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用于衍射微光学元件制备的无掩模光刻技术 总被引:1,自引:0,他引:1
提出了一种新的基于数字微镜的无掩模光刻技术,将以往的模拟掩模发展为数字掩模,为大规模、快速、灵活制作衍射微光学元件开辟了一条新的道路;重点研究了数字掩模技术的实现原理,并进行了验证。 相似文献
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研究了一种基于数字微镜的无掩模光刻系统.利用数字微镜输出的高精度数字掩模,结合高质量的高倍精缩投影光学系统,理论上完全可实现亚微米级衍射微光学元件的制作.该文从照明系统、数字微镜芯片、精缩物镜设计等方面进行了系统总体设计.利用该系统成功制作了5×5达曼光栅、8台阶闪耀光栅和8台阶菲涅耳透镜,进一步论证了该系统的可行性. 相似文献
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二元光学元件制作过程中的线宽误差 总被引:2,自引:2,他引:2
基于标量衍射理论,首先5得出线宽增加情况下4阶二元光学元件衍射效率的解析式;并以4阶、8阶二元光学元件为例,进行计算机模拟并系统分析红宽增加和线宽减小两种情况下,线宽误差对二元光学元件衍射效率的影响。指出线宽误差对二元光学元件衍射效率影响较大。模拟计算结果对二元光学元件的制作提供重要的理论指导。 相似文献
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详细介绍了二元光学元件制作的光刻技术和一些新的制作工艺,包括薄膜沉积法、激光束或电子束直接写入法和准分子激光加工法.针对用于CO2激光器模式优化的二元光学反射镜,分析了元件制作误差,包括掩模对准误差、台阶刻蚀深度误差和台阶刻蚀宽度误差对谐振腔振荡模式的影响. 相似文献
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介绍了数字伺服控制系统的误差源,对由其产生的误差进行了误差分析,并将该分析方法应用于某炮塔数字伺服控制系统,提出降低或削除误差的有效途径,为数字伺服控制系统的设计分析提供参考。 相似文献
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基于数字微镜的高质量精缩投影光刻系统的研制 总被引:1,自引:1,他引:0
文章详细介绍了数字微镜系统总体设计,并进行了实验验证。数字微镜如果结合高质
量的高倍精缩投影光学系统,完全可实现亚微米级衍射微光学元件的制作。最后对系统特点和系统误差进行了总结。 相似文献
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研究了利用数字微镜器件生成 Hadamard光调制编码模板的方法,深入分析了利用该编码模板进行光调制的工作原理及设计中应注意的技术细节。采用原型样机光谱仪对入射激光进行编码成像实验,光谱反演后提取图像上样本区域内少量像素点的光谱曲线,发现其光谱峰值恰好在激光波长所在的光谱通道内,反演后的图像中只有激光波长所在光谱通道的光谱图像有能量分布。实验结果表明运用数字微镜设计的Hadamard编码模板达到了理想的空间光调制效果。 相似文献
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数字微镜器件用于光束空间整形 总被引:4,自引:0,他引:4
介绍了数字微镜器件(DMD)的工作原理,当DMD某像素微镜的角度固定在+12°或-12°,其在光学上等价于控制该像素的透射率为0或1。结合二元面板的设计思想,用误差扩散法对DMD各像素微镜的状态进行设计,用以对1053 nm脉冲光进行空间整形,实现了一种主动、实时的光脉冲空间整形方案。填充因子(FF)和光场调制度(FM)作为评价光束近场质量的参数,在高功率激光系统中直接影响系统的能量利用率。上述实验中,经过空间整形,光束的填充因子由33%提高为65%,光场调制度由52%降为28%,而且整形后的光斑大小与预期相符。最后对实验所用的DMD进行了能量利用率、波前畸变稳定性的测试。 相似文献
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数字微镜器件及其应用 总被引:1,自引:0,他引:1
数字微镜器件是一种新型的全数字化的平板显示器件,以其为主要组件的大屏幕投影显示技术获得了良好的市场反映。本文将具体介绍数字微镜器件的工作原理、像素结构、制作工艺及图像显示原理等。 相似文献
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本文对数字蜂窝区移动通信中所采用的纠错技术作简单介绍 ,着重分析了GSM系统中纠错编码技术工作的原理和技术特点。 相似文献