,这点各位读者是知道的。回顾,在10年前的1953年,D.Alpert在应用物理的杂志上发表了“超高真空”的获得和测量的全部情况,当时我国的真空技术工作者似乎还末注意到。可是作者当时虽然正在研究镀膜,但是,深感这方面的研究对超高真空技术是不可少的,必须尽快设法把这个技术建立起来,进行种种利用以作为表面研究的手段。近十年来国内外对这方面的技术,从物理、表面化学、等离子和宇宙探索等方面引起了注意,作为技术基础进行研究,并且在工业方面也制出起高真空…     

真空技术的最新动向

1要采技术开发的一般因素我认为目前引发或者迫切要求技术开发的社会因素主要有五项：（1）信息共有化──电子技术、电子计算机技术、信息通信网技术。（2）福利、健康──生物工程学技术、生命科学、福利社会科学。（3）能源供给和环境问题──能源工程学、环境控制技术、地球科学。（4）经济竞争基本战略科学、重视技术政策（国家和企业）。（5）推进国际合作和维持和平──防卫技术、宇航技术、适应地区支援技术。通观以上五项，世界正在向形成地球家族的方向发展，技术也向开放、共有的方向迅速展开。另一方面，最初已投资研究开发的人…     

真空技术的最新动向

真空技术的最新动向①林主税博士（日本真空技术株式会社）ＮｅｗＤｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｏｆＶａｃｕｕｍＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＤｒ．ＣｈｉｋａｒａＨａｙａｓｈｉ（ＵＬＶＡＣＵｌｔｉｍａｔｅｉｎＶａｃｕｕｍ）一、要求技术开发的一般因素我认为目前引发或迫切要求技...     

低温泵降温时间的计算

本文继“低温泵降温时间的计算和１００００升／秒低温泵的抽气特性”［１］的一文后，通过数学处理，用梯形公式进行积分，最后给出降温时间的计算公式。简化了计算方法非易于掌握，可以作为低温泵工程设计的参考。     

液浴氦低温泵

叙述了无液氮槽的液浴氦低温泵，介绍了其结构和试验结果的详细情况.