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研制成功了一种新型以 SnO_2为基质材料的常温 CeO_2气敏元件(简称 CeO_2元件).CeO_2元件无需要加热器也无需贵金属,该元件结构和制备工艺简单。CeO_2元件对烟和某些可燃性气体灵敏度高、稳定、响应快、恢复快。本文对已获结果进行了简单地讨论。 相似文献
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NO_2气体传感器敏感材料 总被引:7,自引:2,他引:5
描述了近十年来用作NO2 气体传感器的酞菁类和氧化物半导体敏感材料。总结了这两类材料的成膜条件、薄膜表面形态和结构以及它们的敏感特性。为优化薄膜的气敏特性提供了参考 相似文献
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为了改善本征石墨烯基电阻型气体传感器的室温气体响应性能,采用电子束蒸镀方法在原器件沟道区域分别沉积六种超薄金属,包括1 nm的Au、Ag、Pt、Pd、Ti和Al,并检测这些器件对NO_2和NH_3气体的响应特性。发现修饰有1 nm Pt的器件对通入3 min 3×10-6 NO_2气体有最高的响应灵敏度,达-56.6%,比原石墨烯器件提高了约9.3倍,但该器件响应饱和较早。而修饰有1 nm Ti的器件对NO_2气体的响应在灵敏度、恢复性等方面都有较好改善,且对NO_2气体浓度有最佳的线性响应,表现出较大的动态探测范围。然而除1 nm Ti以外,修饰有其他五种金属的石墨烯对400×10-6 NH_3的响应均没有明显改善。文章对不同金属材料修饰导致器件气体敏感性能差异的原因进行了分析与讨论。 相似文献
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针对传统硅基微热板半导体气体传感器存在的热稳定性差,工艺复杂等难点,采用良好热导特性的AlN陶瓷为衬底,利用柔性机械剥离工艺和半导体材料In2O3/Nb2O5/Pt厚膜工艺制备了NO2微热板气体传感器.传感器中间加热区周围采用热隔离结构设计,降低了加热区温度分布梯度,提高了温度效率.利用ANSYS有限元工具进行了热结构仿真分析和响应测试分析,验证了热隔离结构设计的合理性.气敏测试分析表明,传感器在不同加热功率条件下,对5×10-6~100×10-6的NO2气体都具有良好的气敏响应特性,经对比分析,在功率150 mW~200 mW时稳定性最佳,且响应速率小于60 s,恢复时间在100 s左右,可实现5×10-6~100×10-6浓度的NO2气体良好检测功能. 相似文献
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采用MEMS技术制作了硅基微型NO2气体传感器,选用高分子金属酞菁聚合物酞菁铜作为敏感膜,从半导体理论出发解释了酞菁铜的敏感机理。阐述了该传感器的结构与工艺流程,并测试了传感器的气敏特性、温度特性、响应时间和恢复时间等敏感特性。实验结果验证了酞菁铜对NO2气体的敏感性,该传感器可以检测到10^-6量级的NO2气体,且响应时间快。 相似文献
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以吡咯(Py)单体为前驱液,六水合三氯化铁(FeCl3·6H2O)为氧化剂,通过化学氧化聚合法与自组装相结合工艺在柔性聚酰亚胺(PI)衬底上制备聚吡咯-二氧化铈(PPy-CeO2)复合薄膜.通过紫外-可见吸收光谱(UV-Vis)、傅立叶红外光谱(FTIR)、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)及X射线衍射(XRD)、X射线电子能谱分析(XPS)对纯PPy和PPy-CeO2复合材料进行了表征分析,结果表明PPy-CeO2呈典型的核-壳结构.在室温条件下研究了纯PPy薄膜和PPy-CeO2复合薄膜对二氧化氮(NO2)的响应特性,结果表明,PPy-CeO2复合薄膜传感器显示出更优的响应特性,灵敏度为纯PPy薄膜传感器的12.6倍,且具有良好的重复性和选择性.最后讨论分析了PPy-CeO2复合薄膜传感器的NO2敏感机理. 相似文献
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通过简单可控的滴涂成膜和在线电聚合方法,将氧化石墨烯(GO)和聚香兰素(PVN)修饰到玻碳电极(GCE)表面,制备了PVN-GO复合膜修饰GCE,即亚硝酸盐(NO2-)电化学传感器.伏安研究表明:PVN-GO复合膜对NO2-的电化学氧化具有良好的催化作用.借助于扫描电镜技术和电化学交流阻抗谱(EIS)技术,对PVN-GO复合膜的表面形貌和电导性进行了表征.最优的检测条件下,NO2-的检测线性范围为2.0 ×10^-8~1.1 ×10^-2mol/L,检出限低至5.0 ×10^-9 mol/L(S/N =3).对传感器的性能进行了考核,结果表明:该NO2-传感器具有良好的稳定性和重现性,灵敏度高,选择性好.将传感器应用于南湖水样中亚硝酸盐含量的测定,结果令人满意. 相似文献
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Youngmin Ki-Young Jinwoo Jinnil Gwi-Nam Byeong-Kwon 《Sensors and actuators. B, Chemical》2009,140(2):407-411
This study deals with the fabrication of an ozone gas sensor using single-walled carbon nanotubes (SWCNTs) as sensing material. The SWCNTs are dispersed by N,N-dimethylformamide (DMF). The CNT-DMF solution was dropped between interdigitated electrodes’ fingers to fabricate ozone gas sensor. For ozone environment, a commercial ozone generator was introduced. To improve sensor response, the deposited carbon nanotubes network was thermally treated at high temperature in a furnace. The sensor exhibits high sensitivity to ozone gas at concentration as low as 50 ppb, and fast response time, which is promising for future commercialization of carbon nanotubes based ozone gas sensor. 相似文献