一种提高极值法监控精度的方法

提出了一种提高极值法监控薄膜淀积层厚精度的方法。该监控方法通过改变各层膜的反射率极值过正量而将被镀膜层精确地停镀于其膜厚的设计值。这一方法既可提高淀积规整膜系时的层厚监控精度,也可提高淀积非规整膜系时的层厚监控精度。     

光学薄膜膜厚监控中极值法的应用

极值法是目前国内外真空镀膜膜厚监控中应用最广泛的方法。本文阐述了此法的膜厚监控原理、系统、方法。重点讨论了为提高监控精度而采取的一些改进措施。     

基于蒙特卡洛法的探测传感器基准误差仿真

在简要介绍探测传感器发展趋势基础上,分析了目前探测传感器精度评估和基准获取方法,并探讨该基准获取方法的原理误差,提出利用蒙特卡洛方法对探测传感器基准误差进行分析的方法,并利用该方法对探测传感器的精度水平、影响因素、坐标不重合等情况进行了仿真分析。仿真结果为探测传感器精度评估方法提供了理论依据,对未来探测传感器基准获取技术的改进具有指导意义。     

氮化铝薄膜的椭偏法研究

文章采用真空磁过滤电弧离子镀法在单晶Si(100)基片上成功制备了氮化铝(AlN)薄膜,并利用椭偏法对AlN膜进行了研究.根据沉积方法的特点,建立合适的膜系进行拟合,得到薄膜的折射率、消光系数和几何厚度;分析薄膜与基片之间的附着方式为简单附着,以及引起薄膜材料比块体材料折射率偏小的原因为:薄膜中含有空隙,Al/N不符合化学剂量比,薄膜表面形成了Al2O3钝化层.     

离子束增强沉积制备氮化硅薄膜的计算机模拟

Monte-Carlo计算机模拟程序,SIBL,用来描述离子束增强沉积(IBED)制备氧化硅薄膜的生长过程,提供薄膜组分的深度分布及界面混合等有关信息.它是TRIMSP的发展,并利用了ZBL(Ziegler,Biersack,Littmark)最新的二体势和电子阻止本领.模拟计算中,用一个间断交替的薄膜生长过程(先沉积一层硅原子,然后注入一定量的氮离子)来代替实验上一个沉积原子和离子轰击同时进行的连续过程,且在注入一定量的离子后,对每层原子的组份,密度进行修正,使模拟达到动态化.计算结果表明,薄膜组份比随离子原子到达比的变化关系以及组份的深度分布和实验符合很好.     

衍射光学元件的加工工艺及其在各种光谱镜头中的应用

综述了当前衍射光学元件的加工制作工艺方法,包括光刻法、薄膜沉积法、直写法、金刚石车削法、准分子激光加工法、灰阶掩模法和复制法。详细说明了这几种方法加工衍射光学元件的工艺过程,并分析了各种加工方法的优缺点。介绍了衍射光学元件在各种光谱镜头中的应用,分别给出了衍射面在可见光波段、红外波段和紫外波段系统中的具体设计实例。最后得出结论,说明衍射光学元件可以增加设计自由度,简化系统结构,减小体积,减轻质量,改善像差,提高系统成像质量。     

计算全息图实现光学变换的计算机仿真

讨论了计算全息图作为全息透镜以实现光学变换的方法,并利用计算机仿真出了结果,为检验理论设计的正确性提供了一种可靠的方法。     

刘易斯转折点的启示

文章概要地说明我国PCB产业已经接近＂刘易斯转折点＂,并指出我国PCB产业的出路是转变生产方式。     

单点金刚石切削InSb单晶的研究

InSb红外焦平面探测器一直在中波波段占据重要地位。随着科技的发展,迫切需要针对InSb单晶的精密加工方法。采用单点金刚石切削(Single Point Diamond Turning,SPDT)精密机床对InSb晶体进行减薄工艺开发。在机床加工工艺中,可变参数有主轴转速、单次去除量和进给速度等。通过正交试验,确定了单点金刚石切削InSb晶体的最佳工艺参数。对于切削后的InSb晶体,结合双晶衍射测试,其切削损伤低于3 μm。InSb红外器件流片证实单点金刚石切削InSb晶体工艺能满足用户的使用要求,获得较好的结果。     

数字光纤通信系统仿真软件的研究

本文根据数字光纤通信系统各部分的数学模型进行编程,实现了从电发端到电收端整个系统的特性仿真,建立了一个可用于评估光纤通信系统及开展理论研究的实验平台,能够显示信号波形,性能眼图等。     

双裂隙摄影验光方法的计算机模拟

本文给出了双裂隙偏心摄影验光原理及实验系统,对不同屈光度的眼瞳像的照度分布进行了计算机模拟计算,并提出了利用眼瞳像的照度分布来计算人眼屈光度的方法。     

16QAM通信系统的Matlab仿真实现

介绍了利用计算机仿真工具Matlab,构建完整的16QAM通信系统的实现方法。重点介绍了基于全数字化解调算法的定时同步和载波同步模块的实现过程及仿真结果。     

高稳恒温晶体振荡器晶体拐点的自动调试

为了缩短高稳恒温晶体振荡器(OCXO)的开发周期,推动其批量化生产,利用计算机强大的分析控制能力以及计算机与外围设备方便可靠的通讯,提出了一种OCXO拐点自动调试的方法。实验研究表明这种方法可以有效优化OCXO的启动特性,3min内其稳定度可达1×10–8,提高OCXO的频率稳定度,其长期频率稳定度为0.5×10–8。